电子晶圆行业超纯水设备十大优势

电子晶圆行业超纯水设备十大优势

2020年7月7日

电子晶圆行业超纯水设备的应用受到了广大用户的一致好评，下面为大家详细汇总一下电子晶圆行业超纯水设备的十大优势：

1、不需要酸碱再生：电除盐的操作是安全的，废水的处理变得简单了。

2、可连续生产：电除盐的生产是连续的，免除了使用混床过程中复杂的再生操作，减少了很多备用设备。

3、不需要处理废酸碱：没有废酸碱的中和排放处理系统。电除盐的浓水可以直接排放或返回到RO的进水口。

4、安装条件简单：电除盐在安装时，占地面积小，厂房都能满足，对于较低的厂房，可通过对电除盐模块的水平配置解决。

5、系统设计简单：电除盐的模块设计很容易把它的流量做到100吨/小时甚至更高。

6、运行成本低：电除盐系统与各种混床相比，在价格上有竞争性。

7、实用的设计：对于电除盐系统，不管是维修还是增减设备的容量都是很容易的。必须要更换膜堆时，在现场只要花极少的停机时间就可以完成。

8、安装维修简便：电除盐装置允许通过对其他膜堆的流量重新分配而达到对某一个膜堆维修的要求，不改变系统的性能。

9、水质稳定：电除盐的出水质量稳定有把握，不会像有普通混床那样的水质变化。

10、标准设计：电子晶圆行业超纯水设备利用标准单元，如同搭积木般的组合可以满足用户不同产水量的需要。

以上就是为大家汇总的电子晶圆行业超纯水设备的十大优势，希望对大家更深入的了解设备有所帮助。

超纯水系统操作说明书

水处理设备（超纯水系统） 操 作 说 明 书

目录 一、超纯水设备工艺流程图： (2) 二、工艺流程说明： (2) 1.原水箱 (2) 2.原水泵 (2) 3.多介质过滤器 (3) 4.活性碳过滤器 (3) 5.阻垢剂加药系统 (3) 6.软化器 (4) 7.精密保安过滤器 (4) 8.高压泵 (4) 9.两级反渗透RO机 (5) 10、二级纯水箱 (12) 11、EDI输送泵 (12) 12、前置紫外杀菌器 (13) 13、0.22μ微滤系统 (13) 14、EDI装置 (13) 15、EDI超纯水箱 (17) 16、输送泵 (17) 17、核级树脂 (17) 18、后置紫外线杀菌器 (18) 19、终端0.22μ微滤系统 (19) 三、设备操作指南： (19)

四、设备维护与保养：（以原水水质与纯水水质而定） (19) 附表1：水处理设备运行记录表 (21) 附表2：水处理设备维修保养记录表 (22) 附录3：售后服务承诺 (23) 一、超纯水设备工艺流程图： 二、工艺流程说明： 1.原水箱 原水箱作为储水装置，调节系统进水量与原水泵抽送量之间的不平衡，避免原水泵启停过于频繁，箱内设置液位，原水进水阀根据液位高低进行自动补水，原水泵根据水池液位情况自动启停。 操作：原水箱顶部设置手动及自动电动进水阀，可进行手动及自动补水； 手动补水时不受液位控制，只能手动控制。自动补水阀补水时受液位控制，

当水箱液位降到设定中液位时，自动阀开启自动补水；当水箱液位达到设定高液位时，自动阀关闭停止补水，从而达到自动的性能。 2.原水泵 作用：原水泵将原水增压后输送到下道工序，保证多介质过滤器、活性炭过滤的操作压力及运行流量。 操作：原水泵可分手动和自动操作，自动运行时，原水泵将与原水箱液位联动，原水箱液位低时原水泵停止运行，中水位时重新启动；手动操作时除原水箱液位液位不与原水泵连锁外，其他和自动一样；其他有关说明及注意事项详见水泵说明书。 3.多介质过滤器 作用：在水质预处理系统中，多介质过滤器压力容器内不同粒径的石英砂按一定级配装填，经絮凝的原水在一定压力下自上而下通过滤料层，从而使水中的悬浮物得以截留去除，多介质过滤器能够有效去除原水中悬浮物、细小颗粒、全价铁及胶体、菌藻类和有机物。其出水SDI15（污染指数）小于等于5，完全能够满足反渗透装置的进水要求。 操作：多介质过滤器的反洗操作采用自动控制器，过滤器应定期清洗。冲洗周期一般为5～7个工作日，具体将根据进水浊度而定。 4.活性碳过滤器 功能：在水质预处理系统中，活性炭过滤器能够吸附前级过滤中无法去除的余氯以防止后级反渗透膜受其氧化降解，同时还吸附从前级泄漏过来的小分

典型超纯水工艺流程设计方案

典型超纯水工艺流程设 计方案 集团标准化小组：[VVOPPT-JOPP28-JPPTL98-LOPPNN]

1纯化水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版纯化水标准） 自来水→预处理→一级反渗透→一级EDI→UV杀菌→超滤除热原设备→用水 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌→超滤除热原设备→用水 2注射用水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版注射用水标准） 自来水→预处理→一级反渗透→一级EDI→微滤→多效蒸馏除热原设备→用水 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→微滤→超滤除热源设备→用水 3电厂高压锅炉给水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：工业锅炉水质GB1576-2001） 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→微滤→用水 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→微滤→用水 4微电子/半导体级超纯水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：中国电子工业部高纯水水质试行标准） 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→抛光混床→UV杀菌装置→超滤→用水 5实验室用分析级纯水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：分析级实验室用水标准 GB6682-2000） 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水 自来水→预处理→二级反渗透→一级EDI→UV杀菌装置→超滤→用水 进水电导率在400～1000μs/cm的含EDI设备的典型超纯水工艺流程设计方案 1纯化水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版纯化水标准） 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌→微滤→用水 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→UV杀菌→微滤→用水 2注射用水工艺设计方案：（产水水质标准达到的标准：中国药典2005版注射用水标准） 自来水→预处理→二级反渗透→一级EDI→多效蒸馏除热源设备→用水 自来水→预处理→一级反渗透→二级EDI→UV杀菌装置→超滤除热源设备→用水 3电厂高压锅炉给水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：工业锅炉水质GB1576-2001） 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→PH调节→二级反渗透→一级EDI→混床→微滤→用水自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→微滤→用水 4微电子/半导体级超纯水工艺设计方案（产水水质标准达到的标准：中国电子工业部高纯水水质试行标准） 自来水→预处理→一级反渗透→脱气装置→二级EDI→抛光混床→UV杀菌装置→超滤→用水

实验室超纯水机主要用途与原理

实验室超纯水机主要用途与原理 目前常用超纯水的工艺方法有蒸馏法、反渗透法、离子交换法、过滤法、吸附法、紫外氧化法等。超纯水机一般可以将水的纯化过程大致分为4大步，预处理(初级净化)、反渗透(生产出纯水)，离子交换(可生产出18.2MΩ.cm超纯水)和终端处理(生产出符合特殊要求的超纯水)。 超纯水主要用于： 动、植物细细胞培养用水 各种医疗用生化仪、分析仪、血液透析仪用水 分析试剂及药品配置稀释用水 生理、病理、毒理学实验用水 医院、医药制剂室及中心实验室用纯化水和高纯水 原子吸收光谱用水 试管婴儿用水 各种高效液相色谱、离子色谱用水 其他还广泛应用于高校、科研、药厂、电力、电子、医疗、疾控、环监、技监,大型工业纯水系统等重点行业 超纯水基本原理 1. 超纯水制备原理 实验室超纯水机通常由原水预处理系统、反渗透纯化系统、超纯化后处理系统三部分组成。预处理的目的主要是使原水达到反渗

透膜分离组件的进水要求，保证反渗透纯化系统的稳定运行。反渗透膜系统是一次性去除原水中98%以上离子、有机物及100%微生物(理论上)最经济高效的纯化方法。超纯化后处理系统通过多种集成技术进一步去除反渗透纯水中尚存的微量离子、有机物等杂质，以满足不同用途的最终水质指标要求。 2. 原水预处理系统 实验室超纯水机的预处理系统通常由聚丙烯纤维(PP)过滤器 和活性炭(AC)过滤器组成。对硬度较高的原水还需加装软化树脂过滤器。PP滤芯可高效去除原水中5μm以上的机械颗粒杂质、铁锈及大的胶状物等污染物，保护后续过滤器，其特点是纳污量大, 价格低廉。AC活性炭滤芯可高效吸附原水中余氯和部分有机物、胶体，保护聚酰胺反渗透复合膜免遭余氯氧化。软化树脂可脱除原水中大部分钙镁离子，防止后续RO膜表面结垢堵塞，提高水的回收率。 3.反渗透纯水系统 反渗透(Reverse Osmosis，简称RO)是以压力差为推动力的一种高新膜分离技术，具有一次分离度高、无相变、简单高效的特点。反渗透膜“孔径”已小至纳米(1nm=10-9m)，在扫描电镜下无法看到表面任何“过滤”小孔。在高于原水渗透压的操作压力下，水分子可反渗透通过RO半透膜，产出纯水，而原水中的大量无机离子、有机物、胶体、微生物、热原等被RO膜截留。 为使用户在使用过程中的操作方便，我厂生产的实验室超纯水机，选择国外著名厂商的配件，采用“反渗透膜法、紫外UV灭菌及终端过滤”的深度处理工艺，滤过原水中的无机盐、胶体、有机物、细菌、热原等不纯物;确保产品卓越的性能及其稳定性。实验室超纯水机整机一体化设计，集预处理系统、RO系统、超纯水系统、后处理系统于一体，易于操作、维护。还可以根据用户需要轻松实现功能升级。

超纯水系统施工过程具体注意事项分析

超纯水系统施工过程具体注意事项分析 一、超纯水系统总体介绍 随着电子工业的发展，在芯片的生产加工过程中，对于水质的要求也越来越高。为了保证生产出超大规模的集成电路，除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外，高纯水也是其中最关键的因素之一。 高纯水系统是将一般的市政用水处理成对不同离子的含量和颗粒度都有很高要求的超纯水。超纯水系统工程总体来说一般可分为三个部分：超纯水制造区(CUB部分)、超纯水抛光循环区(FAB部分)、超纯水输送管网(FAB各使用区)。其中超纯水制造区最为复杂其又可分为：预处理、一次纯水处理、超纯水处理三个部分。 预处理部分主要包括：沙滤、活性炭塔(有的厂商在沙滤前还增设反应槽、气浮池);一次纯水部分主要包括：阴阳离子交换塔、脱气塔(DG)、保安过滤器、紫外线杀菌器及多级反渗透;超纯水部分主要包括：MDG(脱氧膜组)、TOC-UV杀菌器、混床(MB)及终端过滤器。但是由于考虑到在向工艺线设备输送高纯水过程中，输水管道会对水质再次造成污染，因而在FAB内一般都设立抛光循环系统。抛光循环系统主要以MB为核心，再加上超滤设

备(UF)，以除去在向工艺生产线输送纯水的过程中，管网溶入水中的杂质。 二、超纯水系统中各阶段常用管材 在超纯水系统中管材的选用也非常重要，既要能做到保证水质、又应该做到经济合理。超纯水系统中常用管材主要包括：PVC、SGP、SGP(RL)、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。一般在超纯水制造区预处理阶段多采用PVC管或SUS304管。设备面管一般采用内衬胶钢管(SGP RL)，对于水泵等产生震动的动力设备周边采用SUS304管;在一次纯水阶段主流程采用CPVC管或 SUS304管。高压泵与反渗透(RO)之间，由于压力高所以必须采用SCH80的SUS304管及耐压2.0Mpa级的法兰。由于RO对水温有一定的要求，因而一般在RO之前有热交换器，其周边也应该采用SUS304管;在超纯水制造阶段，主流程一般应采用SUS316管和CPVC管;抛光循环区主流程一般采用SUS316管(焊接连接，并要求双面成型)和PVDF管，超纯水回收管道采用CPVC管。 在以上水处理各阶段废水排放管道均采用普通PVC管;在纯水制造过程中酸碱等加药管线，应采用耐冲击PVC管;纯水系统中使用的氮气系统采用SUS304管，超纯水抛光系统所用氮气管道采用SUS316管;压缩空气系统在纯水系统中作为气动阀开关 动力，一般采用SUS304管或SGP管，当采用SGP管时进入电气盘前需加过滤器。

超纯水设备制水工艺及详细技术方案

超纯水设备制水工艺及详细技术方案 超纯水设备适用范围：本系统适用于树胶业清洗和生产用纯水。 工程类别：水处理系统销售、安装、服务。 系统总进水量：5m3/hr 系统产水量：2m3/hr@25℃ 系统回收率：55～70% 产水水质：电导率≤0.2μs/cm@25℃ 运行方式：自动运行(并具备手动操作功能)。 原水水源：自来水 原水设计温度：25℃ 制水工艺：RO反渗透+EDI连续电除盐〔或IX树脂离子交换〕主要配置： 预处理系统：原水箱、原水箱液位控制器、原水进水电磁阀、原水泵、PAM计量泵、多介质过滤器、活性炭过滤器、阻垢剂计量泵、管路、阀门。

RO反渗透系统：高压泵、反渗透膜、反渗透膜壳、膜架、控制系统、进水电磁阀、冲洗电磁阀、调压阀、高压开关、低压开关、精密过滤器。 储存系统：液位控制器、中间水箱。 EDI系统：〔工艺1)给水泵、模块、电源、流量计、压力表、电磁阀、在线电导仪、在线电阻仪、自动控制系统、机架。 IX系统：〔工艺2〕给水泵、再生泵、树脂容器、离子交换树脂、管路、阀门、机架。 工艺简介： 反渗透技术是一种高效率、低能耗能、无污染的先进技术，主要应用于纯水制备与海水淡化。反渗透技术是利用压力差为动力的膜分离过滤技术，通过压力差将H2O与源水中的无机盐、重金属离子、有机物、胶体、细菌、病毒等杂质严格分离。 EDI是一种电渗析技术和离子交换技术相融合的先进技术，系统能够通过电磁场通过阴、阳离子交换膜对阴、阳离子的选择性透过作用与离子交换树脂对离子的交换作用，在直流电场的作用下实现离子的定向迁移，从而完成水的深度除盐，系统能够完成树脂连续不断的自动再生，无需停机使用酸碱再生树脂，从而能连续制取高品质纯水。

电子行业超纯水设备系统设计方案

工业电子超纯水设备设计方案 1.电子工业超纯水概述 半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大 规模、超大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高， 线宽越窄，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为 18Mù.cm、15Mù.cm、10Mù.cm、2Mù.cm、0.5Mù.cm，以区分不同水质。 2.电子工业超纯水设备特点 电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理 系统、RO 反渗透主机系统、离子交换混床(EDI 电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间 水箱、RO 纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水 质检测控制仪表、电气采用PLC 可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用推荐和客户 要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。 3.电子工业超纯水的应用领域 1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水; 2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水; 3、实验室和中试车间用超纯水; 4、汽车、家电表面抛光处理; 5、光电子产品; 6、其他高科技精微产品; 工业电子超纯水设备工艺流程说明：

1、第一级预处理系统：采用石英砂多介质过滤器，主要目的是去除源水中含有的泥沙、铁锈、胶体物质、 悬浮物等颗粒在20 m以上对人体有害的物质，系统可以自动(手动)进行反冲洗，正冲洗等一系列 操作。 2、第二级预处理系统：采用果壳活性碳过滤器，目的是为了去除水中的色素、异味、生化有机物、降低 水的余氯值及农药污染和其他对人体有害的污染物。系统可以自动(手动)进行反冲洗，正冲洗等一 系列操作。 3、第三级预处理系统：采用阳树脂对水进行软化，主要是降低水的硬度，去除水中的钙、镁离子(形成 水垢的主要成分)，可有效延长反渗透膜的使用寿命，并可进行智能化树脂再生。 4、第四级预处理系统：采用5um 孔径精密过滤器，使水得到进一步的净化，使水的浊度和色度达到优 化。保证RO 系统进水条件要求，保证设备的产水质量，延长设备的使用寿命。 5、反渗透(超滤)设备主机：采用反渗透(超滤)技术进行深度脱盐处理(进口美国反渗透膜)去除钙、 镁、铅、汞等对人体有害的重金属物质及其他杂质，降低水的硬度，脱盐率达99%以上，生产出符合 国家标准的纯净水。 6、微过滤装置：安装该装置主要是为防止微粒树脂颗粒从布水中滤出，造成二次水质污染，这主要是运 用在对水质特别高的场合。 杀菌系统：采用臭氧发生器(或紫外线杀菌器)，减少细菌二次污染，灭菌率可达99%以上，同时臭氧溶 于水形成富氧水，保证水的纯鲜。采用水气混合器使臭氧充分与水混合，达到最佳浓度比。

超纯水系统技术参数

超纯水系统 1.工作条件 1.1 环境温度：5-35℃ 1.2 相对湿度：20%-80% 1.3 电源：AC220V±10%, 50HZ 2.主要用途： 2.1玻璃器皿的最后冲洗，化学/生化试剂配制 2.2分析试剂及药品配制、稀释 2.3精密分析仪器用水(HPLC,IC,AA,TOC,MS等等) 3.技术规格 3.1该系统由分析级纯水或蒸馏水作进水，连续生产超纯水 3.2超纯水产水流速：50ml – 2000ml/min 3.3超纯水产水水质： 3.3.1电阻率：18.2 MΩ·cm＠25℃ 3.3.2总有机碳含量(TOC) ＜ 5ppb ； 3.3.3直径大于0.22μm的颗粒物数量: ＜1/ml 3.3.4微生物：＜ 0.1 cfu/ml； 3.3.5电阻率检测仪电极常数：0.01cm-1 3.4内置双波长(185nm＆254nm)紫外灯 3.5内置2个电导率监测仪，出水电导池常数应达到0.01 cm-1 3.6内置低噪音直流泵,1米处＜40db 3.7* 含LED水质指示灯活动支臂取水枪, 取水过程中无需用手固定容器,取水高度可调, 具有定量自动取水功能，可选配脚踏取水开关 3.8主机含液晶显示屏有中文操作界面,实时显示出水关键信息 3.9系统具有可自动检测,自动维护提示及自动报警等功能. 3.10耗材具有RFID芯片识别功能,保证系统安全. 3.11自动记录一整年水质资料,出水水质符合NCCLS﹑ASTM` CAP要求; 整机符合 GLP要求, 可直接与PC机或打印机相连. 3.12* 全系统可检附并可追溯至NIST的仪表校验证明书(ISO9001/ISO14001). 4.技术服务要求 4.1设备安装调试: 在买方指定的地点完成安装调试，并配合买方进行测试验收。 4.2质保期验收合格日起12个月。 4.3维修响应时间: 接到维修通知后，1个工作日内做出响应，3个工作日内到场排除故

2t-h 纯水设备方案

2t/h超纯水处理设备 设 计 方 案 2012年3月 目 录 一、公司简介 (2) 二、设计依据 (2) 三、设计范围及原则 (3) 四、出水水质及水量要求 (3)

五、简易工艺流程 (4) 六、系统工艺要求及说明 (4) 七、设备性能 (9) 八、售后服务承诺 (18) 九、系统配置清单 (19) 十、工程造价 ................................................... 错误！未定义书签。 一、公司简介 二、设计依据 1、根据地区性水质条件设定水质条件，根椐用户地区同类厂家的水质资料及用水量等基础资料进行设计。 2、工业用水软化除盐设计规范GB 109-87。 3、RO系统设计参照《给排水设计手册》及美国陶氏 公司RO膜元件技术手册。

4、系统排水按室外排水设计规范GBJ14-87。 5、建筑给排水设计规范GBJ15-88。 6、反渗透设备标准按《反渗透水处理设备标准》CJ/T119-2000。 7、电气装置安装工程电气设备按试验标准GB50150-91。 8、管道的设计按纯化水用水标准进行设计。 9、通用电器设备配电设计规范GB50055-93。 10、城市区域环境噪声标准GB3096—93； 11、电气安装工程盘柜及二次回路接线工程施工及验收规范GB50171-92 三、设计范围及原则 1、进入纯水站的水源为自来水，根据客户地区的水质情况，其变化系数K≤1.5，处理系统排放的浓废水可直接排入市政综合管网。 2、纯水处理设施具有较大的适应性、应急性，可以满足水质及水量的变化，并考虑在突发或事故状态下的各种应急用水。 3、采用工艺具有可靠性，运行稳定，运转费用低，管理维护量特别小，纯水系统采用集成电路控制,自动化程度高。 4、系统管道均采用UPVC管路。 5、系统处理过程中选用工作泵均为多级离心泵，具有启动及运转功率小，无死角，噪音低，工作稳定等特点。 6、本工程设计范围为接入纯水处理站的给水管道起纯水出口为止的整个处理工艺、基础、电气等各专业的设计。 四、出水水质及水量要求 1、设计规模 系统工程设计规模为2.0t/h。 2、出水水质要求 系统出水水量 小时设计产水量为2.0t/h 系统出水水质 在线监测5MΩ以上 系统产水温度 60C°-70C°

实验室纯水系统

实验室超纯水系统是一种生产纯度极高的水，是指将水中的导电介质几乎完全去除，同时把不离解的气体、胶体以及有机物（包括细菌）也去除至很低程度的水。 采用先进的反渗透技术和离子交换技术相结合的方式，采用微电脑单板机程序控制，水质检测自动显示，从而获得了高质量的产出水，它的出水电阻率一般均可达到18MΩ/cm。设备使用的增压泵、电磁阀、高容量离子交换树脂、R.O 反渗透膜、滤芯、管路连接件、控制原件、紫外灯等均采用国外进口的产品。超纯水机的反渗透原理是在原水一方施加比自然渗透压力更大的压力，使水分子由浓度高的一方逆渗透到浓度低的一方。由于反渗透膜的孔径远远小于病毒和细菌的几百倍乃至上千倍以上，故各种病毒，细菌，重金属，固体可溶物，污染有机物，钙镁离子等根本无法通过反渗透膜，从而达到水质净化的目的。 实验室超纯水系统特点： 1、工作压力高，不漏水：由于模块采用了橡胶O型圈多层密封，保证了模块耐压高、不漏水。

2、无化学物质使用：由于浓水中填充了专利树脂，降低了膜电阻，因此系统中不需要浓水循环及注盐在淡水室填充分层排列树脂，更有利于弱电解质的祛除。3)系统简单，配管简单，仅需3支配管（进水管，产品水管和浓水管），无循环泵及注盐系统，不需要PLC 程序控制器，系统建造成本和维护费用低。4) 浓水回收，浓水水质（20-100 μ S/cm ）优于原水水质，可回收至RO 前继续使用。 更多有关实验室纯水系统和有关纯水系统的购买方面小编推荐大家去杭州威尔净化设备有限公司咨询了解! 杭州威尔净化设备有限公司致力于实验台，通风柜，实验室家具，仪器台，天平台，药品柜，器皿柜，气瓶柜，净化工程、环保通风设备的研发、设计、生产、销售、工程安装及售后服务。经过多年的发展，已积累了丰富的行业经验和完善的服务体系，是实验室、洁净室（无菌室）及通风系统方案的综合设计者和最终实施者。 更多详情请拨打联系电话或登录杭州威尔净化设备有限公司https://www.docsj.com/doc/ba13503840.html,咨询。

超纯水系统工艺及其施工

超纯水系统工艺及其施工 Ultrapure Water System Technics and Construction) 中国电子系统工程第二建设公司：吴纯傲 文摘: 本文根据建设制备18.2MΩ以上的超纯水站为实际案例，介绍超纯水制备的基本工艺，特别注重说明了水处理不同阶段所用管道材质，并根据安装实际经验对超纯水管道施工作了详细阐述。 关键词：超纯水系统洁净CPVC管PVDF管 Abstract: Take example of pure water above 18.2MΩin FAB to explain the production process flow and basic technics, especially in choosing pipeline materials at difference stage. And illuminate the construction of pure water pipeline in detail base on practical experience. Key words Ultrapure water system, Clean, CPVC pipe, PVDF pipe. 一、超纯水系统总体介绍 随着电子工业的发展，在芯片的生产加工过程中，对于水质的要求也越来越高。为了保证生产出超大规模的集成电路，除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外，高纯水也是其中最关键的因素之一。高纯水系统是将一般的市政用水处理成对不同离子的含量和颗粒度都有很高要求的超纯水。超纯水系统总体来说一般可分为三个部分：超纯水制造区（CUB 部分）、超纯水抛光循环区（FAB部分）、超纯水输送管网（FAB各使用区）。其中超纯水制造区最为复杂其又可分为：预处理、一次纯水处理、超纯水处理三个部分。预处理部分主要包括：沙滤、活性炭塔（有的厂商在沙滤前还增设反应槽、气浮池）；一次纯水部分主要包括：阴阳离子交换塔、脱气塔（DG）、保安过滤器、紫外线杀菌器及多级反渗透；超纯水部分主要包括：MDG（脱氧膜组）、TOC-UV杀菌器、混床（MB）及终端过滤器。但是由于考虑到在向工艺线设备输送高纯水过程中，输水管道会对水质再次造成污染，因而在FAB内一般都设立抛光循环系统。抛光循环系统主要以MB为核心，再加上超滤设备（UF），以除去在向工艺生产线输送纯水的过程中，管网溶入水中的杂质。 二、超纯水系统中各阶段常用管材 在超纯水系统中管材的选用也非常重要，既要能做到保证水质、又应该做到经济合理。超纯水系统中常用管材主要包括：PVC、SGP、SGP（RL）、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。一般在超纯水制造区预处理阶段多采用PVC管或SUS304管。设备面管一般采用内衬胶钢管（SGP RL），对于水泵等产生震动的动力设备周边采用SUS304管；在一次纯水阶段主流程采用CPVC管或SUS304管。高压泵与反渗透（RO）之间，由于压力高所以必须采用SCH80的SUS304管及耐压2.0Mpa级的法兰。由于RO对水温有一定的要求，因而一般在RO之前有热交换器，其周边也应该采用SUS304管；在超纯水制造阶段，主流程一般应采用SUS316管和CPVC管；抛光循环区主流程一般采用SUS316管（焊接连接，并要求双面成型）和PVDF管，超纯水回收管道采用CPVC管。在以上水处理各阶段废水排放管道均采用普通PVC管；在纯水制造过程中酸碱等加药管线，应采用耐冲击PVC管；纯水系统中使用的氮气系统采用SUS304管，超纯水抛光系统所用氮气管道采用SUS316管；压缩空气系统在纯水系统中作为气动阀开关动力，一般采用SUS304管或SGP管，当采用SGP管时进入电气盘前需加过滤器。 三、超纯水系统施工 超纯水系统水站部分施工难度最大，其主要包括三个部分：设备的搬入及安装，共用管架的制作安装以及管道的安装。设备的移入一定要注意编制详细的设备吊装方案，特别是对于超重、超大、易损设备，千万不可以野蛮冒险施工。共用架台的施工要注意两个环节：一、架台与土建结构连接处一定要坚固，最好采用预埋铁板。若因种种原因不能预埋，则应用化学铆栓固定在梁上，不应使用一般的简易膨胀螺栓。切不可用铁板和简易膨胀螺栓

超纯水系统工程方案

超纯水系统 设 计 方 案 目录

一、设计条件及出水水质 3 二、设计基本资料 4 三、主要组件设备说明 5 四、工艺方案流程及说明 11 五、调试及售后服务内容 12 一、设计条件及出水水质 进水主要水质指标：东莞市自来水 用户对出水要求： 出水量：超纯水9吨/小时 出水水质：主机系统超纯水：电阻率≥18MΩ.㎝@25℃；

出水温度：常温。 水质检测：随机自带有电导率仪，出水电导率在线显示。 设备最终产水量：纯水10吨/小时@25℃；超纯水9吨/小时@25℃；系统总进水量：15m3/h； 一级反渗透的回收率≥60%； 第一级反渗透的浓水直接排放； CEDI装置回收率：85～95%,浓水回收为RO系统原水。 控制方式： PLC自动&手动控制。 二、设计基本资料 设计依据 （1）《中华人民共和国环境保护法》 （2）《中华人民共和国水污染防治法》 （3）《给排水构筑物施工及验收规范》（GBJ125-1989） （4）《给排水管道工程施工及验收规范》（GB50268-1997） （5）《给排水工程结构设计规范》（GBJ69-1984） （6）《低压电器设计规范》（GB50054-1995） （7）《水处理设备制造技术条件》（JB|T2932-1999）

（8）相关反渗透膜生产厂家所提供技术资料。。 、设计原则 1．采用成熟、先进的工艺，运行可靠，操作简单方便。 2．对反渗透膜清洗系统目前的建设投资于今后的运行费用做综合技术经济分析，尽可能用最少的资金达到理想要求。 3．根据厂方的实际情况，采用先进设备，占地少，投资省，运行费用低，操作管理方便。 4. 对回收统总费用投入的增量与回收系统运行的可靠性及发生故障时对环境的危害性作综合技术经济分析，尽可能用最少的资金投入达到系统运行安全可靠，操作简单方便。 5. 认真执行国家经济建设方针、政策和国家现行的技术标准、规范，遵守法律、法规。 三、主要组件及设备说明

实验室超纯水设备简介

实验室超纯水设备简介 电子级超纯水设备出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、 10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。 对水质的要求： 新兴的光电材料生产、加工、清洗;LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏、高品质灯管显像管、微电子工业、FPC/PCB线路板、电路板、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高，这也对超纯水处理工艺及产品的简易性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。 超纯水制备工艺： 1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→ 用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺) 2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(最新工艺) 3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)(最新工艺)

4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象 (≥15MΩ.CM)(最新工艺) 5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象 (≥15MΩ.CM)(传统工艺)

T超纯水系统技术方案

方 案 书 目录

设计总则 (4) 第二章技术规范要求 (6) 1、设备制作规范及要求 (6) 2、设备制作规范通则 (8) 3、工艺系统设计依据 (9) 4、控制系统设计依据 (9) 5、电气系统设计依据 (10) 1、工艺流程图 (11) 纯水站工艺流程简图 (11) 第五章检验和标准 (19) 1、设备制造工艺和材料 (19) 设备的制造工艺和材料符合下列标准和规定的最新版本的要求： (19) ● 《钢制压力容器》 GB150-1998 (19) 2、对外接口法兰 (19) 3、衬里钢管和管件 (19) 4、现场仪表和控制系统 (20) 5、电气系统 (20) 第六章乙方技术文件交付 (21) 1、总则 (21) 2、资料交付内容及进度 (21) 3、技术资料的交付形式 (22) 4、说明 (22) 第七章技术培训与服务承诺 (23) 1、技术培训 (23) 2、服务承诺 (23) 1、设备交货与预验收 (25) 2、设备安装与验收 (25) 3、设备调试、试车及验收 (25) 第九章项目预算 (28) 1、项目报价 (28) 2、付款方式 (28) 3、设备功耗 (29) 4、运行费用 (29) 1）、电费明细： (29)

第十二章触摸屏流程图展示 (34) 第十四章原水水质报告 .......................................... 第十五章企业资质证书............................................................... ........................ 企业简介 北京海德能水处理设备制造有限公司坐落于首都经济新技术开发中心－－北京亦庄，交通十分便利，地理位置优越。公司占地面积4000平方米，软硬件设施配套齐全。公司拥有工程技术人员40人，高级工程师8人，工程师20人，其他员工50余人。海德能公司是专业从事水处理设备研制、开发、生产、销售的科技型生产制造企业，公司主要产品有纯净水设备、电子化工超纯水设备、酒店宾馆供纯水设备、实验室用超纯水设备、农村饮用水设备、商用投币机设备、矿泉水设备。公司拥有先进的机械加工设备，并承揽各种非标水处理设备的制作、安装，公司年产值3000万元左右。海德能公司在设备加工方面严格按照ISO9001质量保证体系中的有关规范实施产品控制，从而奠定了海德能公司在水处理行业领域中的优势地位。 海德能公司以人为本、追求卓越、求真务实、勇于创新，以高技术、高质量的产品，本着“以质量求生存，以技术求发展”的宗旨，凭借雄厚的技术和不断开拓创新的精神，为用户提供最先进的技术和最满意的服务。

超纯水设备满足电子级超纯水制取需求

超纯水设备满足电子级超纯水制取 需求

根据相关统计数据，2019年全球人工智能芯片市场规模将达到110亿美元。随着人工智能技术的成熟和数字基础设施的不断完善，人工智能芯片市场也迎来了快速增长期。预计2025年全球人工智能芯片市场将达到726亿美元。 2020年光电子产业博览于2020年11月30日-12月2日在北京国家会议中心举办。本届博览会覆盖光电子领域全产业链，聚焦行业应用，为制造商提供新思路及解决方案，终端买家精准对接，近年来，由于芯片制程对设计规则之需求朝更精密更细小的趋势发展，因而对行业用水的水质要求也越趋严格，在此背景下，莱特莱德超纯水设备已经成为行业用水新“潮流”。 超纯水设备通常由石英砂过滤器，活性碳过滤器，阻垢剂、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人值守，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。 超纯水设备工艺流程 自来水进入原水箱，通过原水泵增压，经砂滤器、炭滤器、阻垢剂加药、保安过滤器，到达反渗透单元，经两级反渗透过滤进入EDI

单元，抛光混床单元，EDI出水进入纯水水箱，此时水质的电阻率是15兆欧，经过抛光混床后，产水电阻率达到18兆欧，但是不进入水箱，直接进入用水点。因为水箱中若出现产水滞留，会影响产水水质。纯水供水设计为循环方式，经纯水供水泵增压，通过紫外线消毒器、抛光混床接入纯水供水管，到达使用点。 AI芯片经过数年的探索，已经开始在多个市场应用中初露锋芒。在这个过程当中，AI芯片发展的挑战和技术方向也逐渐明晰了起来。莱特莱德超纯水设备能连续稳定地制备出高质量的超纯水，不会因树脂再生而停止运行。设备的结构设计比较紧凑，占地面积很小，可以为企业节省大量空间。设备出厂前需要进行检验，设备故障概率小，日常维护和维修操作非常简单。

500L超纯水设备方案书双级RO+EDI设计方案,三达水纯化水设备

500L/H超纯水设备方案 书 （双级RO+EDI） （采用美国反渗透膜原件） （编号：SD-1100707） 三达水（北京）科技有限公司 2019年10月5日 公司简介 三达水（北京）科技有限公司，是一家专业从事软化水、纯水、超纯水、污水处理技术开发、制造、营销和服务于一体的高科技实体。致力水环保领域的工程承包、项目运营及环保技术、产品的研发、制造。业务领域涉及给水处理、污水处理、生活小区水环境规划、工业废水处理、工业用水处理。以自己的核心技术和市场开拓能力为依托，充分利用社会资源，推动水环保事业的发展。公司聚科、工、贸于一体，为各类客户群提供专业的、全面的、集中的服务。 三达公司以人为本，以用为本，竭诚提供优质新型的水处理设备。拥有先进的水处理技术、可编程全自动水处理设备及相关设备；

拥有合理的工艺流程和计算机辅助管理软件为支撑的专利技术解决方案；完善的服务体系、专业精良的服务队伍及通畅的渠道，在方案提供设计、项目设计、工程施工、项目运营等方面为用户提供全方位的服务。 三达公司凭着优质的性能和服务，在市场上建立了良好的口碑。我公司愿和各界人士携手同道，永续共荣。 一、设计基础 1.1本方案涉及的流程及设备是为了满足：贵公司生产工艺用水项目，要求 如下： 1.1.1产水用途：结晶提纯用水 1.1.2系统总进水量：预处理：1. 5m3/hr 1.1.3系统出力：一级RO纯水处理：0.8m3/hr；回收率：60%； 二级RO纯水处理：0.6m3/hr；回收率：75%； 25%的浓水回流至一级RO纯水系统 EDI纯水处理：0.5m3/hr；回收率: 90%； 10%的浓水回流至二级RO纯水系统 1.1.4终端产水水质：EDI电阻率：≥15MΩ.CM 1.1.5运行方式：自动运行（并具备手动操作功能）。 1.1.6供水方式：连续产出（24小时运行）。 1.2本方案主要依据如下： 1.2.1原水水源：自来水 1.2.2原水设计温度：6℃ 1.2.3原水水质分析：用户提供的原水水样（水质分析报告见附件）。 1.2.4设计界线：原水箱装置进口至成品水箱出口（详见控制点的工艺流 程图）。 1.2.5其他涉及的设计基础条件将在技术讨论中确定。 1.3系统对外界要求：

PURELAB实验室超纯水机详解

PURELAB实验室超纯水机详解 ELGA超纯水机PURELAB系列性能稳定，大量应用于医药、电子、化工、玻璃、渡涂、锅炉、化验室等行业。 PURELAB实验室超纯水机采用技术 ELGA超纯水机PURELAB系列采用Pulse Technology技术，Pulse Technology技术使用了EDI技术去取代了纯离子交换技术以及离子选择性透过膜技术进行水纯化的一种技术。 PURELAB实验室超纯水机特点 1、带空气复合保护过滤的船坞式水箱，有效节约实验室空间，并保障水质长期稳定。 2、循环管路紫外灯，保证水连续被UV照射，保证对水中的微生物有效控制。 3、高度可调的取水口保证无论机械放置在左面或挂墙都可以灵活使用。 4、全循环回路设计，保证在取水点任何时刻都为刚纯化水高质量水。 5、Pulse模块——EDI纯化技术 PURELAB系列超纯水机内部有离子交换树脂，离子交换树脂在电场作用下连续自动再生，从而保证了长期高水质，避免了离子交换装置长期使用可能导致的硅，硼，弱极性大分子有机物的解离污染。 PURELAB实验室超纯水机适用范围 实验室超纯水机适用于普通实验室应用的高用量、高品质II和II+级水。 多种应用的理想选择，其中包括给超纯水系统的供水、试剂制备、缓冲液和介质制备、普通化学、电化学、组织和细胞培养。 PURELAB实验室超纯水机特色 1、供应流量达到每小时60升的II级水。 2、适用于普通实验室应用的纯度达到15MΩ-cm的II级水。 3、独特的内循环II级水系统可确保取水段的水质。 4、易于维护。 5、全面的服务和认证支持。 PURELAB实验室超纯水机采用最先进的净化水技术，可以有效去除水中杂质，是出水水质达到实验室用水标准，为保证实验数据的准确性提供良好的介质环境。PURELAB实验室超纯水机大致分为预处理、反

半导体生产用EDI超纯水设备技术工艺介绍

半导体生产用EDI超纯水设备技术工艺介 绍 2019年8月27日

半导体行业的生产对水质要求非常严格，半导体生产用超纯水设备采用先进制水技术，保证设备出水水质符合行业用水需求。 半导体行业用超纯水设备工艺 预处理→UF系统→一级反渗透→PH调节→级间水箱→二级反渗透→中间水箱→中间水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→EDI装置→氮封水箱→增压水泵→抛光混床→循环增压泵→用水对象(≥18MΩ.CM) 半导体的生产过程中，涉及到的用水有生产用水和清洗用水。它的用水要求必须是超纯水，因为只有超纯水才能符合水质的标准，因此半导体生产用超纯水设备起到重要作用，已经得到广泛认可。下面莱特莱德小编来为大家分享半导体生产用超纯水设备工艺流程： 原水箱→原水泵→全自动多介质过滤器→全自动活性炭过滤器→还原剂加药装置→全自动软化过滤器→保安过滤器→一级高压泵→一级反渗透系统→一级RO水箱→PH调节装置→二级高压泵→二级反渗透系统→二级RO纯水箱→EDI增压泵→UV杀菌器→脱气膜→精密过滤器→EDI装置→EDI纯水箱→纯水泵→抛光混床→0.22u膜过滤器→生产线用水点半导体生产用超纯水设备工作原理 超纯水装置供给原水进入EDI系统，主要部分流入树脂/膜内部，而另一部分沿膜板外侧流动，以洗去透出膜外的离子，树脂截留水中的容存离子，被截留的离子在电极作用下，阴离子向正极方向运动，阳离子向负极方向运动，阳离子透过阳离子膜，排出树脂/膜之外，阴离子透过阴离子膜，排出树脂/膜之外，浓缩了的离子从废水流路中排出，无离子水从树脂/膜内流出。 半导体生产用超纯水备工艺 1、预处理-反渗透-水箱-阳床-阴床-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象 2、预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象 3、预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm 精密过滤器-用水对象 4、预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制抛光混床-TOC分解器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(新工艺)

超纯水设备

超纯水最初是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，如今超纯水已在生物、医药、汽车等领域广泛应用。这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，超纯水无硬度，口感较甜，又常称为软水，可直接饮用，也可煮沸饮用。超纯水,是一般工艺很难达到的程度，如水的电阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm则称为超纯水。 背景概述 目前大多数科学实验机构仍处于买桶装纯净水、买超纯水机、蒸馏水机以解决饮用水及实验室用水的模式。这样用水模式，造成不利因素有：不便集中管理，投资分散、成本较高、水质安全性欠保障等。 需求与效果 1、水源预净化/软化水； 2、工作人员直接饮用纯净水 3、科学研究实验用纯水/超纯水； 4、测试试验溶液配制用水 5、园林景观用水； 6、中央空调用水 根据以上需求，按用户实况设计实施后，通过科尔顿中央净水分质供应系统，完全可以解决。以集中净化分质供水，新的水资源集中管理模式，从而实现节能降耗、环保健康、水质安全及良好经济效益和社会益形象。

系统描述： ●整机符合IP54防护标准，整体采用ABS环保材料，防腐蚀耐酸碱； ●循环泵全自动间歇运行，防止水受二次污染，保证超纯水水质稳定在18.25MΩ.CM； ●可选配远端移动取水装置。可将取水口分离主机，在远离主机的情况下自主取水。操作：一键操作模式，按一下进入冲洗，再按一下进入循环，第三下则取超纯水，如需停止取水再按一下。 操作功能： ●工厂、用户双重密码，防止未经授权的更改； ●系统采用USB接口数据拷贝、下载、打印、储存等操作，数据管理具有可追朔性； ●选用Cortex-M3内核微处理器外接4.3″触摸彩屏操作系统，可存储近5年内的数据并可随机查看； ●漏水、缺水、水质不合格等报警提示； ●运行状态语音播报，更直观了解系统运行状态； ●在线RO膜压力显示、进水总流量显示、用水总流量显示、水箱储水液位实时图文显示、源水、纯水、超纯水等水质实时在线监控显示； ●定量取水0.1-50L，精度3%。 ●液位数据实时显示，在用户不需要使用大水量时，可根据需要设置设备制水水量准确度1%（选配） 水质处理： ●滤芯更换提醒，保证纯化性能的持续优化； ●超纯化柱模块化一体式设计，特有的内压结构式技术可提高纯化效率、降低消耗成本；扣式安装方法，方便客户自己都可以简单更换。 ●系统具备投加药片清洗消毒性能，保证细菌含量控制在标准范围内； ●四通道水质在线监控（源水、三级纯水、二级纯水、一级超纯水）；