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(完整版)半导体材料的分类_及其各自的性能汇总

(完整版)半导体材料的分类_及其各自的性能汇总
(完整版)半导体材料的分类_及其各自的性能汇总

其中晶态半导体又可以分为单晶半导体和多晶半导体。上述材料中,锗(Ge)、硅(Si)、砷化镓(GaAs)都是单晶,是由均一的晶粒有序堆积组成;而多晶则是由很多小晶粒杂乱地堆积而成。对于非晶态半导体,有非晶态硅、非晶态锗等,它们没有规则的外形,也没有固定熔点,内部结构不存在长程有序,只是在若干原子间距内的较小范围内存在结构上的有序排列,称作短程有序。

另外,在实际应用中,根据半导体材料中是否含有杂质,又可以将半导体材料分为本征半导体和杂质半导体。在下面的章节中将会介绍,杂质的存在将对材料的性能产生很大的影响。

二. 半导体材料的结构及其性能

1.几种半导体材料的结构

1.1金刚石结构型材料

Si、Ge等Ⅳ族元素有4个未配对的价电子,每个原子只能与周围4个原子共价键合,使每个原子的最外层都成为8个电子的闭合壳层,因此共价晶体的配位数(即晶体中一个原子最近邻的原子数)只能是 4。方向性是指原子间形成共价键时,电子云的重叠在空间一定方向上具有最高密度,这个方向就是共价键方向。共价键方向是四面体对称的,即共价键是从正四面体中心原子出发指向它的四个顶角原子,共价键之间的夹角为109°28′,这种正四面体称为共价四面体,见图 1.2。

图中原子间的二条连线表示共有一对价电子,二条线的方向表示共价键方向。共价四面体中如果把原子粗略看成圆球并且最近邻的原子彼此相切,圆球半径就称为共价四面体半径。

单纯依靠图1.2那样的一个四面体还不能表示出各个四面体之间的相互关系,为充分展示共价晶体的结构特点,图1.3(a)画出了由四个共价四面体所组成的一个Si、Ge晶体结构的晶胞,统称为金刚石结构晶胞,整个Si、Ge晶体就是由这样的晶胞周期性重复排列而成。它是一个正立方体,立方体的八个顶角和六个面心各有一个原子,内部四条空间对角线上距顶角原子1/4对角线长度处各有一个原子,金刚石结构晶胞中共有8个原子。金刚石结构晶胞也可以看作是两个面心立方沿空间对角线相互平移 1/4 对角线长度套构而成的。

1.2闪锌矿结构

该类型材料主要是Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族二元化合物半导体,例如ZnS、ZnSe、GaAs、GaP。

GaAs晶体中每个Ga原子和As原子共有一对价电子,形成四个共价键,组成共价四面体。图1.4 为GaAs 的晶胞,闪锌矿结构和金刚石结构的不同之处在于套构成晶胞的两个面心立方分别是由两种不同原子组成的。在金刚石结构和闪锌矿结构中,正立方体晶胞的边长称为晶格常数,通常用a表示。

1.3纤锌矿型结构

该类型材料主要是Ⅱ-Ⅵ族二元化合物半导体,例如ZnS、ZnSe、CdS、CdSe。

1.4氯化钠型结构

该类型材料主要是IV-Ⅵ族二元化合物半导体,例如硫化铅、硒化铅、碲化铅等。

2.半导体中电子的状态与能带的形成

半导体中的电子能量状态和运动特点及其规律决定了半导体的性质容易受到外界温度、光照、电场、磁场和微量杂质含量的作用而发生变化。

半导体的一般能级机构如下:

由固体物理知识,我们知道:能带的宽窄由晶体的性质决定,

与晶体中含的原子数目无关,但每个能带中所含的能级数目与晶体中的原子数有关。因此,对于每种半导体,其能带结构是不同的。例如:

硅、锗、砷化镓的能带结构

3.本征半导体和杂质半导体

3.1本征半导体

纯净的、不含任何杂质和缺陷的半导体称为本征半导体。

一定温度下的本征半导体,共价键上的电子可以获得能量挣脱共价键的束缚从而脱离共价键,成为参与共有化运动的“自由”电子。共价键上的电子脱离共价键的束缚所需要的最低能量就是禁带宽度。将共价键上的电子激发成为准自由电子,也就是价带电子激发成为导带电子的过程,称为本征激发。

本征激发的一个重要特征是成对的产生导带电子和价带空穴。本征半导体的导带电子参与导电,同时价带空穴也参与导电,存在着两种荷载电流的粒子,统称为载流子。一定温度下,价带

Ⅳ族的Si或Ge中形成替位式杂质,用单位体积中的杂质原子数,也就是杂质浓度来定量描述杂质含量多少,杂质浓度的单位为1/cm3。

Si半导体器件和集成电路生产中,最常用的杂质是替位式Ⅲ族和Ⅴ族元素。图1.27所示的Si中掺入V族元素磷(P)时,由于Si中每一个Si原子的最近邻有四个Si原子,当五个价电子的磷原子取代Si原子而位于格点上时,磷原子五个价电子中的四个与周围的四个Si原子组成四个共价键,还多出一个价电子,磷原子所在处也多余一个称为正电中心磷离子的正电荷。多余的这个电子虽然不受共价键的束缚,但被正电中心磷离子所吸引只能在其周围运动,不过这种吸引要远弱于共价键的束缚,只需要很小的能量就可以使其挣脱束缚(称为电离),形成能在整个晶体中“自由”运动的导电电子。而正电中心磷离子被晶格所束缚,不能运动。由于以磷为代表的Ⅴ族元素在Si中能够施放导电电子,称 V 族元素为施主杂质或n型杂质。电子脱离施主杂质的束缚成为导电电子的过程称为施主电离,所需要的能量称为施主杂质电离能。其大小与半导体材料和杂质种类有关,但远小于Si和Ge的禁带

宽度施主杂质未电离时是中性的,称为束缚态或中性态,电离后称为施主离化态。Si中掺入施主杂质后,通过杂质电离增加了导电电子数量从而增强了半导体的导电能力,把主要依靠电子导电的半导体称为n型半导体。n型半导体中电子称为多数载流子,简称多子;而空穴称为少数载流子,简称少子。

图1.27中Si掺Ⅲ族元素硼(B)时,硼只有三个价电子,为与周围四个Si原子形成四个共价键,必须从附近的Si原子共价键中夺取一个电子,这样硼原子就多出一个电子,形成负电中心硼离子,同时在Si的共价键中产生了一个空穴,这个被负电中心硼离子依靠静电引力束缚的空穴还不是自由的,不能参加导电,但这种束缚作用同样很弱,很小的能量就使其成为可以“自由”运动的导电空穴,而负电中心硼离子被晶格所束缚,不能运动。由于以硼原子为代表的Ⅲ族元素在Si、Ge中能够接受电子而产生导电空穴,称Ⅲ族元素为受主杂质或p型杂质。空穴挣脱受主杂质束缚的过程称为受主电离。而所需要的能量称为受主杂质电离能。

不同半导体和不同受主杂质其也不相同,但通常远小于Si 和Ge禁带宽度。受主杂质未电离时是中性的,称为束缚态或中性态,电离后成为负电中心,称为受主离化态。Si中掺入受主杂质后,受主电离增加了导电空穴,增强了半导体导电能力,把主要依靠空穴导电的半导体称作p型半导体。p型半导体中空穴是多子,电子是少子。表1.2列出了Si、Ge晶体中Ⅲ、Ⅴ族杂质的电离能。

掺入施主杂质的半导体,施主能级上的电子获得能量后由束缚态跃迁到导带成为导电电子,因此施主能级位于比导带底低的禁带中,且空穴由于带正电,能带图中能量自上向下是增大的。对于掺入Ⅲ族元素的半导体,被受主杂质束缚的空穴能量状态(称为受主能级)位于比价带顶低的禁带中,当受主能级上的空穴得到能量后,就从受主的束缚态跃迁到价带成为导电空穴。

N A- N D≈N A。通过补偿以后半导体中的净杂质浓度称为有效杂质浓度。如果N D>N A,称N D-N A为有效施主浓度;如果N D

半导体器件和集成电路生产中就是利用杂质补偿作用,在n型

Si外延层上的特定区域掺入比原先n型外延层浓度更高的受主杂质,通过杂质补偿作用就形成了p型区,而在n型区与p型区的交界处就形成了pn结。如果再次掺入比p型区浓度更高的施主杂质,在二次补偿区域内p型半导体就再次转化为n型,从而形成双极型晶体管的n-p-n结构,见图1.30。很多情况下晶体管和集成电路生产中的掺杂过程实际上是杂质补偿过程。杂质补偿过程中如果出现N D≈N A,称为高度补偿或过度补偿,这时施主和受主杂质都不能提供载流子,载流子基本源于本征激发。高度补偿材料质量不佳,不宜用来制造器件和集成电路。

半导体材料硅的基本性质

半导体材料硅的基本性质 一.半导体材料 1.1 固体材料按其导电性能可分为三类:绝缘体、半导体及导体,它们典型的电阻率如下: 图1 典型绝缘体、半导体及导体的电导率范围 1.2 半导体又可以分为元素半导体和化合物半导体,它们的定义如下: 元素半导体:由一种材料形成的半导体物质,如硅和锗。 化合物半导体:由两种或两种以上元素形成的物质。 1)二元化合物 GaAs —砷化镓 SiC —碳化硅 2)三元化合物 As —砷化镓铝 AlGa 11 AlIn As —砷化铟铝 11 1.3 半导体根据其是否掺杂又可以分为本征半导体和非本征半导体,它们的定义分别为: 本征半导体:当半导体中无杂质掺入时,此种半导体称为本征半导体。 非本征半导体:当半导体被掺入杂质时,本征半导体就成为非本征半导体。 1.4 掺入本征半导体中的杂质,按释放载流子的类型分为施主与受主,它们的定义分别为: 施主:当杂质掺入半导体中时,若能释放一个电子,这种杂质被称为施主。如磷、砷就是硅的施主。 受主:当杂质掺入半导体中时,若能接受一个电子,就会相应地产生一个空穴,这种杂质称为受主。如硼、铝就是硅的受主。

图1.1 (a)带有施主(砷)的n型硅 (b)带有受主(硼)的型硅 1.5 掺入施主的半导体称为N型半导体,如掺磷的硅。 由于施主释放电子,因此在这样的半导体中电子为多数导电载流子(简称多子),而空穴为少数导电载流子(简称少子)。如图1.1所示。 掺入受主的半导体称为P型半导体,如掺硼的硅。 由于受主接受电子,因此在这样的半导体中空穴为多数导电载流子(简称多子),而电子为少数导电载流子(简称少子)。如图1.1所示。 二.硅的基本性质 1.1 硅的基本物理化学性质 硅是最重要的元素半导体,是电子工业的基础材料,其物理化学性质(300K)如表1所示。

半导体材料及特性

地球的矿藏多半是化合物,所以最早得到利用的半导体材料都是化合物,例如方铅矿(PbS)很早就用于无线电检波,氧化亚铜(Cu 2 O)用作固体整流器,闪锌矿(ZnS)是熟知的固体发光材料,碳化硅(SiC)的整流检波作用也较早被利用。硒(Se)是最早发现并被利用的元素半导体,曾是固体整流器和光电池的重要材料。元素半导体锗(Ge)放大作用的发现开辟了半导体历史新的一页,从此电子设备开始实现晶体管化。中国的半导体研究和生产是从1957年首次制备出高纯度(99.999999%~99.9999999%) 的锗开始的。采用元素半导体硅(Si)以后,不仅使晶体管的类型和品种增加、性能提高,而且迎来了大规模和超大规模集成电路的时代。以砷化镓(GaAs)为代表的Ⅲ-Ⅴ族化合物的发现促进了微波器件和光电器件的迅速发展。 半导体材料可按化学组成来分,再将结构与性能比较特殊的非晶态与液态半导体单独列为一类。按照这样分类方法可将半导体材料分为元素半导体、无机化合物半导体、有机化合物半导体和非晶态与液态半导体。 元素半导体:在元素周期表的Ⅲ A 族至Ⅶ A 族分布着11种具有半导性的元素,下表的黑框中 即这11种元素半导体,其中C表示金刚石。C、P、Se具有绝缘体与半导体两种形态;B、Si、Ge、Te具有半导性;Sn、As、Sb具有半导体与金属两种形态。P的熔点与沸点太低,Ⅰ的蒸汽压太高、容易分解,所以它们的实用价值不大。As、Sb、Sn的稳定态是金属,半导体是不稳定的形态。B、C、Te也因制备工艺上的困难和性能方面的局限性而尚未被利用。因此这11种元素半导体中只有Ge、Si、Se 3种元素已得到利用。Ge、Si仍是所有半导体材料中应用最广的两种材料。 无机化合物半导体: 四元系等。二元系包括:①Ⅳ-Ⅳ族:SiC 和Ge-Si合金都具有闪锌矿的结构。 -Ⅴ族:由周期表中Ⅲ族元素Al、Ga、In 和V族元素P、As、Sb 为GaAs。它们都具有闪锌矿结构,它们在 应用方面仅次于Ge、Si,有很大的发展前 途。③Ⅱ-Ⅵ族:Ⅱ族元素Zn、Cd、Hg和 Ⅵ族元素S、Se、Te形成的化合物,是一 些重要的光电材料。ZnS、CdTe、HgTe具 有闪锌矿结构。④Ⅰ-Ⅶ族:Ⅰ族元素C u、Ag、Au和Ⅶ族元素Cl、Br、I 化合物,其中CuBr、CuI ⑤Ⅴ-Ⅵ族:Ⅴ族元素As、Sb、Bi和Ⅵ族

半导体材料课程教学大纲

半导体材料课程教学大纲 一、课程说明 (一)课程名称:半导体材料 所属专业:微电子科学与工程 课程性质:专业限选 学分: 3 (二)课程简介:本课程重点介绍第一代和第二代半导体材料硅、锗、砷化镓等的制备基本原理、制备工艺和材料特性,介绍第三代半导体材料氮化镓、碳化硅及其他半导体材料的性质及制备方法。 目标与任务:使学生掌握主要半导体材料的性质以及制备方法,了解半导体材料最新发展情况、为将来从事半导体材料科学、半导体器件制备等打下基础。 (三)先修课程要求:《固体物理学》、《半导体物理学》、《热力学统计物理》; 本课程中介绍半导体材料性质方面需要《固体物理学》、《半导体物理学》中晶体结构、能带理论等章节作为基础。同时介绍材料生长方面知识时需要《热力学统计物理》中关于自由能等方面的知识。 (四)教材:杨树人《半导体材料》 主要参考书:褚君浩、张玉龙《半导体材料技术》 陆大成《金属有机化合物气相外延基础及应用》 二、课程内容与安排 第一章半导体材料概述 第一节半导体材料发展历程 第二节半导体材料分类 第三节半导体材料制备方法综述 第二章硅和锗的制备 第一节硅和锗的物理化学性质 第二节高纯硅的制备 第三节锗的富集与提纯

第三章区熔提纯 第一节分凝现象与分凝系数 第二节区熔原理 第三节锗的区熔提纯 第四章晶体生长 第一节晶体生长理论基础 第二节熔体的晶体生长 第三节硅、锗单晶生长 第五章硅、锗晶体中的杂质和缺陷 第一节硅、锗晶体中杂质的性质 第二节硅、锗晶体的掺杂 第三节硅、锗单晶的位错 第四节硅单晶中的微缺陷 第六章硅外延生长 第一节硅的气相外延生长 第二节硅外延生长的缺陷及电阻率控制 第三节硅的异质外延 第七章化合物半导体的外延生长 第一节气相外延生长(VPE) 第二节金属有机物化学气相外延生长(MOCVD) 第三节分子束外延生长(MBE) 第四节其他外延生长技术 第八章化合物半导体材料(一):第二代半导体材料 第一节 GaAs、InP等III-V族化合物半导体材料的特性第二节 GaAs单晶的制备及应用 第三节 GaAs单晶中杂质控制及掺杂 第四节 InP、GaP等的制备及应用 第九章化合物半导体材料(二):第三代半导体材料 第一节氮化物半导体材料特性及应用 第二节氮化物半导体材料的外延生长 第三节碳化硅材料的特性及应用 第十章其他半导体材料

型半导体材料的设计与性能分析

景德镇陶瓷学院 半导体课程设计报告 设计题目n型半导体材料的设计与性能分析专业班级 姓名 学号 指导教师 完成时间

一﹑杂质半导体的应用背景 半导体中的杂质对电离率的影响非常大,本征半导体经过掺杂就形成杂质半导体,半导体中掺杂微量杂质时,杂质原子的附近的周期势场的干扰并形成附加的束缚状态,在禁带只能够产生的杂质能级。能提供电子载流子的杂质称为施主杂质,相应能级称为施主能级,位于禁带上方靠近导带底附近。 一、N型半导体在本征半导提硅(或锗)中掺入微量的5价元素,例如磷,则磷原子就取代了硅晶体中少量的硅原子,占据晶格上的某些位置。 磷原子最外层有5个价电子,其中4个价电子分别与邻近4个硅原子形成共价键结构,多余的1个价电子在共价键之外,只受到磷原子对它微弱的束缚,因此在室温下,即可获得挣脱束缚所需要的能量而成为自由电子,游离于晶格之间。失去电子的磷原子则成为不能移动的正离子。磷原子由于可以释放1个电子而被称为施主原子,又称施主杂质。 在本征半导体中每掺入1个磷原子就可产生1个自由电子,而本征激发产生的空穴的数目不变。这样,在掺入磷的半导体中,自由电子的数目就远远超过了空穴数目,成为多数载流子(简称多子),空穴则为少数载流子(简称少子)。显然,参与导电的主要是电子,故这种半导体称为电子型半导体,简称N型半导体。 二、P型半导体在本征半导体硅(或锗)中,若掺入微量的3价元素,如硼,这时硼原子就取代了晶体中的少量硅原子,占 据晶格上的某些位置。硼原子的3个价电子分别与其邻近的3个硅原子中的3个价电子组成完整的共价键,而与其相邻的另1个硅原子的共价键中则缺少1个电子,出现了1个空穴。这个空穴被附近硅原子中的价电子来填充后,使3价的硼

半导体材料的特性参数和要求

半导体材料的特性参数和要求有哪些? 半导体材料-特性参数 LED灯泡半导体材料虽然种类繁多但有一些固有的特性,称为半导体材料的特性参数。这些特性参数不仅能反映半导体材料与其他非半导体材料之间的差别,而且更重要的是能反映各种半导体材料之间甚至同一种材料在不同情况下特性上的量的差别。 常用的半导体材料的特性参数有:禁带宽度、电阻率、载流子迁移率(载流子即半导体中参加导电的电子和空穴)、非平衡载流子寿命、位错密度。 禁带宽度由半导体的电子态、原子组态决定,反映组成这种材料的原子中价电子从束缚状态激发到自由状态所需的能量。 电阻率、载流子迁移率反映材料的导电能力。 非平衡载流子寿命反映半导体材料在外界作用(如光或电场)下内部的载流子由非平衡状态向平衡状态过渡的弛豫特性。 位错是晶体中最常见的一类晶体缺陷。 位错密度可以用来衡量半导体单晶材料晶格完整性的程度。当然,对于非晶态半导体是没有这一反映晶格完整性的特性参数的。 半导体材料-特性要求 LED灯泡半导体材料的特性参数对于材料应用甚为重要。因为不同的特性决定不同的用途。 晶体管对材料特性的要求:根据晶体管的工作原理,要求材料有较大的非平衡载流子寿命和载流子迁移率。用载流子迁移率大的材料制成的晶体管可以工作于更高的频率(有较好的频率响应)。晶体缺陷会影响晶体管的特性甚至使其失效。晶体管的工作温度高温限决定于禁带宽度的大小。禁带宽度越大,晶体管正常工作的高温限也越高。 光电器件对材料特性的要求:利用半导体的光电导(光照后增加的电导)性能的辐射探测器所适用的辐射频率范围与材料的禁带宽度有关。材料的非平衡载流子寿命越大,则探测器的灵敏度越高,而从光作用于探测器到产生响应所需的时间(即探测器的弛豫时间)也越长。因此,高的灵敏度和短的弛豫时间二者难于兼顾。对于太阳电池来说,为了得到高的转

半导体纳米材料的光学性能及研究进展

?综合评述? 半导体纳米材料的光学性能及研究进展Ξ 关柏鸥 张桂兰 汤国庆 (南开大学现代光学研究所,天津300071) 韩关云 (天津大学电子工程系,300072) 摘要 本文综述了近年来半导体纳米材料光学性能方面的研究进展情况,着重介绍了半导体纳米材料的光吸收、光致发光和三阶非线性光学特性。 关键词 半导体纳米材料;光学性能 The Optica l Properties and Progress of Nanosize Sem iconductor M a ter i a ls Guan B ai ou Zhang Gu ilan T ang Guoqing H an Guanyun (Institute of M odern Op tics,N ankaiU niversity,T ianjin300071) Abstract T he study of nano size sem iconducto r particles has advanced a new step in the understanding of m atter.T h is paper summ arizes the p rogress of recent study on op tical p roperties of nano size sem icon2 ducto r m aterials,especially emphasizes on the op tical2abso rp ti on,pho to lum inescence,nonlinear op tical p roperties of nano size sem iconducto r m aterials. Key words nano size sem iconducto r m aterials;op tical p roperties 1 引言 随着大规模集成的微电子和光电子技术的发展,功能元器件越来越微细,人们有必要考察物质的维度下降会带来什么新的现象,这些新的现象能提供哪些新的应用。八十年代起,低维材料已成为倍受人们重视的研究领域。 低维材料一般分为以下三种:(1)二维材料,包括薄膜、量子阱和超晶格等,在某一维度上的尺寸为纳米量级;(2)一维材料,或称量子线,线的粗细为纳米量级;(3)零维材料,或称量子点,是尺寸为纳米量级的超细微粒,又称纳米微粒。随着维数的减小,半导体材料的电子能态发生变化,其光、电、声、磁等方面性能与常规体材料相比有着显著不同。低维材料开辟了材料科学研究的新领域。本文仅就半导体纳米微粒和由纳米微粒构成的纳米固体的光学性能及其研究进展情况做概括介绍。2 半导体纳米微粒中电子的能量状态 当半导体材料从体块减小到一定临界尺寸以后,其载流子(电子、空穴)的运动将受限,导致动能的增加,原来连续的能带结构变成准分立的类分子能级,并且由于动能的增加使得能隙增大,光吸收带边向短波方向移动(即吸收蓝移),尺寸越小,移动越大。 关于半导体纳米微粒中电子能态的理论工作最早是由AL.L.Efro s和A.L.Efro s开展的[1]。他们采用有效质量近似方法(E M A),根据微粒尺寸R与体材料激子玻尔半径a B之比分为弱受限(Rμa B,a B=a e+ a h,a e,a h分别为电子和空穴的玻尔半径)、中等受限(a h

半导体材料的分类及应用

半导体材料的分类及应用

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半导体材料的分类及应用 能源、材料与信息被认为是当今正在兴起的新技术革命的三大支柱。材料方面, 电子材料的进展尤其引人注目。以大规模和超大规模集成电路为核心的电脑的问世极大地推动了现代科学技术各个方面的发展,一个又一个划时代意义的半导体生产新工艺、新材料和新仪器不断涌现, 并迅速变成生产力和生产工具,极大地推动了集成电路工业的高速发展。半导体数字集成电路、模拟集成电路、存储器、专用集成电路和微处理器,无论是在集成度和稳定可靠性的提高方面, 还是在生产成本不断降低方面都上了一个又一个新台阶,有力地促进了人类在生物工程、航空航天、工业、农业、商业、科技、教育、卫生等领域的全面发展, 也大大地方便和丰富了人们的日常生活。半导体集成电路的发展水平, 是衡量一个国家的经济实力和科技进步的主要标志之一, 然而半导体材料又是集成电路发展的一个重要基石。“半体体材料”作为电子材料的代表,在生产实践的客观需求刺激下, 科技工作者已经发现了数以千计的具有半导体特性的材料, 并正在卓有成效在研究、开发和利用各种具有特殊性能的材料。 1 元素半导体 周期表中有12 种具有半导体性质的元素( 见下表) 。但其中S、P、As、Sb 和I 不稳定,易发挥; 灰Sn在室温下转变为白Sn, 已金属;B、C的熔点太高, 不易制成单晶; T e 十分稀缺。这样只剩下Se、Ge 和Si 可供实用。半导体技术的早期( 50 年代以前) 。

半导体材料能带测试及计算

半导体材料能带测试及计算 对于半导体,是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,其具有一定的带隙(E g)。通常对半导体材料而言,采用合适的光激发能够激发价带(VB)的电子激发到导带(CB),产生电子与空穴对。 图1. 半导体的带隙结构示意图。 在研究中,结构决定性能,对半导体的能带结构测试十分关键。通过对半导体的结构进行表征,可以通过其电子能带结构对其光电性能进行解析。对于半导体的能带结构进行测试及分析,通常应用的方法有以下几种(如图2): 1.紫外可见漫反射测试及计算带隙E g; 2.VB XPS测得价带位置(E v); 3.SRPES测得E f、E v以及缺陷态位置; 4.通过测试Mott-Schottky曲线得到平带电势; 5.通过电负性计算得到能带位置. 图2. 半导体的带隙结构常见测试方式。 1.紫外可见漫反射测试及计算带隙 紫外可见漫反射测试 2.制样:

背景测试制样:往图3左图所示的样品槽中加入适量的BaSO4粉末(由于BaSO4粉末几乎对光没有吸收,可做背景测试),然后用盖玻片将BaSO4粉末压实,使得BaSO4粉末填充整个样品槽,并压成一个平面,不能有凸出和凹陷,否者会影响测试结果。 样品测试制样:若样品较多足以填充样品槽,可以直接将样品填充样品槽并用盖玻片压平;若样品测试不够填充样品槽,可与BaSO4粉末混合,制成一系列等质量分数的样品,填充样品槽并用盖玻片压平。 图3. 紫外可见漫反射测试中的制样过程图。 1.测试: 用积分球进行测试紫外可见漫反射(UV-Vis DRS),采用背景测试样(BaSO4粉末)测试背景基线(选择R%模式),以其为background测试基线,然后将样品放入到样品卡槽中进行测试,得到紫外可见漫反射光谱。测试完一个样品后,重新制样,继续进行测试。 ?测试数据处理 数据的处理主要有两种方法:截线法和Tauc plot法。截线法的基本原理是认为半导体的带边波长(λg)决定于禁带宽度E g。两者之间存在E g(eV)=hc/λg=1240/λg(nm)的数量关系,可以通过求取λg来得到E g。由于目前很少用到这种方法,故不做详细介绍,以下主要来介绍Tauc plot法。 具体操作: 1、一般通过UV-Vis DRS测试可以得到样品在不同波长下的吸收,如图4所示; 图4. 紫外可见漫反射图。

半导体材料的分类及应用

半导体材料的分类及应用 能源、材料与信息被认为是当今正在兴起的新技术革命的三大支柱。材料方面, 电子材料的进展尤其引人注目。以大规模和超大规模集成电路为核心的电脑的问世极大地推动了现代科学技术各个方面的发展,一个又一个划时代意义的半导体生产新工艺、新材料和新仪器不断涌现, 并迅速变成生产力和生产工具, 极大地推动了集成电路工业的高速发展。半导体数字集成电路、模拟集成电路、存储器、专用集成电路和微处理器, 无论是在集成度和稳定可靠性的提高方面, 还是在生产成本不断降低方面都上了一个又一个新台阶,有力地促进了人类在生物工程、航空航天、工业、农业、商业、科技、教育、卫生等领域的全面发展, 也大大地方便和丰富了人们的日常生活。半导体集成电路的发展水平, 是衡量一个国家的经济实力和科技进步的主要标志之一, 然而半导体材料又是集成电路发展的一个重要基石。“半体体材料”作为电子材料的代表, 在生产实践的客观需求刺激下, 科技工作者已经发现了数以千计的具有半导体特性的材料, 并正在卓有成效在研究、开发和利用各种具有特殊性能的材料。 1 元素半导体 周期表中有12 种具有半导体性质的元素( 见下表) 。但其中S、P、As、Sb 和I 不稳定, 易发挥; 灰Sn 在室温下转变为白Sn, 已金属; B、C 的熔点太高, 不易制成单晶; T e 十分稀缺。这样只剩下Se、Ge 和Si 可供实用。半导体技术的早期( 50 年代以前) 。 表1 具有半导体性质的元素

周期ⅢA ⅣA ⅤA ⅥA ⅦA B C S i P S Ge As S e S n Sb Te I Se 曾广泛地用作光电池和整流器, 晶体管发明后,Ge 迅速地兴起, 但很快又被性能更好的Si 所取代。现在Se 在非晶半导体器件领域还保留一席之地, Ge 在若干种分立元件( 低压、低频、中功率晶体管以及光电探测器等) 中还被应用, 而Si 则一直是半导体工作的主导材料, 这种情况预计到下个世纪初也不会改变。Si 能成为主角的原因是: 含量极其丰富( 占地壳的27%) , 提纯与结晶方便; 禁带宽度1. 12eV, 比Ge 的0. 66eV 大, 因而Si 器件工作温度高; 更重要的是SiO2 膜的纯化和掩蔽作用, 纯化作用使器件的稳定性与可靠性大为提高,掩蔽作用使器件的制和实现了平面工艺, 从而实现了大规模自动化的工业生产和集成化, 使半导体分立器件和集成电路以其低廉的价格和卓越的性能迅速取代了电子管, 微电子学取代了真空电子学, 微电子工程成为当代产业中的一支生力军。据报导, 1995 年世界半导体器件销售额为1464 亿美元, 硅片销费量约为30. 0 亿平方英寸, 1996 年市场规模为1851 亿美元, 增长了26. 4%, 消费硅片则达33. 46 亿平方英寸。 硅材料分为多晶硅, 单晶硅和非晶硅。单晶硅分为直拉单晶硅( CZ) 、区熔单晶硅( FZ) 和外延单晶硅片( EPI) 。其中, CZ 单晶

半导体分类

按半导体工艺分类,集成电路可以分为 A、双极型电路、MOS电路和接口电路 B、双极型电路、MOS电路和双极型-MOS电路 C、小规模、大规模和超大规模集成电路 D、模拟集成电路、数字集成电路 化合物半导体分类概述 化合物半导体主要包括III-V族,II-VI族、IV-IV族及I-III-VI族等,但就研究现况及未来远景而言,仍以III-V族、II-VI族及IV-IV族为主流,概述如下。 1. III-V族 (1) 砷化物系列材料︰包括AlGaA s、应变InGaAs材料,已是最成熟的化合物半导体,也是在光纤通讯、无线通讯及信息产业上不可或缺的关键材料。近年来,研究重点除了与量产技术相关的课题外,最受注意的方向就是与纳米科技相关的InGaAs、InAs量子点、量子线低维度结构及其临场实时检测技术、Metamorphic 外延技术、含氮的InGaAsSbN材料、以及含Mn,Co,Ni及Cr等元素的磁性材料。 这些新材料搭配纳米结构会是未来发展量子器件的基础。 (2) 磷化物系列材料︰包括可见光范围的AlGaInP/GaAs及光纤通讯应用的InGaAsP/InP以及InAlGaAs/InP系列材料。含磷系列的材料,在MOCVD外延技术上已相当成熟,但在分子束外延(MBE)技术方面,直到最近几年由于固态磷源技术的进步,且有良好的均匀性及安全性的优点,而成为许多人青睐的选项的一。AlGaInP材料主要应用于LED及激光,而InGaP/GaAs则是重要的HBT材料,InP系列除了光纤通讯的应用的外,也是高速器件及MMIC的重要材料,特别是InP HBT将在100 GHz以上的电路扮演极重要的角色。当然,其纳米结构也是研 究重点的一。 (3) 氮化物系列材料︰包括BN,AlN,GaN及InN等,是当今最热门的研究重点,相关材料的波长涵盖范围包括紫外光、紫光、蓝光、绿光、红光,甚至红外光,而器件则包括高亮度LED、半导体激光、光侦测器,以及高功率电子器件,如HEMT 等。由于它的应用广泛,各种不同的外延技术都值得发展。目前氮化物系列材料最大的课题是没有适当的晶格匹配衬底。因此,衬底材料的单晶成长技术,及以HVPE成长厚层GaN作为衬底的相关技术,均是值得探讨的课题。除了六方晶系氮化物系列材料的外,低度含氮的立方化合物半导体材料也是一个重要的研究主题,在GaAs衬底上成长InGaAsN以制作1.3 μm,1.55 μm激光及光放大器即是一例。这类型材料的外延成长、材料缺陷研究、物理研究与器件应用,目前虽已有良好的进展,但其中牵涉的物理仍未十分清楚,有待深入研究。 (4) 锑化物系列材料︰锑化物系列的材料过去主要是在中红外线波长范围(2-5μm)的应用,包括下一世代的光纤通讯、中红外线光源、侦测器及热光伏特(TPV)能

半导体材料有哪些

半导体材料有哪些 半导体材料(semiconductor material)是一类具有半导体性能(导电能力介于导体与绝缘体之间,电阻率约在1mΩ·cm~1GΩ·cm范围内)、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料。 自然界的物质、材料按导电能力大小可分为导体、半导体和绝缘体三大类。半导体的电阻率在1mΩ·cm~1GΩ·cm范围(上限按谢嘉奎《电子线路》取值,还有取其1/10或10倍的;因角标不可用,暂用当前描述)。在一般情况下,半导体电导率随温度的升高而升高,这与金属导体恰好相反。 凡具有上述两种特征的材料都可归入半导体材料的范围。反映半导体半导体材料内在基本性质的却是各种外界因素如光、热、磁、电等作用于半导体而引起的物理效应和现象,这些可统称为半导体材料的半导体性质。构成固态电子器件的基体材料绝大多数是半导体,正是这些半导体材料的各种半导体性质赋予各种不同类型半导体器件以不同的功能和特性。 什么是半导体材料_常见半导体材料有哪些 半导体的基本化学特征在于原子间存在饱和的共价键。作为共价键特征的典型是在晶格结构上表现为四面体结构,所以典型的半导体材料具有金刚石或闪锌矿(ZnS)的结构。由于地球的矿藏多半是化合物,所以最早得到利用的半导体材料都是化合物,例如方铅矿(PbS)很早就用于无线电检波,氧化亚铜(Cu2O)用作固体整流器,闪锌矿(ZnS)是熟知的固体发光材料,碳化硅(SiC)的整流检波作用也较早被利用。 硒(Se)是最早发现并被利用的元素半导体,曾是固体整流器和光电池的重要材料。元素半导体锗(Ge)放大作用的发现开辟了半导体历史新的一页,从此电子设备开始实现晶体管化。中国的半导体研究和生产是从1957年首次制备出高纯度(99.999999%~ 99.9999999%)的锗开始的。采用元素半导体硅(Si)以后,不仅使晶体管的类型和品种

半导体的基本特性

半導體的基本特性 自然界的物質依照導電程度的難易,可大略分為三大類:導體、半導體和絕緣體。顧名思義,半導體的導電性介於容易導電的金屬導體和不易導電的絕緣體之間。半導體的種類很多,有屬於單一元素的半導體如矽(Si)和鍺(Ge),也有由兩種以上元素結合而成的化合物半導體如砷化鎵(GaAs)和砷磷化鎵銦(GaxIn1-xAsyP1-y)等。在室溫條件下,熱能可將半導體物質內一小部分的原子與原子間的價鍵打斷,而釋放出自由電子並同時產生一電洞。因為電子和電洞是可以自由活動的電荷載子,前者帶負電,後者帶正電,因此半導體具有一定程度的導電性。 電子在半導體內的能階狀況,可用量子力學的方法加以分析。在高能量的導電帶內(Ec以上),電子可以自由活動,自由電子的能階就是位於這一導電帶內。最低能區(Ev以下)稱為「價帶」,被價鍵束縛而無法自由活動的價電子能階,就是位於這一價帶內。導電帶和價帶之間是一沒有能階存在的「禁止能帶」(或稱能隙,Eg),在沒有雜質介入的情況下,電子是不能存在能隙裡的。 在絕對溫度的零度時,一切熱能活動完全停止,原子間的價鍵完整無損,所有電子都被價鍵牢牢綁住無法自由活動,這時所有電子的能量都位於最低能區的價帶,價帶完全被價電子占滿,而導電帶則完全空著。價電子欲脫離價鍵的束縛而成為自由電子,必須克服能隙Eg,提升自己的能階進入導電帶。熱能是提供這一能量的自然能源之一。 近導電帶,而游離後的施體離子則帶正電。這種半導體稱為n型半導體,其費米能階EF比較靠近導電帶。一般n型半導體內的電子數量遠比電洞為多,是構成電流傳導的主要載子(或稱多數載子)。

1. 導電性介於導體和半導體之間的物體,稱為半導體 2. 此物體需要高溫和高電量才能通電的物體. 3.在溫度是0和電導率是0,當溫度上升後,價能帶內的電子,由於熱激發躍進到導帶,致使導帶內充滿一些電子,導電率隨之增加----------這就是半導體. #半導體的特性: 1. 溫度上升電阻下降的特性 2. 整流效應 3 光伏特效應 4. 光電導效應

论文-浅谈半导体材料的应用

浅谈半导体材料的应用 摘要:半导体材料是近年来新兴的一种材料,它作为一种新型材料,越来越受到人们的青睐。在人们生活中,受到了相当广泛的应用。另外,半导体材料也是军事国防科学中必不可少的材料之一。作为一种新型材料,半导体材料有着很重要的地位。 关键词:半导体;生活;材料;电工学; 0 引言 20世纪中叶,单晶硅和半导体晶体管的发明及其硅集成电路的研制成功,导致了电子工业革命;70年代光纤通讯技术迅速发展并逐步形成高新技术产业,是人类进入信息时代;超晶格概念的提出及其半导体超晶格,量子阱材料的诞生,改变了光电器件的发展,纳米技术的发展与运用使得半导体进入纳米时代。然而半导体材料的价值仍在于它的光学,电学及其他各种特性,自硅出现在很长时间内,硅仍将是大规模集成电路的主要材料,如在军事领域中应用的抗辐射硅单体(NTD),高效太阳能电池用硅单体,红外CCD器件用硅单体的等。随着半导体技术的发展和半导体材料的研究,微电子技术朝着高密度,高可靠性方向发展,各种各样新的半导体材料出现,而 GaAs和InP基材料等还是化合物半导体及器件的主要支柱材料。与此同时以硅材料为核心的当代微电子技术趋向于纳米级。 1 半导体材料的概念与特性 当今,以半导体材料为芯片的各种产品已广泛进入人们的生活生产中,电视机,电子计算机,电子表等等,半导体材料为什么会拥有如此巨大的应用,我们需要从半导体材料的概念和特性开始了解。 半导体材料是导电能力介于导体与绝缘体之间的物质。半导体材料是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电的电子材料,其电导率在10(U-3)~10(U-9)欧姆/厘米范围内。在某些情况下,半导体具有导电的性质。首先,一般的半导体材料的电导率随温度的升高迅速增大,各种热敏电阻的开发就是利用了这个特性;其次,杂质掺入对半导体的性质起着决定性的作用,他们可使半导体的特性多样化,使得PN结形成,进而制作各种二极管和三极管;再次,半导体的电学性质会因光照引起变化,光敏电阻随之诞生;一些半导体具有较强的温差效应,可以利用它制作半导体制冷剂等;化合物半导体还具有超高速,低功耗,多功能,抗辐射等特性,在智能化,光纤通信等领域具有广泛运用;半导体基片可以实现原器件集中制作在一个芯片上,于是产生了各种规模的集成电路,正是由于半导体材料的各种各样的特性使得半导体材料拥有多种多样的用途,在科技发展和人们的生活中起到十分重要的作用。 2 半导体的分类与制备 2.1 半导体的分类 半导体材料是导电能力介于导体与绝缘体之间的物质。半导体材料是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电的电子材料,电阻率约在1mΩ·cm~1GΩ·cm范围内。半导体材料可按化学组成来分,再将结构与性能比较特殊的非晶态与液态半导体单独列为

半导体材料的发展

半导体材料的发展文件编码(008-TTIG-UTITD-GKBTT-PUUTI-WYTUI-8256)

一,半导体材料(semiconductor material) 引言 导电能力介于导体与绝缘体之间的物质称为半导体。半导体材料是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电的电子材料,其电阻率在10(U-3)~10(U-9)欧姆/厘米范围内。半导体材料的电学性质对光、热、电、磁等外界因素的变化十分敏感,在半导体材料中掺入少量杂质可以控制这类材料的电导率。正是利用半导体材料的这些性质,才制造出功能多样的半导体器件。半导体材料是半导体工业的基础,它的发展对半导体技术的发展有极大的影响。半导体材料按化学成分和内部结构,大致可分为以下几类。1.元素半导体有锗、硅、硒、硼、碲、锑等。50年代,锗在半导体中占主导地位,但锗半导体器件的耐高温和抗辐射性能较差,到60年代后期逐渐被硅材料取代。用硅制造的半导体器件,耐高温和抗辐射性能较好,特别适宜制作大功率器件。因此,硅已成为应用最多的一种增导体材料,目前的集成电路大多数是用硅材料制造的。2.化合物半导体由两种或两种以上的元素化合而成的半导体材料。它的种类很多,重要的有砷化镓、磷化铟、锑化铟、碳化硅、硫化镉及镓砷硅等。其中砷化镓是制造微波器件和集成电的重要材料。碳化硅由于其抗辐射能力强、耐高温和化学稳定性好,在航天技术领域有着广泛的应用。3.无定形半导体材料用作半导体的玻璃是一种非晶体无定形半导体材料,分为氧化物玻璃和非氧化物玻璃两种。这类材料具有良好的开关和记忆特性和很强的抗辐射能力,主要用来制造阈值开关、记忆开关和固体显示器件。4.有机增导体材料已知的有机半导体材料有几十

半导体材料的应用

半导体材料的应用 学院:物理学院 学号:2013012856 姓名:艾尼瓦尔江·吐尔逊导师: 李兴华

半导体材料的应用 1. 介绍 半导体材料是是一类具有半导体性能(导电能力介于导体与绝缘体之间,电阻率约在1mΩ·cm~1GΩ·cm范围内)、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料。反映半导体内在基本性质的却是各种外界因素如光、热、磁、电等作用于半导体而引起的物理效应和现象,这些可统称为半导体材料的半导体性质。半导体材料可按化学组成来分,再将结构与性能比较特殊的非晶态与液态半导体单独列为一类。按照这样分类方法可将半导体材料分为元素半导体、无机化合物半导体、有机化合物半导体和非晶态与液态半导体。 新型有机半导体材料,其结构稳定,拥有卓越的电学特性,而且成本低廉,可被用于制造现代电子设备中广泛使用的场效应晶体管。有机半导体是一种塑料材料,其拥有的特殊结构让其具有导电性。 2.半导体材料的地位 上世纪中叶,单晶硅和半导体晶体管的发明及其硅集成电路的研制成功,导致了革命;上世纪70年代初石英光导纤维材料和GaAs激光器的发明,促进了光纤通信技术迅速发展并逐步形成了高新技术产业,使人类进入了信息。超晶格概念的提出及其半导体超晶格、量子阱材料的研制成功,彻底改变了光电器件的设计思想,使半导体器件的设计与制造从“杂质工程”发展到“能带工程”。纳米技术的发展和应用,将使人类能从原子、分子或纳米尺度水平上控制、操纵和制造功能强大的新型器件与电路,必将深刻影响世界的、格局和军事对抗的形式,彻底改变人们的生活方式。 3.发展历程 第一代半导体是“元素半导体”,典型如硅基和锗基半导体。其中以硅基半导体技术较成熟,应用也较广,一般用硅基半导体来代替元素半导体的名称。硅基半导体器件的频率只能做到10GHz。 第二代半导体材料是化合物半导体。化合物半导体是以砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)和氮化镓(GaN)等为代表,其中以砷化镓技术较成熟,应用也较广。化合物半导体不同於硅半导体的性质主要有二: 一是化合物半导体的电子迁移率较硅半导体快许多,因此适用于高频传输,在无线电通讯如手机、基地台、无线区域网络、卫星通讯、卫星定位等皆有应用;二是化合物半导体具有直接带隙,这是和硅半导体所不同的,因此化合物半导体可适用发光领域。目前化合物半导体器件工作频率已经达到100GHz。 当前化合物半导体产业的发展主要体现在半导体照明技术、汽车光电子市场、新一代光纤通信技术、军用光电子等。 4.半导体材料的产业现状 1.多晶硅 多晶硅是制备单晶硅和太阳能电池的原料,主要生产方法为改良西门子法。全球多晶硅市场供大于求,随着半导体市场的恢复和太阳能用多晶硅的增长,多晶硅供需将逐步平衡。我国多晶硅严重短缺。我国多晶硅工业起步于50年代,60年代实现工业化生产。由于技术水平低、生产规模太小、环境污染严重、生产成本高,目前只剩下峨嵋半导体材料厂和洛阳单晶硅厂2个厂家生产多晶硅。2001年生产量为80t[7],仅占世界产量的0.4%,与当今信息产业的高速发展和多晶硅的市场需求急剧增加极不协调。我国这种多晶硅供不应求的局面还将持续下去。

半导体材料测量原理与方法

半导体材料测量(measurement for semiconductor material) 用物理和化学分析法检测半导体材料的性能和评价其质量的方法。它对探索新材料、新器件和改进工艺控制质量起重要作用。在半导体半barl材料制备过程中,不仅需要测量半导体单晶中含有的微量杂质和缺陷以及表征其物理性能的特征参数,而且由于制备半导体薄层和多层结构的外延材料,使测量的内容和方法扩大到薄膜、表面和界面分析。半导体材料检测技术的进展大大促进了半导体科学技术的发展。半导体材料测量包括杂质检测、晶体缺陷观测、电学参数测试以及光学测试等方法。 杂质检测半导体晶体中含有的有害杂质,不仅使晶体的完整性受到破坏,而且也会严重影响半导体晶体的电学和光学性质。另一方面,有意掺入的某种杂质将会改变并改善半导体材料的性能,以满足器件制造的需要。因此检测半导体晶体中含有的微量杂质十分重要。一般采用发射光谱和质谱法,但对于薄层和多层结构的外延材料,必须采用适合于薄层微区分析的特殊方法进行检测,这些方法有电子探针、离子探针和俄歇电子能谱。半导体晶体中杂质控制情况见表1。 表1半导体晶体中杂质检测法 晶体缺陷观测半导体的晶体结构往往具有各向异性的物理化学性质,因此,必须根据器件制造的要求,生长具有一定晶向的单晶体,而且要经过切片、研磨、抛光等加工工艺获得规定晶向的平整而洁净的抛光片作为外延材料或离子注入的衬底材料。另一方面,晶体生长或晶片加工中也会产生缺陷或损伤层,它会延伸到外延层中直接影响器件的性能,为此必须对晶体的结构及其完整性作出正确的评价。半导体晶体结构和缺陷的主要测量方法见表2。 表2半导体晶体结构和缺陷的主要测量方法

半导体材料简介

半导体材料简介半 邝荣初5801310012 环境与化学工程学院制药工程101班制药工程 摘要:本文对半导体科学与技术有一个概括性的介绍。内容涉及半导体的定义 其基本特性的描述以及种类,重点介绍了硅材料,宽带隙半导材料,低维半导体材料体。 关键词:半导体概念种类硅材料硅材料低维半导体材料 一、半导体的概念:电阻率介于金属和绝缘体之间并有负的电阻温度系数 的物质。半导体自室温时电阻率约在10-5~107欧·米之间,在一般情况下,半导体电导率随温度的升高而增大,这与金属导体恰好相反。凡具有上述两种特征的材料都可归入半导体材料的范围。反映半导体内在基本性质的却是各种外界因素如光、热、磁、电等作用于半导体而引起的物理效应和现象,这些可统称为半导体材料的半导体性质。电阻率特性、导电特性、光电特性、负的电阻率温度特性和整流特性是半导体的五大特性。 二、半导体材料的种类:半导体材料可按化学组成来分,再将结构与性 能比较特殊的非晶态与液态半导体单独列为一类。按照这样分类方法可将半导体材料分为元素半导体、无机化合物半导体、有机化合物半导体和非晶态与液态半导体。按照其制造技术可以分为:集成电路器件,分立器件、光电半导体、逻辑IC、模拟IC、储存器等大类,一般来说这些还会被分成小类。此外还有以应用领域、设计方法等进行分类,虽然不常用,但还是按照IC、LSI、VLSI(超大LSI)及其规模进行分类的方法。此外,还有按照其所处理的信号,可以分成模拟、数字、模拟数字混成及功能进行分类的方法。 三、重要半导体材料 1、硅材料:硅是元素半导体。电活性杂质磷和硼在合格半导体和多晶 硅中应分别低于0.4ppb和0.1ppb。拉制单晶时要掺入一定量的电活性杂质,以获得所要求的导电类型和电阻率。重金属铜、金、铁等和非金属碳都是极有害的杂质,它们的存在会使PN结性能变坏。硅中碳含量较高,低于1ppm 者可认为是低碳单晶。碳含量超过3ppm时其有害作用已较显著。硅中氧含量甚高。氧的存在有益也有害。直拉硅单晶氧含量在5~40ppm范围内;区熔硅单晶氧含量可低于1ppm。硅具有优良的半导体电学性质。禁带宽度适中,为1.12电子伏。载流子迁移率较高,电子迁移率为1350厘米2/伏·秒,空穴迁移率为480厘米2/伏·秒。本征电阻率在室温(300K)下高达2.3×105欧·厘米,掺杂后电阻率可控制在104~10-4 欧·厘米的宽广范围内,能满足制造各种器件的需要。硅单晶的非平衡少数载流子寿命较长,在几十微秒至1毫秒之间。热导率较大。化学性质稳定,又易于形成稳定的热氧化膜。在平面型硅器件制造中可以用氧化膜实现PN结表面钝化和保护,还可以形成金属-氧化物-半导体结构,制造MOS场效应晶体管和集成电路。上述性质使PN结具有良好特性,使硅器件具有耐高压、反向漏电流小、效率高、使

为什么芯片都用半导体材料做成

为什么芯片都用半导体材料做成? 半导体材料可按化学组成来分,再将结构与性能比较特殊的非晶态与液态半导体单独列为一类。按照这样分类方法可将半导体材料分为元素半导体、无机化合物半导体、有机化合物半导体和非晶态与液态半导体。 元素半导体在元素周期表的ⅢA族至ⅦA族分布着11种具有半导性的元素,下表的黑框中即这11种元素半导体,其中C表示金刚石。C、P、Se具有绝缘体与半导体两种形态;B、Si、Ge、 半导体材料 Te具有半导性;Sn、As、Sb具有半导体与金属两种形态。P的熔点与沸点太低,Ⅰ的蒸汽压太高、容易分解,所以它们的实用价值不大。As、Sb、Sn的稳定态是金属,半导体是不稳定的形态。B、C、Te也因制备工艺上的困难和性能方面的局限性而尚未被利用。因此这11种元素半导体中只有Ge、Si、Se 3种元素已得到利用。Ge、Si仍是所有半导体材料中应用最广的两种材料。 无机化合物半导体分二元系、三元系、四元系等。二元系包括:①Ⅳ-Ⅳ族:SiC和Ge-Si合金都具有闪锌矿的结构。②Ⅲ-Ⅴ族:由周期表中Ⅲ族元素Al、Ga、In和V族元素P、As、Sb组成,典型的代表为GaAs。它们都具有闪锌矿结构,它们在应用方面仅次于Ge、Si,有很大的发展前途。③Ⅱ-Ⅵ族:Ⅱ族元素Zn、Cd、Hg和Ⅵ族元素S、Se、Te形成的化合物,是一些重要的光电材料。ZnS、CdTe、HgTe具有闪锌矿结构。④Ⅰ-Ⅶ族:Ⅰ族元素Cu、Ag、Au和Ⅶ族元素Cl、Br、I形成的化合物,其中CuBr、CuI具有闪锌矿结构。⑤Ⅴ-Ⅵ族:Ⅴ族元素As、Sb、Bi和Ⅵ族元素 S、Se、Te形成的化合物具有的形式,如Bi2Te3、Bi2Se3、Bi2S3、As2Te3等是重要的温差电材料。 ⑥第四周期中的B族和过渡族元素Cu、 Zn、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni的氧化物,为主要的热敏电阻材料。⑦某些稀土族元素 Sc、Y、Sm、Eu、Yb、Tm与Ⅴ族元素N、As或Ⅵ族元素S、Se、Te形成的化合物。除这些二元系化合物外还有它们与元素或它们之间的固溶体半导

半导体材料整理

半导体材料 名词解释: 能带:包括允带和禁带。 允带:允许电子能量存在的能量范围。允带又分为空带、满带、导带、价带。 禁带:不允许电子存在的能量范围。 空带:不被电子占据的允带。 满带:允带中的能量状态(能级)均被电子占据。 导带:电子未占满的允带(有部分电子)。 价带:被价电子占据的允带(低温下通常被价电子占满)。 过冷度: 迁移率:称为电子迁移率,表示单位场强下电子的平均漂移速度,与外加电场无关,与其固有特性有关。 集成度:指单块芯片上所容纳的原件数目。集成度越高,容纳的原件数目越多。 半导体的五大特性: 1.负电阻温度系数; 2.光电导效应; 3.整流效应(单向导通性); 4.光生伏特效应; 5.霍尔效应。 半导体的分类: 第一代半导体材料,元素半导体材料,以Si和Ge为代表; Si:Eg=1.12 eV 第二代半导体材料,化合物半导体材料,以GaAs,InP等材料为代表; GaAs:Eg=1.46eV 第三代半导体材料,化合物半导体材料,以GaN,SiC,ZnO等材料为代表; GaN: Eg=3.3 eV 半导体的电阻率、电导率介于导体和绝缘体之间。如何区分导体、半导体和绝缘体? 用电阻率和电导率来区分,测电阻、电阻率。电阻率ρ:导体(10-6~10-3Ω/㎝),半导体(10-4~108Ω/㎝),绝缘体(1010~1018Ω/㎝)电导率σ:导体(103~106?/㎝),半导体(10-8~104?/㎝),绝缘体(10-18~10-10?/㎝)。 半导体导电的条件?有外加电压(载流子运动的驱动力),有自由移动的载流子(载流子运动产生电流)。满的能带中的电子才可以导电。 跃迁 直接带隙半导体→垂直跃迁(直接跃迁):导带底和价带顶处于k空间同一点;跃迁前后没有动量变化;如GaAs,ZnO,GaN等。 间接带隙半导体→非垂直跃迁(间接跃迁):导带底和价带顶处于k空间不同一点;如Si,Ge等。 跃迁的种类决定了发光几率,一般情况下,直接带隙半导体的发光几率远大于间接带隙半导体;制作利用电子—空穴复合(LED发光)的发光器件时,一般要用直接带隙半导体。

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