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超纯水电子行业级介绍

超纯水是美国科技界为了研制超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，这种

水中除了水分子（H20）外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等

有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，一般不可直接饮用，对身体有害，

会析出人体中很多离子。

附1中国国家电子级超纯水规格 GB/T11446.1-1997

超纯水用途

超纯水广泛适用于化学、生物、制药、医学、微电子、半导体等领域，满足光谱

分析、色谱分析、细胞培养、蛋白纯化、分子生物学等领域。主要用在集成电路工业

中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用

超纯水。

超纯水系统操作说明书

水处理设备（超纯水系统）操作说明书

目录一、超纯水设备工艺流程图： (2) 二、工艺流程说明： (2) 1.原水箱 (2) 2.原水泵 (2) 3.多介质过滤器 (3) 4.活性碳过滤器 (3) 5.阻垢剂加药系统 (3) 6.软化器 (4) 7.精密保安过滤器 (4) 8.高压泵 (4) 9.两级反渗透RO机 (5) 10、二级纯水箱 (12) 11、EDI输送泵 (12) 12、前置紫外杀菌器 (13) 13、0.22μ微滤系统 (13) 14、EDI装置 (13) 15、EDI超纯水箱 (17) 16、输送泵 (17) 17、核级树脂 (17) 18、后置紫外线杀菌器 (18) 19、终端0.22μ微滤系统 (19) 三、设备操作指南： (19)

四、设备维护与保养：（以原水水质与纯水水质而定） (19) 附表1：水处理设备运行记录表 (21) 附表2：水处理设备维修保养记录表 (22) 附录3：售后服务承诺 (23) 一、超纯水设备工艺流程图：二、工艺流程说明： 1.原水箱原水箱作为储水装置，调节系统进水量与原水泵抽送量之间的不平衡，避免原水泵启停过于频繁，箱内设置液位，原水进水阀根据液位高低进行自动补水，原水泵根据水池液位情况自动启停。操作：原水箱顶部设置手动及自动电动进水阀，可进行手动及自动补水；手动补水时不受液位控制，只能手动控制。自动补水阀补水时受液位控制，

当水箱液位降到设定中液位时，自动阀开启自动补水；当水箱液位达到设定高液位时，自动阀关闭停止补水，从而达到自动的性能。 2.原水泵作用：原水泵将原水增压后输送到下道工序，保证多介质过滤器、活性炭过滤的操作压力及运行流量。操作：原水泵可分手动和自动操作，自动运行时，原水泵将与原水箱液位联动，原水箱液位低时原水泵停止运行，中水位时重新启动；手动操作时除原水箱液位液位不与原水泵连锁外，其他和自动一样；其他有关说明及注意事项详见水泵说明书。 3.多介质过滤器作用：在水质预处理系统中，多介质过滤器压力容器内不同粒径的石英砂按一定级配装填，经絮凝的原水在一定压力下自上而下通过滤料层，从而使水中的悬浮物得以截留去除，多介质过滤器能够有效去除原水中悬浮物、细小颗粒、全价铁及胶体、菌藻类和有机物。其出水SDI15（污染指数）小于等于5，完全能够满足反渗透装置的进水要求。操作：多介质过滤器的反洗操作采用自动控制器，过滤器应定期清洗。冲洗周期一般为5～7个工作日，具体将根据进水浊度而定。 4.活性碳过滤器功能：在水质预处理系统中，活性炭过滤器能够吸附前级过滤中无法去除的余氯以防止后级反渗透膜受其氧化降解，同时还吸附从前级泄漏过来的小分

UP系列超纯水机

UP系列超纯水机名称：超纯水机型号：UP系列品牌：本昂产地：上海厂家：上海本昂科学仪器有限公司 UP系列超纯水机滤芯和关键配件全部进口，出水水质：18.2 MΩ-cm 25℃，1个RO水出水口＋1个超纯水出水口，出水量：15L/h。 UP系列超纯水机详细介绍 UP系列超纯水机融合各种尖端水处理技术和过程控制方法于一体，将自来水直接转化为超纯水，出水水质完全符合ASTM、NCCLS I级、GB6682-92 I 级和GB/T11446-1997 I级等规定的用水要求。广泛适用于化学、生物、制药、医学、微电子、半导体等领域，满足光谱分析、色谱分析、细胞培养、蛋白纯化、分子生物学等的应用要求。精选全球优质组件： ● RO膜：美国DOW陶氏、美国FCS ●泵、机箱：美国Kflow ●预处理组件：美国Kflow ●超纯化柱：美国Rohn&hass罗门哈斯、美国DOW陶氏 ● UF超滤组件、UV杀菌消解组件：美国Pall、国产精品 ●终端滤器：德国Sartorius赛多利斯公司 ●自动控制组件和安全保护装置：美国Kflow、美国Sciencetool 融入世界尖端科技： ●RO膜采用美国太空总署NASA研发的反渗透技术，脱盐率>99%，除菌率>99.5% ●二级混床保证出水水质，延长超纯柱寿命；特有内循环功能，时刻保证顶级水质 ●双波长UV组件有效降低细菌及TOC；高效MWCO5000超滤组件除去热源● 0.45/0.22 μm带预滤的高通量终端滤器；RO膜自动防垢冲洗，24小时全自动运行 ●长效预过滤器，2年不用更换，降低使用成本，延长后续过滤组件寿命 UP系列超纯水机(自来水为水源) ●进水要求：城市自来水：TDS<200，5-40℃，1.0～3.5Kg/cm2 ●全自动压力传感器控制，RO膜自动防垢冲洗，自来水断水自动停机，停机自动断水，储水桶自动补水，储水桶水满自动停机功能，可实现24小时无人看守工作。 ●超纯水出口带有德国Sartorius 0.22μm终端滤器

超纯水设备应用于高端电子工业分析

超纯水设备应用于高端电子工业分析超纯水指的是不含杂质的H2O。从学术角度讲，纯水又名高纯水，是指化学纯度极高的水，其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用最高端的电子工业。 1、超纯水设备反渗透是一种物理现象，当两种含有不同浓度盐类的水，如用一张半渗透性的薄膜分开就会发现，含盐量少的一边的水分会透过膜渗到含盐量高的水中，而所含的盐分并不渗透，这样，逐渐把两边的含盐浓度融和到均等为止。这个过程称为自然渗透。反渗透就是一种在压力驱动下，借助于半透膜的选择截留作用将溶液中的溶质与溶剂分开的分离方法。反渗透超纯水设备是将原水经过石英砂过滤器、颗粒活性碳过滤器、精密过滤器等,再通过泵加压,利用孔径为 1/10000μm(相当于大肠杆菌大小的1/6000,病毒的1/300)的反渗透膜(RO膜),使较高浓度的水变为低浓度水,同时将工业污染物、重金属、细菌、病毒等大量混入水中的杂质全部隔离，从而达到饮用规定的理化指标及卫生标准,产出至清至纯的水,是人体及时补充优质水份的最佳选择.由于RO反渗透技术生产的水

纯净度是目前人类掌握的一切制水技术中最高的,洁净度几乎达到100%,所以人们称这种产水机器为反渗透纯净水机。反渗透设备应用膜分离技术，能有效地去除水中的带电离子、无机物、胶体微粒、细菌及有机物质等。是高纯水制备、苦咸水脱盐和废水处理工艺中的最佳设备。 2、系统组成一般包括预处理系统、反渗透装置、后处理系统、清洗系统和电气控制系统等。预处理系统一般包括原水泵、加药装置、石英砂过滤器、活性炭过滤器、精密过滤器等。其主要作用是降低原水的污染指数和余氯等其他杂质，达到反渗透的进水要求。预处理系统的设备配置应该根据原水的具体情况而定。反渗透装置主要包括多级高压泵、反渗透膜元件、膜壳(压力容器)、支架等组成。其主要作用是去除水中的杂质，使产水水质满足使用要求。后处理系统是在反渗透不能满足出水要求的情况下增加的配置。主要包括阴床、阳床、混床、杀菌、超滤、EDI等其中的

超纯水系统施工过程具体注意事项分析

超纯水系统施工过程具体注意事项分析一、超纯水系统总体介绍随着电子工业的发展，在芯片的生产加工过程中，对于水质的要求也越来越高。为了保证生产出超大规模的集成电路，除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外，高纯水也是其中最关键的因素之一。高纯水系统是将一般的市政用水处理成对不同离子的含量和颗粒度都有很高要求的超纯水。超纯水系统工程总体来说一般可分为三个部分：超纯水制造区(CUB部分)、超纯水抛光循环区(FAB部分)、超纯水输送管网(FAB各使用区)。其中超纯水制造区最为复杂其又可分为：预处理、一次纯水处理、超纯水处理三个部分。预处理部分主要包括：沙滤、活性炭塔(有的厂商在沙滤前还增设反应槽、气浮池);一次纯水部分主要包括：阴阳离子交换塔、脱气塔(DG)、保安过滤器、紫外线杀菌器及多级反渗透;超纯水部分主要包括：MDG(脱氧膜组)、TOC-UV杀菌器、混床(MB)及终端过滤器。但是由于考虑到在向工艺线设备输送高纯水过程中，输水管道会对水质再次造成污染，因而在FAB内一般都设立抛光循环系统。抛光循环系统主要以MB为核心，再加上超滤设

备(UF)，以除去在向工艺生产线输送纯水的过程中，管网溶入水中的杂质。二、超纯水系统中各阶段常用管材在超纯水系统中管材的选用也非常重要，既要能做到保证水质、又应该做到经济合理。超纯水系统中常用管材主要包括：PVC、SGP、SGP(RL)、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。一般在超纯水制造区预处理阶段多采用PVC管或SUS304管。设备面管一般采用内衬胶钢管(SGP RL)，对于水泵等产生震动的动力设备周边采用SUS304管;在一次纯水阶段主流程采用CPVC管或 SUS304管。高压泵与反渗透(RO)之间，由于压力高所以必须采用SCH80的SUS304管及耐压2.0Mpa级的法兰。由于RO对水温有一定的要求，因而一般在RO之前有热交换器，其周边也应该采用SUS304管;在超纯水制造阶段，主流程一般应采用SUS316管和CPVC管;抛光循环区主流程一般采用SUS316管(焊接连接，并要求双面成型)和PVDF管，超纯水回收管道采用CPVC管。在以上水处理各阶段废水排放管道均采用普通PVC管;在纯水制造过程中酸碱等加药管线，应采用耐冲击PVC管;纯水系统中使用的氮气系统采用SUS304管，超纯水抛光系统所用氮气管道采用SUS316管;压缩空气系统在纯水系统中作为气动阀开关动力，一般采用SUS304管或SGP管，当采用SGP管时进入电气盘前需加过滤器。

工业超纯水水质试行标准

我国电子工业超纯水水质试行标准、半导体工业用纯水指标、集成电路水质标准。电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。电导率≤10μS/CM动物饮用纯水(医药)、普通化工原料配料用纯水、食品行业配料用纯水、普通电镀行业冲洗用去离子纯水、纺织印染用除硬脱盐纯水、聚脂切片用纯纯水、精细化工用纯水、民用饮用纯净水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电导率≤4μS/CM电镀化学品生产用纯水、化工行业表面活性剂生产用纯水、医用纯化水、白酒生产用纯水、啤酒生产用纯水、民用饮用纯净水、普通化妆品生产用纯水、血透纯水机用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电阻率5~10MΩ.CM锂电池生产用纯水、蓄电池生产用纯水、化妆品生产用纯水、电厂锅炉用纯水、化工厂配料用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电阻率:10~15MΩ.CM动物实验室用纯水、玻壳镀膜冲洗用纯水、电镀用纯纯水、镀膜玻璃用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电阻率≥15 MΩ.CM医药生产用无菌纯水、口服液用纯水、高级化妆品生产用去离子纯水、电子行业镀膜用纯水、光学材料清洗用纯水、电子陶瓷行业用纯水、尖端磁性材料用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水.

电阻率≥17 MΩ.CM磁性材料锅炉用软化纯水、敏感新材料用纯水、半导体材料生产用纯水、尖端金属材料用纯水、防老化材料实验室用纯水、有色金属，贵金属冶炼用纯水、钠米级新材料生产用纯水、航空新材料生产用纯水、太阳能电池生产用纯水、纯水晶片生产用纯水、超纯化学试剂生产用纯水、实验室用高纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水. 电阻率≥18 MΩ.CM ITO导电玻璃制造用纯水、化验室用纯水、电子级无尘布生产用纯水等其它有相同纯水质要求的用纯水，光伏光电行业。

电子行业超纯水设备系统设计方案

工业电子超纯水设备设计方案 1.电子工业超纯水概述半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为 18Mù.cm、15Mù.cm、10Mù.cm、2Mù.cm、0.5Mù.cm，以区分不同水质。 2.电子工业超纯水设备特点电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO 反渗透主机系统、离子交换混床(EDI 电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO 纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC 可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。 3.电子工业超纯水的应用领域 1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水; 2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水; 3、实验室和中试车间用超纯水; 4、汽车、家电表面抛光处理; 5、光电子产品; 6、其他高科技精微产品; 工业电子超纯水设备工艺流程说明：

1、第一级预处理系统：采用石英砂多介质过滤器，主要目的是去除源水中含有的泥沙、铁锈、胶体物质、悬浮物等颗粒在20 m以上对人体有害的物质，系统可以自动(手动)进行反冲洗，正冲洗等一系列操作。 2、第二级预处理系统：采用果壳活性碳过滤器，目的是为了去除水中的色素、异味、生化有机物、降低水的余氯值及农药污染和其他对人体有害的污染物。系统可以自动(手动)进行反冲洗，正冲洗等一系列操作。 3、第三级预处理系统：采用阳树脂对水进行软化，主要是降低水的硬度，去除水中的钙、镁离子(形成水垢的主要成分)，可有效延长反渗透膜的使用寿命，并可进行智能化树脂再生。 4、第四级预处理系统：采用5um 孔径精密过滤器，使水得到进一步的净化，使水的浊度和色度达到优化。保证RO 系统进水条件要求，保证设备的产水质量，延长设备的使用寿命。 5、反渗透(超滤)设备主机：采用反渗透(超滤)技术进行深度脱盐处理(进口美国反渗透膜)去除钙、镁、铅、汞等对人体有害的重金属物质及其他杂质，降低水的硬度，脱盐率达99%以上，生产出符合国家标准的纯净水。 6、微过滤装置：安装该装置主要是为防止微粒树脂颗粒从布水中滤出，造成二次水质污染，这主要是运用在对水质特别高的场合。杀菌系统：采用臭氧发生器(或紫外线杀菌器)，减少细菌二次污染，灭菌率可达99%以上，同时臭氧溶于水形成富氧水，保证水的纯鲜。采用水气混合器使臭氧充分与水混合，达到最佳浓度比。

超纯水系统技术参数

超纯水系统 1.工作条件 1.1 环境温度：5-35℃ 1.2 相对湿度：20%-80% 1.3 电源：AC220V±10%, 50HZ 2.主要用途： 2.1玻璃器皿的最后冲洗，化学/生化试剂配制 2.2分析试剂及药品配制、稀释 2.3精密分析仪器用水(HPLC,IC,AA,TOC,MS等等) 3.技术规格 3.1该系统由分析级纯水或蒸馏水作进水，连续生产超纯水 3.2超纯水产水流速：50ml – 2000ml/min 3.3超纯水产水水质： 3.3.1电阻率：18.2 MΩ·cm＠25℃ 3.3.2总有机碳含量(TOC) ＜ 5ppb ； 3.3.3直径大于0.22μm的颗粒物数量: ＜1/ml 3.3.4微生物：＜ 0.1 cfu/ml； 3.3.5电阻率检测仪电极常数：0.01cm-1 3.4内置双波长(185nm＆254nm)紫外灯 3.5内置2个电导率监测仪，出水电导池常数应达到0.01 cm-1 3.6内置低噪音直流泵,1米处＜40db 3.7* 含LED水质指示灯活动支臂取水枪, 取水过程中无需用手固定容器,取水高度可调, 具有定量自动取水功能，可选配脚踏取水开关 3.8主机含液晶显示屏有中文操作界面,实时显示出水关键信息 3.9系统具有可自动检测,自动维护提示及自动报警等功能. 3.10耗材具有RFID芯片识别功能,保证系统安全. 3.11自动记录一整年水质资料,出水水质符合NCCLS﹑ASTM` CAP要求; 整机符合 GLP要求, 可直接与PC机或打印机相连. 3.12* 全系统可检附并可追溯至NIST的仪表校验证明书(ISO9001/ISO14001). 4.技术服务要求 4.1设备安装调试: 在买方指定的地点完成安装调试，并配合买方进行测试验收。 4.2质保期验收合格日起12个月。 4.3维修响应时间: 接到维修通知后，1个工作日内做出响应，3个工作日内到场排除故

光伏行业超纯水设备项目设计说明

光伏行业超纯水设备项目设计说明 2020年7月29日

进水水质：市政自来水/地下水产水水质：国标/美标电子级超纯水氮气要求：99.9999% 所需电源：稳定电源380V 50HZ 占地面积：根据产水量设计公共条件：氮气要求：99.9999%进水管道清洁无污染进水压力0.3-0.4MPA持续稳定电源AC380V/AC220V地面设置排水设施设备间温度需10℃-30℃ 项目设计说明: 本系统配置设计根据客户提供水源水质设计，水质如下：超纯水系统产水2×15吨(水量可根据用户需求定制)，产水达到美标E1.2的标准; 系统采用全自动智能控制程序，自动运行、停止、清洗、再生、报警、启动等一系列操作，系统运行可以实现全程无人值守运行。工艺流程：

设备详细介绍预处理系统原水箱、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、阻垢剂系统反渗透除盐系统保安过滤器、RO高压泵、反渗透 EDI系统 EDI的作用就是通过除去电解质(包括弱电解质)的过程，将水的电阻率从0.05～1.0MΩ.cm提高到5～16MΩ.cm。抛光混床

抛光混床是超纯水在接触到半导体芯片前的最后一道化学精制的处理程序，选用品质好的核子级树脂，绝不能释出任何物质，进而污染到不能间断的超纯水供水系统。脱气系统是控制液体脱气、供气的中空纤维膜组件。具有致密表皮层的中空纤维不透过液体，只透过气体，适合用于液体的脱气、供气。 TOC系统采用UV-180nm单波长紫外技术，并通过高剂量的UV-185紫外光催化，在水中产生。OH翔基自由基，对水中的有机物进行氧化降解，以达到降低水中TOC的含量。设计优势高性能高质量:完善工艺质量控制贯彻到每个功能单元，使产品水达到优于用水标准。系统运行稳定:通过膜分离软件进行设计，设计参数准确，尽量降低工程投资和运行费用。环保高效节能：设备选型做到合理、可靠、先进，布局力求紧凑、合理、简洁、美观。

超纯水系统工艺及其施工

超纯水系统工艺及其施工 Ultrapure Water System Technics and Construction) 中国电子系统工程第二建设公司：吴纯傲文摘: 本文根据建设制备18.2MΩ以上的超纯水站为实际案例，介绍超纯水制备的基本工艺，特别注重说明了水处理不同阶段所用管道材质，并根据安装实际经验对超纯水管道施工作了详细阐述。关键词：超纯水系统洁净CPVC管PVDF管 Abstract: Take example of pure water above 18.2MΩin FAB to explain the production process flow and basic technics, especially in choosing pipeline materials at difference stage. And illuminate the construction of pure water pipeline in detail base on practical experience. Key words Ultrapure water system, Clean, CPVC pipe, PVDF pipe. 一、超纯水系统总体介绍随着电子工业的发展，在芯片的生产加工过程中，对于水质的要求也越来越高。为了保证生产出超大规模的集成电路，除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外，高纯水也是其中最关键的因素之一。高纯水系统是将一般的市政用水处理成对不同离子的含量和颗粒度都有很高要求的超纯水。超纯水系统总体来说一般可分为三个部分：超纯水制造区（CUB 部分）、超纯水抛光循环区（FAB部分）、超纯水输送管网（FAB各使用区）。其中超纯水制造区最为复杂其又可分为：预处理、一次纯水处理、超纯水处理三个部分。预处理部分主要包括：沙滤、活性炭塔（有的厂商在沙滤前还增设反应槽、气浮池）；一次纯水部分主要包括：阴阳离子交换塔、脱气塔（DG）、保安过滤器、紫外线杀菌器及多级反渗透；超纯水部分主要包括：MDG（脱氧膜组）、TOC-UV杀菌器、混床（MB）及终端过滤器。但是由于考虑到在向工艺线设备输送高纯水过程中，输水管道会对水质再次造成污染，因而在FAB内一般都设立抛光循环系统。抛光循环系统主要以MB为核心，再加上超滤设备（UF），以除去在向工艺生产线输送纯水的过程中，管网溶入水中的杂质。二、超纯水系统中各阶段常用管材在超纯水系统中管材的选用也非常重要，既要能做到保证水质、又应该做到经济合理。超纯水系统中常用管材主要包括：PVC、SGP、SGP（RL）、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。一般在超纯水制造区预处理阶段多采用PVC管或SUS304管。设备面管一般采用内衬胶钢管（SGP RL），对于水泵等产生震动的动力设备周边采用SUS304管；在一次纯水阶段主流程采用CPVC管或SUS304管。高压泵与反渗透（RO）之间，由于压力高所以必须采用SCH80的SUS304管及耐压2.0Mpa级的法兰。由于RO对水温有一定的要求，因而一般在RO之前有热交换器，其周边也应该采用SUS304管；在超纯水制造阶段，主流程一般应采用SUS316管和CPVC管；抛光循环区主流程一般采用SUS316管（焊接连接，并要求双面成型）和PVDF管，超纯水回收管道采用CPVC管。在以上水处理各阶段废水排放管道均采用普通PVC管；在纯水制造过程中酸碱等加药管线，应采用耐冲击PVC管；纯水系统中使用的氮气系统采用SUS304管，超纯水抛光系统所用氮气管道采用SUS316管；压缩空气系统在纯水系统中作为气动阀开关动力，一般采用SUS304管或SGP管，当采用SGP管时进入电气盘前需加过滤器。三、超纯水系统施工超纯水系统水站部分施工难度最大，其主要包括三个部分：设备的搬入及安装，共用管架的制作安装以及管道的安装。设备的移入一定要注意编制详细的设备吊装方案，特别是对于超重、超大、易损设备，千万不可以野蛮冒险施工。共用架台的施工要注意两个环节：一、架台与土建结构连接处一定要坚固，最好采用预埋铁板。若因种种原因不能预埋，则应用化学铆栓固定在梁上，不应使用一般的简易膨胀螺栓。切不可用铁板和简易膨胀螺栓

超纯水系统工程方案

超纯水系统设计方案目录

一、设计条件及出水水质 3 二、设计基本资料 4 三、主要组件设备说明 5 四、工艺方案流程及说明 11 五、调试及售后服务内容 12 一、设计条件及出水水质进水主要水质指标：东莞市自来水用户对出水要求：出水量：超纯水9吨/小时出水水质：主机系统超纯水：电阻率≥18MΩ.㎝@25℃；

出水温度：常温。水质检测：随机自带有电导率仪，出水电导率在线显示。设备最终产水量：纯水10吨/小时@25℃；超纯水9吨/小时@25℃；系统总进水量：15m3/h；一级反渗透的回收率≥60%；第一级反渗透的浓水直接排放； CEDI装置回收率：85～95%,浓水回收为RO系统原水。控制方式： PLC自动&手动控制。二、设计基本资料设计依据（1）《中华人民共和国环境保护法》（2）《中华人民共和国水污染防治法》（3）《给排水构筑物施工及验收规范》（GBJ125-1989）（4）《给排水管道工程施工及验收规范》（GB50268-1997）（5）《给排水工程结构设计规范》（GBJ69-1984）（6）《低压电器设计规范》（GB50054-1995）（7）《水处理设备制造技术条件》（JB|T2932-1999）

（8）相关反渗透膜生产厂家所提供技术资料。。、设计原则 1．采用成熟、先进的工艺，运行可靠，操作简单方便。 2．对反渗透膜清洗系统目前的建设投资于今后的运行费用做综合技术经济分析，尽可能用最少的资金达到理想要求。 3．根据厂方的实际情况，采用先进设备，占地少，投资省，运行费用低，操作管理方便。 4. 对回收统总费用投入的增量与回收系统运行的可靠性及发生故障时对环境的危害性作综合技术经济分析，尽可能用最少的资金投入达到系统运行安全可靠，操作简单方便。 5. 认真执行国家经济建设方针、政策和国家现行的技术标准、规范，遵守法律、法规。三、主要组件及设备说明

实验室超纯水设备简介

实验室超纯水设备简介电子级超纯水设备出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、 10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。对水质的要求：新兴的光电材料生产、加工、清洗;LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏、高品质灯管显像管、微电子工业、FPC/PCB线路板、电路板、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高，这也对超纯水处理工艺及产品的简易性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。超纯水制备工艺： 1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→ 用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺) 2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(最新工艺) 3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)(最新工艺)

4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象 (≥15MΩ.CM)(最新工艺) 5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象 (≥15MΩ.CM)(传统工艺)

电子行业去离子水处理设备的行业必要性

电子行业去离子水处理设备的行业必要性电子行业去离子水处理设备的行业必要性体现在很多方面。去离子水/超纯水在电子工业主要是线路板、电子元器件生产中的重要作用日益突出，去离子/超纯水水质已成为影响线路板、电子元器件产品质量、生产成品率及生产成本的重要因素之一，水质要求也越来越高。在电子元器件生产中，去离子水/超纯水主要用作清洗用水及用来配制各种溶液、浆料，不同的电子元器件生产中纯水的用途及对水质的要求也不同。在晶体管、集成电路生产中，去离子水/超纯水主要用于清洗硅片，另有少量用于药液配制，硅片氧化的水汽源，部分设备的冷却水，配制电镀液等。集成电路生产过程中的80%的工序需要使用高纯水清洗硅片，水质的好坏与集成电路的产品质量及生产成品率关系很大。水中的碱金属(K、Na等)会使绝缘膜耐压不良，重金属(Au、Ag、Cu等)会使PN结耐压降低，Ⅲ族元素(B、Al、Ga等)会使N型半导体特性恶化，Ⅴ族元素(P、As、Sb等)会使 P型半导体特性恶化，水中细菌高温碳化后的磷(约占灰分的 20-50%)会使P型硅片上的局部区域变为N型硅而导致器件性能变坏，水中的颗粒(包括细菌)如吸附在硅片表面，就会引起电1 路短路或特性变差。集成电路生产对纯水水质的要求见表．

表1 集成电路(DRAM)对纯水水质的要求去离子水/超纯水中杂质的污染源 1.水源的影响由于水是一种溶解能力很强的溶剂,因此天然水中含有各种盐类和化合物,溶有CO2, 还有胶体(包括硅胶和腐殖质胶体),天然水中还存在大量的非溶解性质,包括粘土、砂石、细菌、微生物、藻类、浮游生物、热源等。 2.材料的影响制备离子水/超纯水的材料设备的材质都是用金属和塑料制成的,金属在水中会有痕量溶解,造成金属离子污染。一些高分子材料,在合成时常常加入各种添加剂、增塑剂、紫外吸光剂、着同时还会带来有机污染。非金属杂质，也引入大量的金属、色剂， RO纯水系统和EDI超纯水系统可广泛应用于光伏光电、液晶显示、偏光片、ITO导电膜、电子电器、半导体、线路板、食品饮料、医学化工、电厂、生活饮水、化妆品等行业。

T超纯水系统技术方案

方案书目录

设计总则 (4) 第二章技术规范要求 (6) 1、设备制作规范及要求 (6) 2、设备制作规范通则 (8) 3、工艺系统设计依据 (9) 4、控制系统设计依据 (9) 5、电气系统设计依据 (10) 1、工艺流程图 (11) 纯水站工艺流程简图 (11) 第五章检验和标准 (19) 1、设备制造工艺和材料 (19) 设备的制造工艺和材料符合下列标准和规定的最新版本的要求： (19) ● 《钢制压力容器》 GB150-1998 (19) 2、对外接口法兰 (19) 3、衬里钢管和管件 (19) 4、现场仪表和控制系统 (20) 5、电气系统 (20) 第六章乙方技术文件交付 (21) 1、总则 (21) 2、资料交付内容及进度 (21) 3、技术资料的交付形式 (22) 4、说明 (22) 第七章技术培训与服务承诺 (23) 1、技术培训 (23) 2、服务承诺 (23) 1、设备交货与预验收 (25) 2、设备安装与验收 (25) 3、设备调试、试车及验收 (25) 第九章项目预算 (28) 1、项目报价 (28) 2、付款方式 (28) 3、设备功耗 (29) 4、运行费用 (29) 1）、电费明细： (29)

第十二章触摸屏流程图展示 (34) 第十四章原水水质报告 .......................................... 第十五章企业资质证书............................................................... ........................ 企业简介北京海德能水处理设备制造有限公司坐落于首都经济新技术开发中心－－北京亦庄，交通十分便利，地理位置优越。公司占地面积4000平方米，软硬件设施配套齐全。公司拥有工程技术人员40人，高级工程师8人，工程师20人，其他员工50余人。海德能公司是专业从事水处理设备研制、开发、生产、销售的科技型生产制造企业，公司主要产品有纯净水设备、电子化工超纯水设备、酒店宾馆供纯水设备、实验室用超纯水设备、农村饮用水设备、商用投币机设备、矿泉水设备。公司拥有先进的机械加工设备，并承揽各种非标水处理设备的制作、安装，公司年产值3000万元左右。海德能公司在设备加工方面严格按照ISO9001质量保证体系中的有关规范实施产品控制，从而奠定了海德能公司在水处理行业领域中的优势地位。海德能公司以人为本、追求卓越、求真务实、勇于创新，以高技术、高质量的产品，本着“以质量求生存，以技术求发展”的宗旨，凭借雄厚的技术和不断开拓创新的精神，为用户提供最先进的技术和最满意的服务。

Advanced系列超纯水机功能介绍

Advanced系列超纯水机功能介绍产品名称：Advanced系列实验室专用超纯水机型号：Advanced-I-06 Advanced-I-12 Advanced-I-24 Advanced-I-32 Advanced-I-40Advanced-II-04 Advanced-II-08 Advanced-II-12 Advanced-II-16 Advanced-II-24 Advanced-II-32 Advanced-II-40 适用范围：详见技术参数主要功能特点 ▲微电脑全自动控制，配备Advanced专用主板，人性化设计，具备人机对话功能 ▲系统具备故障监测指示功能(液晶屏显示RO检测、UP检测、泵检测、阀检测、仪表检测、UV检测、UF检测)，能自动检测修复主机微电脑控制系统的各项错误程序 ▲系统具备Advanced专用遥控控制和遥控设置定量取水功能，免除人工来回奔跑和取水等候。 ▲配有多功能手持式红外线遥控器，使主机拥有两套控制操作系统，设备操作更方便、可靠。 ▲系统具备Advanced专用三路水质检测显示功能，可同时检测和显示：进水电导率(μs/cm)和温度，RO 纯水电导率(μs/cm)温度和取水时间，UP超纯水的电阻率(MΩ.cm)温度和取水时间。 ▲系统具备Advanced专用内置总有机碳量(TOC)检测装置与显示功能，设计符合USP(§643)要求检测范围0-999ppb,检测精度±1ppb ，提供在线的TOC检测 ▲系统具备精确测量功能：电导池的温度补偿为±0.10C，灵敏常数为0.01/CM ▲系统具备漏水检测、报警、显示功能 ▲系统具备耗材失效自动报警并提醒更换功能 ▲系统具备原水压力检测显示并校正功能 ▲系统具备密码设置保护功能 ▲内置静音隔膜泵，1米处< 30db. ▲独特的智能真彩色大屏幕LED液晶显示器和独有的多行显示系统，所有运行状况清楚明白，操作控制简单轻松。 ▲一机两用设计，可同时制备取用超纯水和纯化水，全面满足各类清洗、实验、分析、科研等用水 ▲具备开机自检、缺水保护报警、停电自动复位、纯水桶满水后自动停机、超低压保护、RO自动冲洗功能;

机械公司简介范文5篇

机械公司简介范文5篇环新机械制造有限公司杭州三共机械有限公司瑞安市永安机械有限公司我公司不断致力于产品的技术创新及新产品的研发，目前公司不仅拥有传统的DZ、DZJ系列振动桩锤，同时通过自主创新研发出了减震胶变矩系列及液压振动锤等各种类型的振动桩锤以满足不同条件下施工的需要。强大的技术实力使我们在产品研发上不断推陈出新，我司生产的联动锤DZJ-400、DZJ-480、DZJ-600在实际应用中刷新了国内电振动锤的记录。 “永安”牌振动打桩锤各系列产品的足迹已遍布全国各地，二十多年以来，公司始终秉持以“为客户创造价值”为终极目标，以市场为导向，以满足、服务客户为宗旨。自产品进入市场以来，我公司的产品在国内300多座大型桥梁如杭州湾跨海大桥，厦门集美跨海大桥，青岛海湾大桥，南京大胜关长江大桥，钱江九桥、厦漳跨海大桥、内蒙古包头黄河大桥、宁波金塘跨海大桥等)的基建工程中被广泛应用,并在俄罗斯海参威跨海大桥、马来西亚沐胶燃媒电站工程、东埔寨KohPuos大桥、南美厄瓜多尔等其他国家重点工程中获得了客户的高度赞赏。产品远销日本、韩国、台湾、埃及、马来西亚、厄瓜多尔、俄罗斯、菲律宾、利比里亚、印尼、赤道几内亚、加纳、越南等多个国家和地区，公司以领先的技术及优良的性能在业界获得了一致好评。公司在广东、黑龙江等地区设有办事处，为更方便快捷地为各地客户提供全方位的服务，公司还将扩大规模，在全国多个城市设立办事处，更大限度地满足客户的需求。在国内同行业中，本公司率先通过ISO9001国际标准质量管理体系认证。2010年，我们与国际液压振动锤巨头荷兰ICE公司建立了

合作关系，并已在福建福鼎建立了液压振动锤生产基地。福建新永安机械有限公司厂区占地面积13500余平方米，4000余平方米的研发中心和4500平方米的厂房并购置数控加工中心等高端设备建立现代化流水线，顶尖的技术和成熟的管理模式让我们稳步向前，我们向着世界级的桩工机械类企业看齐，努力把中国制造的旗帜插遍世界。以创新为动力，力擎成熟顶尖的专业技术;以品牌经营为核心，满怀全球眼光的经营韬略，力求为客户创造“安全、可靠、专业、高效”的桩工机械产品，把“永安”打造成一个国际一流的桩工机械品牌。徐工集团成立于1989年3月，25年来始终保持中国工程机械行业排头兵的地位，目前位居世界工程机械行业第5位，中国500强企业第150位，中国制造业500强第55位，是中国工程机械行业规模最大、产品品种与系列最齐全、最具竞争力和影响力的大型企业集团。朔马珞(上海)机械设备有限公司是SomeroEnterprises,Inc.在国内的销售公司。公司位于上海市青浦区。企业致力于将欧美混凝土地坪行业的先进施工、检测经验引入国内，全面提升国内地坪施工质量，推动国内行业健康发展。朔马珞(上海)机械设备有限公司销售的主要产品包括美国朔马珞公司生产制造的各种系列混凝土激光整平机、混凝土激光刮平机和各种类型混凝土施工机械。针对客户所购买的产品类型，朔马珞提供7×24小时的技术服务支持和设备质保。同时，朔马珞还能根据客户要求，为客户提供地坪施工质量的检测服务，并出具具有美国FACE公司和朔马珞公司认可的地面平整度检测证书。成立于1986年的朔马珞公司是一家在伦敦证交所上市的上市公司，企业产品拥有多项发明专利，其两轮手扶式和四轮驾驶式激光整平机在国内具有领先的市场份额。凭借持续创新，企业在2007年美国拉斯维加斯的世界混凝土展(WorldofConcrete)上获得最具创新力产品创新奖。

中国国家电子级超纯水标准.doc

附 1 中国国家电子级超纯水规格GB/ 电阻 >1μ m 率硅铜锌镍钠钾氯细菌磷酸根颗粒硝酸根硫酸根 25℃≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤个≤μTOC≤μ g/L ≤个≤ g/L ≤μ g/L MΩg/L g/L g/L g/L g/L g/L g/L /ml g/L /ml *cm EW-I ≥ 18* 2 1 1 1 1 20 ≥1 EW-II 10 0 0 1 2 2 1 5 1 1 1 100 ** 注* （ 95％时间不低于17）， ** （ 95％时间不低于13）中国国家电子级超纯水GB/－ 1997 标准指标级别EW－ⅠEW－ⅡEW－ⅢEW-Ⅳ 18 以上，（95％时间）不低电阻率MΩ， cm(25℃ ) 15，（ 95％时间）不低于13 于17

全硅，最大值 , μ g/L 2 10 50 1000 ＞ 1μ m微粒数，最大值，个 /mL 5 10 500 细菌个数，最大 10 100 ，个 /mL 铜，最大值，μ g/L 1 2 500 锌，最大值，μ g/L 1 5 500 镍，最大值，μ g/L 1 2 500 钠，最大值，μ g/L 2 5 1000 钾，最大值，μ g/L 2 5 500 氯，最大值，μ g/L 1 1 10 1000 硝酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 磷酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 硫酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500

总有机 201002001000 ，最大值，μg/L 电子级超纯水中国国家标准（GB/） >1μm微项目比电阻 MΩ.cm@25℃硅≤粒数 < 个细菌个数氧≤硝酸根≤磷酸根≤硫酸根总有机碳级别 μg/L /ml < 个/ml 铜≤μ g/L 锌≤μ g/L 镍≤μ g/L 钠≤μ g/L 钾≤ g/L μg/L μg/L μg/L ≤μg/L ≤μg/L 18（ 95%的时间不低于 EW-Ⅰ 2 1 1 1 1 20 17） 15（ 95%的时间不低于 EW-Ⅱ10 5 1 1 1 2 2 1 1 1 1 100 13）

高纯水设备的本质介绍分析资料下载

高纯水设备的本质介绍分析资料下载一、高纯水设备(EDI)概述： EDI高纯水设备作为制取超纯水的设备，作为反渗透设备后的二次除盐设备，可以制取出高达10-18.2MΩ.CM。因此广泛用于微电子工业，半导体工业，发电工业，制药行业和实验室。也可以作为制药蒸馏水、食物和饮料生产用水、发电厂的锅炉的补给水，以及其它应用高纯水。该技术资料由莱特莱德长沙高纯水设备厂家提供二、高纯水设备的本质及原理

连续电除盐(EDI，Electro deionization或CDI，continuous electrode ionization),是利用混和离子交换树脂吸附给水中的阴阳离子，同时这些被吸附的离子又在直流电压的作用下，分别透过阴阳离子交换膜而被除去的过程。这一过程离子交换树脂是电连续再生的，因此不需要使用酸和碱对之再生。这一新技术可以替代传统的离子交换装置，生产出高达18M-CM的超纯水。又可以比较清晰地描述如下：EDI是利用阴、阳离子膜，采用对称堆放的形式，在阴、阳离子膜中间夹着阴、阳离子树脂，分别在直流电压的作用下，进行阴、阳离子交换。而同时在电压梯度的作用下，水会发生电解产生大量H+和OH-，这些H+和OH-对离子膜中间的阴、阳离子不断地进行了再生。由于EDI不停进行交换——再生，使得纯水度越来越高，所以，轻而易举的产生了高纯度的高纯水。三、EDI高纯水设备的组成部分 1、采用美国进口Electropure XL-400模块5块; 2、美国Hanna电阻率、电导率在线监侧仪表一组; 3、电源控制系统：主要电器元件为施乃得、欧姆龙及国产优质器件，采用PLC控制，电动球阀、施乃得电器元件; 四、EDI高纯水设备性能优势：

超纯水设备满足电子级超纯水制取需求

根据相关统计数据，2019年全球人工智能芯片市场规模将达到110亿美元。随着人工智能技术的成熟和数字基础设施的不断完善，人工智能芯片市场也迎来了快速增长期。预计2025年全球人工智能芯片市场将达到726亿美元。 2020年光电子产业博览于2020年11月30日-12月2日在北京国家会议中心举办。本届博览会覆盖光电子领域全产业链，聚焦行业应用，为制造商提供新思路及解决方案，终端买家精准对接，近年来，由于芯片制程对设计规则之需求朝更精密更细小的趋势发展，因而对行业用水的水质要求也越趋严格，在此背景下，莱特莱德超纯水设备已经成为行业用水新“潮流”。超纯水设备通常由石英砂过滤器，活性碳过滤器，阻垢剂、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人值守，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。超纯水设备工艺流程自来水进入原水箱，通过原水泵增压，经砂滤器、炭滤器、阻垢剂加药、保安过滤器，到达反渗透单元，经两级反渗透过滤进入EDI

单元，抛光混床单元，EDI出水进入纯水水箱，此时水质的电阻率是15兆欧，经过抛光混床后，产水电阻率达到18兆欧，但是不进入水箱，直接进入用水点。因为水箱中若出现产水滞留，会影响产水水质。纯水供水设计为循环方式，经纯水供水泵增压，通过紫外线消毒器、抛光混床接入纯水供水管，到达使用点。 AI芯片经过数年的探索，已经开始在多个市场应用中初露锋芒。在这个过程当中，AI芯片发展的挑战和技术方向也逐渐明晰了起来。莱特莱德超纯水设备能连续稳定地制备出高质量的超纯水，不会因树脂再生而停止运行。设备的结构设计比较紧凑，占地面积很小，可以为企业节省大量空间。设备出厂前需要进行检验，设备故障概率小，日常维护和维修操作非常简单。

简述电子超纯水设备工艺步骤内容详解

简述电子超纯水设备工艺步骤内容详解超纯水设备可以将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。设备产水电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm极限值。集成电路工业中超纯水设备用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水设备产出的超纯水。依各种原水水质和用户要求的不同，超纯水设备的工艺大体可分为预处理、脱盐和精处理三步。预处理包括砂滤、多介质过滤、软化、加氯、调节pH、活性碳过滤、脱气等。过滤可除去 1～20微米大小的颗粒，软化和调节pH可防止反渗透膜结垢，加氯是杀菌。活性碳过滤是除去有机物和自由氯，脱气是清除溶于水中的CO2等。脱盐包括反渗透、离子交换。反渗透是渗透现象的逆过程,在浓溶液上加压力,使溶剂从浓溶液一侧通过半透膜向稀溶液一侧反向渗透，脱盐可达98%，并能除去99%的细菌颗粒和溶解在水中的有机物。离子交换的原理是当水通过阳离子交换树脂时，水中的阳离子被阳离子交换树脂吸附，树脂上可交换的阳离子如

H离子被置换到水中，并和水中的阴离子结合成相应的无机酸，如超纯水：这种含有无机酸的水，当下一步通过阴离子交换树脂层时，水中的阴离子被阴离子交换树脂吸附。树脂上可交换的阴离子如OH离子被置换到水中,并与水中的H离子结合成水，即超纯水精处理包括紫外线杀菌、终端膜过滤和超滤。紫外线消毒器紫外线杀菌是因生物体的核酸吸收紫外线光的能量而改变核酸自身结构,破坏核酸功能而使细菌死亡。杀菌最强的光谱波长为2600埃。各种膜过滤能除掉直径大于 0.2微米的颗粒，但对于清除有机物则不如反渗透和超滤有效。反渗透设备超滤是把各种选择性的分子分离。在超滤过程中，水在压力下流过一个卷式或中空纤维膜棒。膜孔径在10～200埃范围内,薄膜厚度为0.1～0.5微米,附在一个中孔的纤维棒内壁上，超滤能除去细菌和 0.05微米的粒子。电子工业超纯水概述超纯水设备广泛应用于半导体、花式棉花糖集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路。集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。反渗透设备目前我国电子工业