扩散硅压力变送器说明书

一、概述

本系列压力变送器选用进口高品质扩散硅压力传感器,采用专用集成模块,经精细的温度、零点、满量程、和非线性补偿，实现对液体、气体、蒸汽等介质压力变化的准确测量和变送。

二、技术指标

·被测介质：液体、气体、蒸汽

·测量范围：-0.1MPa～0～60MPa

·精度等级：±0.2%FS或±0.5%FS

·长期稳定性：≤0.2%FS/年

·温度漂移：≤0.02%FS/℃（在0-70℃范围内）

·环境温度：-20℃～+85℃

·储存温度：-20℃～+85℃

·输出信号：4-20mA或1-5VDC

·供电电压：12-40VDC

·允许过载：额定压力的2 倍

·防爆等级：本安iaIICT6；隔爆dIICT6

·接湿件材质：316不锈钢和1Gr18Ni9Ti

·外壳材质：压铸合金铝，表面环氧喷涂

·引压接口：M20×1.5外螺纹

·重量：普通0.75kg；带现场指示1kg 三、外型结构

四、接线图

1、标准接线

2、本安型接线

3、小巧型变送器的连接方式和输出信号为：

二线制：1 电源正三线制：1 电源正

2 电源负 2 电源负（与信号负共）

3 空 3 信号+

4外壳 4 外壳

4、航空插头变送器的接线方式为：

二线制（直接出线型）

1 红色线接电源正

2 黑色线接电源负

五、注意事项

1、凡供货扩散硅压力变送器均带有产品合格证及使用说明书，其中有产品编号、技术参数、接线图、出厂日期等，请认真查对，以免用错。

2、安装时应根据产品连接方式和螺纹类型,查对现场接口是否与产品接口一致。若为螺纹接口，应慢速拧紧，注意密封，不能把扭矩直接加到变送器壳体上，只能加在压力接口的六方上。

3、扩散硅压力变送器接线应严格按照昌晖仪表制造有限公司使用说明要求接线。

4、扩散硅压力变送器为精密的仪器仪表，禁止随意拆卸、碰撞、跌落、用力甩打或用尖锐器具捅引压孔。

5、扩散硅压力变送器通电即可工作，但预热30秒输出稳定。

6、使用中若发现异常，应关掉电源，停止使用，进行检查，或直接向昌晖仪表制造有限公司技术部门或当地代理商联系。

7、运输、储存时应恢复原包装，存放在阴凉、干燥、通风的库房内。

8、质量保证期18个月。

六、智能型（带液晶显示）操作方法

1、LCD显示输出百分比或过程压力。按“S”键选择显示百分比或压力，当显示压力时按“Z”键可选择压力单位KPa或MPa。

2、按“S+Z”键8秒钟后同时松开，再按“Z”键设定零点值；加量程压力按“S”键设定量程。注意：该功能每触发一次只能进行一项操作。

3、在对零点或量程进行调整的过程中可能会引起所显示选项的变化，即正在显示的百分比变成压力或KPa变成MPa等。所有这些变化只表现在显示上，对变送器内部参数以及压力检测和电流输出均不影响，在调整好零点和量程后再用“S”和“Z”键选择所要的百分比或压力就可以了。

4、现场无压力状态下调零：按“S+Z”键30秒后，显示器显示为零时同时松开两键，即调零完毕。

七、模拟型操作方法

1、现场无压力状态下调零：调节线路板带有“零点”字样的电位器，调至现场显示为零时完毕。（注：顺时针增大，逆时针减小）

2、线路板上标有“量程”字样的电位器在没有标准压力的状态下不能调节，以免产生量程错乱。

压力传感器工作原理

压力传感器是工业实践、仪器仪表控制中最为常用的一种传感器，并广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业，下面就简单介绍一些常用传感器原理及其应用。 力学传感器的种类繁多，如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。但应用最为广泛的是压阻式压力传感器，它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。下面我们主要介绍这类传感器。 1、应变片压力传感器原理与应用： 在了解压阻式力传感器时，我们首先认识一下电阻应变片这种元件。电阻应变片是一种将被测件上的应变变化转换成为一种电信号的敏感器件。它是压阻式应变传感器的主要组成部分之一。电阻应变片应用最多的是金属电阻应变片和半导体应变片两种。金属电阻应变片又有丝状应变片和金属箔状应变片两种。通常是将应变片通过特殊的粘和剂紧密的粘合在产生力学应变基体上，当基体受力发生应力变化时，电阻应变片也一起产生形变，使应变片的阻值发生改变，从而使加在电阻上的电压发生变化。这种应变片在受力时产生的阻值变化通常较小，一般这种应变片都组成应变电桥，并通过后续的仪表放大器进行放大，再传输给处理电路（通常是A/D转换和CPU）显示或执行机构。 1．1、金属电阻应变片的内部结构：它由基体材料、金属应变丝或应变箔、绝缘保护片和引出线等部分组成。根据不同的用途，电阻应变片的阻值可以由设计者设计，但电阻的取值范围应注意：阻值太小，所需的驱动电流太大，同时应变片的发热致使本身的温度过高，不同的环境中使用，使应变片的阻值变化太大，输出零点漂移明显，调零电路过于复杂。而电阻太大，阻抗太高，抗外界的电磁干扰能力较差。一般均为几十欧至几十千欧左右。 1．2、电阻应变片的工作原理：金属电阻应变片的工作原理是吸附在基体材料上应变电阻随机械形变而产生阻值变化的现象，俗称为电阻应变效应。金属导体的电阻值可用下式表示： 式中：ρ——金属导体的电阻率（Ω·cm2/m） S——导体的截面积（cm2） L——导体的长度（m）

扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验讲解

实验四扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验 一、实验目的： 了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理与方法。 二、实验仪器 压力传感器模块、温度传感器模块、数显单元、直流稳压源+4V、±15V。 三、实验原理 在具有压阻效应的半导体材料上用扩散或离子注入法，，形成4个阻值相等的电阻条。并将它们连接成惠斯通电桥，电桥电源端和输出端引出，用制造集成电路的方法封装起来，制成扩散硅压阻式压力传感器。平时敏感芯片没有外加压力作用，内部电桥处于平衡状态，当传感器受压后芯片电阻发生变化，电桥将失去平衡，给电桥加一个恒定电压源，电桥将输出与压力对应的电压信号，这样传感器的电阻变化通过电桥转换成压力信号输出。 四、实验内容与步骤 1.扩散硅压力传感器MP×10已安装在压力传感器模块上，将气室1、2的活塞退到20ml处，并按图4-1接好气路系统。其中P1端为正压力输入、P2端为负压力输入，P×10有4个引出脚，1脚接地、2脚为 Uo＋、3脚接+5V电源、4脚为Uo ﹣；当P1＞P2时，输出为正；当P1＜P2时，输出为负。 2.检查气路系统，分别推进气室1、2的两个活塞，对应的气压计有显示压力值并能保持不动。 3. 接入+4V、±15V直流稳压电源，模块输出端Uo2接控制台上数显直流电压表，选择20V档，打开实验台总电源。

4. 调节Rw2到适当位置并保持不动，用导线将差动放大器的输入端Ui短路，然后调节Rw3使直流电压表200mV档显示为零，取下短路导线。 5. 退回气室1、2的两个活塞，使两个气压计均指在“零”刻度处，将MP×10的输出接到差动放大器的输入端Ui，调节Rw1使直流电压表200mv档显示为零。 6. 保持负压力输入P2压力零不变，增大正压力输入P1的压力，每隔0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P1的压力达到0.095Mpa；填入表4-1。 P(KP Uo2(V 7. 保持正压力输入P1压力0.095Mpa不变，增大负压力输入P2的压力，每隔 0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P2的压力达到0.095Mpa；填入表4-2。 P(KP Uo2(V 8. 保持负压力输入P2压力0.095Mpa不变，减小正压力输入P1的压力，每隔 0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P1的压力达到0.0Mpa；填入表4-3。P(KP Uo2(V 9. 保持负压力输入P1压力0Mpa不变，减小正压力输入P2的压力，每隔 0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P2的压力达到0.0Mpa；填入表4-4

压力变送器说明书

压力变送器说明书-CAL-FENGHAI.-(YICAI)-Company One1

YBY-1 压力变送器 使用说明书 青岛奥博仪表设备有限公司

目录 一.概述……………………………………………… 二.工作原理与特点 (1) 三 .技术指标 (1) 四 .接线及安装 (2) 五. 调整 (5) 六. 注意事项 (6)

一、概述： 本压力变送器是依据《JJG882-2004中华人民共和国国家计量检定规程--压力变送器》，同时以《JB/中华人民共和国机械行业标准DDZ-ZZZ系列电动单元组合仪表力单元平衡式变送器》为产品标准以Ⅲ型电动组合仪表的变送单元，可广泛应用于测量工业领域液体、气体的压力，把被测压力参数值转换成4～20mA标准信号，可与多种仪表相配套。因而可广泛应用于石油、化工、冶金、电站、锅炉、轻工等许多部门。 二、工作原理与特点 1、本变送器的传感元件是扩散硅力敏器件。这种器件是利用集成电路工艺，在晶体硅片上制成敏感压阻，组成惠斯登电桥，作为力电转换的敏感器件。当受到外力作用时，电桥失去平衡。当给桥路加一恒流激励电源时，可以将压力信号线性地转换成毫伏级电压信号，经放大转换变成4～20mA标准信号输出，便于远距离传送。 2、由于本送器采用了扩散硅式力敏器件，使其体积和重量大大减小。不仅外型美观、结构简单，而且各项技术性能稳定可靠，所以安装和维护特别方便，无需现场调试。输出的标准电流信号，实现远距离传输便于用户便用。因此，本变送器是过程控制中的理想仪表。 三、技术指标： 1.量程：0～；0～; 0～60MPa。 2.基本误差：≤% 3.反映时间：＜500mS 4.电源：24VDC±5% 5.输出：4～20mADC 6.负载电阻：≤350Ω 7.被测介质温度：-10～60℃ 8.重量：约㎏ 1

扩散硅压阻式压力传感器的压力测量讲解

传感器课程设计报告 题目：扩散硅压阻式压力传感器的差压测量 专业班级：BG1003 姓名：桑海波 时间：2013.06.17~2013.06.21 指导教师：胥飞 2013年6月21日

摘要 本文介绍一种以AT89S52单片机为核心，包括ADC0809类型转换器的扩散硅压阻式压力传感器的差压测量系统。简要介绍了扩散硅压阻式压力传感器电路的工作原理以及A/D变换电路的工作原理，完成了整个实验对于压力的采样和显示。与其它类型传感器相比，扩散硅压阻式电阻应变式传感器有以下特点：测量范围广，精度高，输出特性的线性好，工作性能稳定、可靠，能在恶劣的化境条件下工作。由于扩散硅压阻式压力传感器具有以上优点，所以它在测试技术中获得十分广泛的应用。 关键字：扩散硅压阻式压力传感器，AT89S52单片机，ADC0809，数码管

目录 1.引言 (1) 1.1课题开发的背景和现状 (1) 1.2课题开发的目的和意义 (1) 2.设计方案 (2) 2.1设计要求 (2) 2.2设计思路 (2) 3.硬件设计 (3) 3.1电路总框图 (3) 3.2传感器电路模块 (3) 3.3A/D变换电路模块 (4) 3.4八段数码管显示 (8) 3.5AT89S52单片机 (9) 3.6硬件实物 (12) 4.实验数据采集及仿真 (13) 4.1数据采集及显示 (13) 4.2实验数据分析 (13) 5.程序设计 (16) 5.1编程软件调试 (16) 5.2软件流程图 (17) 5.3程序段 (18) 6.结果分析 (19) 7.参考文献 (20)

1.引言 1.1 课题开发的背景和现状 传感器是一种能够感受规定的被测量的信息，并按照一定规律转换成可用输出信号的的器件或装置，通常由敏感元件、转换元件、测量电路三部分组成。传感器技术是现代信息技术的三大支柱之一，其应用的数量和质量已被国际社会作为为衡量一个国家智能化、数字化、网络化的重要标志。 近年来，随着国家资金投入大的增加，我国压阻式传感器有了较快的发展，某些传感器如矩形双岛膜结构的6KPa微压传感器的性能甚至优于国外，其非线性滞后、重复性均小于5×10-4FS，分辨率优于20Pa，具有较高的过压保护范围以及可靠性。但是就总体而言，我国压阻式传感器的研究，在产量和批量封装等方面还存在不足，精度、可靠性、重复性尚待提高，离市场需求级国际水平还有较大差距。 1.2 课题开发的目的和意义 日常生活和生产中，我们常常想了解温度、流量、压力、位移、角度等一系列参数，压力传感器技术在诸多领域中相对而言最为成熟。根据工作原理的不同，压力传感器通常可以分为机械膜片、硅膜片电容性、压电性、应变性、光纤、霍尔效应、压阻式压力传感器等。压阻式传感器又包括扩散硅型和应变片型传感器，扩散硅压阻式传感器由于具有结构简单、可微型化、输出信号大、精度高、分辨率高、频响高、低功耗、体积小、工作可靠等突出特点而在压阻式压力传感器市场中占据更大的份额。

压力传感器原理【详解】

压力传感器原理 内容来源网络，由“深圳机械展（11万㎡，1100多家展商，超10万观众）”收集整理！更多cnc加工中心、车铣磨钻床、线切割、数控刀具工具、工业机器人、非标自动化、数字化无人工厂、精密测量、3D打印、激光切割、钣金冲压折弯、精密零件加工等展示，就在深圳机械展. 一．压力传感器原理 一些常用传感器原理及其应用: 1、应变片压力传感器原理与应用 力学传感器的种类繁多，如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。但应用最为广泛的是压阻式压力传感器，它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。下面我们主要介绍这类传感器。 在了解压阻式力传感器时，我们首先认识一下电阻应变片这种元件。电阻应变片是一种将被测件上的应变变化转换成为一种电信号的敏感器件。它是压阻式应变传感器的主要组成部分之一。电阻应变片应用最多的是金属电阻应变片和半导体应变片两种。金属电阻应变片又有丝状应变片和金属箔状应变片两种。通常是将应变片通过特殊的粘和剂紧密的粘合在产生力学应变基体上，当基体受力发生应力变化时，电阻应变片也一起产生形变，使应变片的阻值发生改变，从而使加在电阻上的电压发生变化。这种应变片在受力时产生的阻值变化通常较小，一般这种应变片都组成应变电桥，并通过后续的仪表放大器进行放大，再传输给处理电路（通常是A/D转换和CPU）显示或执行机构。

金属电阻应变片的内部结构 1、应变片压力传感器原理 如图1所示，是电阻应变片的结构示意图，它由基体材料、金属应变丝或应变箔、绝缘保护片和引出线等部分组成。根据不同的用途，电阻应变片的阻值可以由设计者设计，但电阻的取值范围应注意：阻值太小，所需的驱动电流太大，同时应变片的发热致使本身的温度过高，不同的环境中使用，使应变片的阻值变化太大，输出零点漂移明显，调零电路过于复杂。而电阻太大，阻抗太高，抗外界的电磁干扰能力较差。一般均为几十欧至几十千欧左右。 电阻应变片的工作原理 金属电阻应变片的工作原理是吸附在基体材料上应变电阻随机械形变而产生阻值变化的现象，俗称为电阻应变效应。金属导体的电阻值可用下式表示： 式中：ρ——金属导体的电阻率（Ω?cm2/m） S——导体的截面积（cm2） L——导体的长度（m） 我们以金属丝应变电阻为例，当金属丝受外力作用时，其长度和截面积都会发生变化，从上式中可很容易看出，其电阻值即会发生改变，假如金属丝受外力作用而伸长时，其长

压力变送器通用说明书

BP800/BP801 系列压力（液位）变送器使用说明书BP800系列变送器主要由测压元件传感器（也称作压力传感器）、测量电路和过程连接件三部分组成。它能将测压元件传感器感受到的气体、液体等物理压力参数转变成标准的电信号(如4~20mADC等)，以供给指示报警仪、记录仪、调节器等二次仪表进行测量、指示和过程调节。 技术指标 测量范围：-0.1～60MPa 精度：0.2 、0.5级介质温度：0～70℃（高温需要定制）输出信号：二线制4～20mADC 电压：标准24VDC 负载能力：0-500Ω 不灵敏区：≤±1.0[%]FS防护等级：IP68 电气连接方式 调零位和调满度 用户在对变送器有重新检测的需求且具备检验设备的时候，可按以下步骤实施检验及调整。 打开接线盒可看到电路板上调零电位器Z及调满电位器S。接好24VDC标准电源，接进能测量4-20mADC的标准电流表（精度0.2级以上）即可进行调整。具体步骤如下： 1 零点调节：变送器置于零点压力下，调节零位电位器，使输出电流为４mA。 2 满度调节：变送器置于满点压力下，调节满度电位器，使输出电流为２０mA。 3 反复1、2次步骤直到符合要求。 注意事项 1凡供货产品均带有产品合格证及使用说明书，请认真查对其中技术参数以免出错。 2拧紧螺纹时应慢速拧紧，注意密封，不能把转矩直接加到变送器壳体上，只能加在压力接口的六角上。 3接线应严格按照我公司使用说明要求进行。 4本产品禁止随意拆卸、碰撞、跌落、用力甩打、用尖锐器具捅引压孔等有可能损坏产品外表及内部线路的一切行为。

5通电后即可工作，但预热30分钟后输出稳定。 6使用中若发现异常，应关掉电源，停止使用，进行检查或向我公司技术部门联系。 7运输、储存时应恢复包装，存放在阴凉、干燥、通风的库房内。 8产品本身质量问题（人为或者安装、选型不当而导致的产品损坏除外）12个月之内免费维修. 9任何产品都有正常使用寿命，工程设计者在使用本产品时请同时设计备用方案，以免产品出现故障引起用户不必要的损失。 常见问题及解答： ①问题：压力上去后变送器输出上不去怎么办？ 回答：此种情况，先应检查压力接口是否漏气或者被堵住，如果确认不是，检查接线方式，如接线无误再检查电源，如电源正常再察看传感器零位是否有输出，或者进行简单加压看输出是否变化，有变化证明传感器没有损坏，如果无变化传感器即已经损坏。出现这种情况的其他原因还可能是仪表损坏，或者整个系统的其他环节的问题。 ②问题：加压变送器输出不变化，再加压变送器输出突然变化，泄压变送器零位回不去。 回答：产生此现象的原因极有可能是压力传感器密封圈引起的，一般是因为密封圈规格原因（太软或太厚），传感器拧紧时，密封圈被压缩到传感器引压口里面堵塞传感器，加压时压力介质进不去，但是压力很大时突然冲开密封圈，压力传感器受到压力而变化，而压力再次降低时，密封圈又回位堵住引压口，残存的压力释放不出，因此传感器零位又下不来。排除此原因的最佳方法是将传感器卸下，直接察看零位是否正常，如果正常更换密封圈再试。 ③问题：变送器输出信号不稳信号不稳的原因有以下几种:? 回答：压力源本身是一个不稳定的压力，仪表或压力传感器抗干扰能力不强? 传感器接线不牢、传感器本身振动很厉害、传感器故障。 ④问题：变送器接电无输出可能的原因有哪些？ 回答：接错线（仪表和传感器都要检查）、导线本身的断路或短路、电源无输出或电源不匹配、仪表损坏或仪表不匹配、传感器损坏。 ⑤变送器与指针式压力表对照偏差大 回答：首先，出现偏差是正常的现象。其次，确认正常的偏差范围确认正常误差范围的方法：计算出压力表的误差值例如：压力表量程为 30bar ，精度 1.5% ，最小刻度为 0.2bar 正常的误差为：30bar*1.5%+ 0.2*0.5 （视觉误差） =0. 55bar 压力变送器的误差值。例如：压力传感器量程为 20bar ，精度 0.5% ，仪表精度为 0.2% ，正常的误差为： 20bar*0.5%+20bar*0.2%=0.18bar 整体对照时出现的可能性误差范围应以大误差值的设备的误差范围为准，以上例来说，传感器与变送器偏差值在 0.55bar 内可视为正常。如果偏差非常大，应使用高精度仪表（至少此仪表高于压力表和传感器）进行参照。微差压变送器安装位置对零位输出的影响微差压变送器由于其测量范围很小，变送器中传感元件的自重即会影响到微差压变送器的输出，因此在安装微差压变送器出现的零位变化情况属正常情况。安装时应使变送器的压力敏感件轴向垂直于重力方向，如果安装条件限制，则应安装固定后调整变送器零位到标准值。 其他问题可与本公司或者本公司各地代理商联系。 山东潍坊飞电测控设备有限公司

扩散硅压力传感器技术简介

扩散硅压力传感器技术简介 一、一般介绍： 硅单晶材料在受到外力作用产生极微小应变时（一般步于400微应变），其内部原子结构的电子能级状态会发生变化，从而导致其电阻率剧烈变化（G因子突变）。用此材料制成的电阻也就出现极大变化，这种物理效应称为压阻效应。利用压阻效应原理，采用集成工艺技术经过掺杂、扩散，沿单晶硅片上的特点晶向，制成应变电阻，构成惠斯凳电桥，利用硅材料的弹性力学特性，在同一切硅材料上进行各向异性微加工，就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。给传感器匹配一放大电路及相关部件，使之输出一个标准信号，就组成了一台完整的变送器。 二、技术特点： 1、灵敏度高 扩散硅敏感电阻的灵敏因子比金属应变片高50~80倍，它的满量程信号输出在80-100mv左右。对接口电路适配性好，应用成本相应较低。由于它输入激励电压低，输出信号大，且无机械动件损耗，因而分辨率极高。 2、精度高 扩散硅压力传感器的感受、敏感转换和检测三位一体，无机械动件连接转换环节，所以重复性和迟滞误差很小。由于硅材料的刚性好，形变小，因而传感器的线性也非常好。因此综合表态精度很高。 3、可靠性高 扩散硅敏感膜片的弹性形变量在微应变数量级，膜片最大位移量在来微米数量级，且无机械磨损，无疲劳，无老化。平均无故障时间长，性能稳定，可靠性高。 4、频响高 由于敏感膜片硅材料的本身固有频率高，一般在50KC。制造过程采用了集成工艺，膜片的有效面积可以很小，配以刚性结构前置安装特殊设计，使传感器频率响应很高，使用带宽可达零频至100千赫兹。

5、温度性能好 随着集成工艺技术进步，扩散硅敏感膜的四个电阻一致性得到进一步提高，原始的手工补偿已被激光调阻、计算机自动修整技术所替代，传感器的零位和灵敏度温度系数已达10-5/℃数量级，工作温度也大幅度提高。 6、抗电击穿性能好 由于采用了特殊材料和装配工艺，扩散硅传感器不但可以做到130℃正常使用，在强磁场、高电压击穿试验中可抗击1500V/AC电压的冲击。 7、耐腐蚀性好 由于扩散硅材料本身优良的化学防腐性能好，即使传感器受压面不隔离，也能在普通使用中适应各种介质。硅材料又与硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔离时结构工艺更易于实现。加之它的低电压、低电流、低功耗、低成本和本质安全防爆的特点，可替代诸多同类型的同功能产品，具有最优良的性能价格比。 三、选项型提要 1、传感器、变送器的选择 用户根据自己所测压力的性质，首先应确定选择表压（相对于当地大气压）、差压、绝对压力或负压品种。如果测量液位，还要确定液位上方是自由大气压还是密封容器压力。如果测量密封承压容器内的液位就应该选用差压产品。 2、产品量程的确定 从产品绝对安全考虑，一般选择使工作压力值在标准量程值的60%-80%为宜，整个测量系统中可能出现的异常情况所导致的过载压力不得超过产品允许的最大 过载。测量动态管路液体压力时，还应考虑水垂效应，适当增大产品载量。 3、产品精度选择 产品等级按多项参数分档，档级越高，价格越贵。用户可依据所检测工况要求各项和某单项参数精度指标，以便用较低的价格实现较高的精度要求。产品给出的三项精度指标是采用国际最小二乘法或端基平移法计算的。选用传感器时。精度等级确定应根据测量系统分配发给传感器的最大误差选项取。有时还应考虑零位时漂、零位和满度温度系数带入的附加误差。

压力变送器使用说明书

安装 ○普通型及小巧型变送器的安装 ①若压力系统有瞬间过压，该变送器过载范围满足系统要求，并配置缓冲阀； ②测量介质应与变送器的结构材料相兼容； ③测量介质不能堵塞变送器的引压孔； ④禁止随意拆卸、碰撞变送器及强行绞拧导线，严禁用异物捅引压孔； ⑤根据产品连续类型，查对现场接口是否与产品一致。若为螺纹接口，应缓速拧紧，注意密封，不能把 转矩直接加到变送器壳体上，只能加在压力接口的六角上。 ○投入式变送器的安装 ●注意事项 ①安装地点的液体可能产生的静压力不能超过变送器的量程； ②测量介质应与变送器的结构材料相兼容； ③测量介质不能堵塞变送器的进液孔； ④安装时要缓速放入或提出，严禁用强力拉扯电缆或用金属等硬物捅压膜片。 ●安装方法 变送器的安装方向为垂直向下，在动水中使用时，应注意使变送器压面与水流方向平行。 1在静水中安装 ①在水池中的安装方法：为防止水泵打水时的冲击抖动变送器或损坏变送器或损坏变送器，应将变送器 原理液体出入口安装。（如图a所示） ②在深井中的安装方法：一般用插钢管的方法，要求钢管不能打弯，内劲必须大于35mm，易上下提动 变动器，在钢管的不同高度上若干小孔，以便水通畅进入管内，必要时，可在变送器上缠烧钢丝，用钢丝上下提动，以免拉断电缆线。（如图b所示）

2在动水中安装 在动水中安装时需加静水装置 ①方法之一：在水道中插入钢管，要求钢管壁稍厚一些，并在其上下不同高度若干个小孔，以阻尼水波和消除动水压力的影响。（如图c所示） ②方法之二：若为清水域的沙石水床，以浅埋为好。（如图d所示）

③方法之三：这种方法即能消除水流压力和波浪的影响又能起到过滤浊水泥沙的作用（如图e所示） ○普通型及投入式变送器接线 信号（电源）端子设置在电气盒的一个独立腔室内。接线前，先拧下表盖，把信号（电源）线从穿线孔穿入，把线接在+、-端子及地上，拧紧表盖和穿线孔螺栓。信号线不要与其它电源线一起穿金属管或放在同一线槽中，也不要再强电设备附近通过。 注意：接好线后，务必将表盖拧紧，以免潮气进入电气盒内，损坏电路。 ○小巧型变送器接线 二线制：1电源正2电源负3外壳 4 三线制：1电源正2电源负（与信号负共用）3信号加4 调试 变送器在出厂前均已严格标定过，用户无须自行标定。传感器膜片和内充硅油的重量，会对传感器芯片产

压力传感器的工作原理

压力传感器的工作原理 您需要登录后才可以回帖登录|注册发布 压力传感器是工业实践、仪器仪表控制中最为常用的一种传感器，并广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。 力学传感器的种类繁多，如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。但应用最为广泛的是压阻式压力传感器，它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。下面我们主要介绍这类传感器。 压阻式压力传感器原理与应用： 压阻式压力传感器是利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。压阻式传感器常用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量(如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度)的测量和控制。 压阻效应 当力作用于硅晶体时，晶体的晶格产生变形,使载流子从一个能谷向另一个能谷散射,引起载流子的迁移率发生变化，扰动了载流子纵向和横向的平均量，从而使硅的电阻率发生变化。这种变化随晶体的取向不同而异，因此硅的压阻效应与晶体的取向有关。硅的压阻效应不同于金属应变计，前者电阻随压力的变化主要取决于电阻率的变

化，后者电阻的变化则主要取决于几何尺寸的变化(应变)，而且前者的灵敏度比后者大50～100倍。 压阻式压力传感器结构 压阻式压力传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内，引出电极 引线。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器，它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力，而是直接通过硅膜片感受被测压力的。硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔，另一面是与大气连通的低压腔。硅膜片一般设计成周边固支的圆形，直径与厚度比约为20～60。在圆形硅膜片(N型)定域扩散4条P杂质电阻条,并接 成全桥，其中两条位于压应力区，另两条处于拉应力区，相对于膜片中心对称。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上扩散制作电阻条?，两条受拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻条构 成全桥。 电子血压计中压力传感器的原理应用及常见故障 压力传感器是工业生应用中最为常见的一种传感器，其广泛应 用于各种工业自控环境，在医用中常见于电子血压计，下面，便来为您简单介绍一些压力传感器原理应用及常见故障。 电子血压计压力传感器的工作原理及应用 压力传感器一般有电容式的和压阻式的。电容式的利用两片金 属间的电容变化来对应压力值，压阻式利用电阻值变化来对应压力值。 电子血压计压力传感器的常见问题

扩散硅压力变送器

测量仪器在现今市场遍地开花，质量和性能问题仍旧是最广大消费者最在意的方面。扩散硅压力变送器作为正负压力测量仪器，其质量和性能都是得到市场所认可的，更是消费者所信赖的。 扩散硅压力变送器具有工作可靠、性能稳定、安装使用方便、体积小、重量轻、性能价格比高等点，能在各种正负压力测量中得到广泛应用。采用进口扩散硅或芯体作为压力检测元件，传感器信号经高性能电子放大器转换成0-10mA或4-20mA统一输出信号。 可替代传统的远传压力表，霍尔元件、差动变送器，并具有DDZ-Ⅱ及DDZ-Ⅲ型变送器性能。能与各种型号的动圈式指示仪、数字压力表、电子电位差计配套使用，也能与智能调节仪或计算机系统配套使用。 本公司生产的扩散硅变送器选用进口扩散硅压力芯片制成，当外界液位发生变化时，压力作用在不锈钢隔离膜片上，通过隔离硅油传递到扩散硅压力敏感元件上引起电桥输出电压变化，经过精密的补偿技术、信号处理技术、转换成标准的电流信号。该电流信号的变化正比于液位的变化。

1）使用被测介质广泛，可测油、水及与316不锈钢兼容的糊状物，具有一定的防腐能力。 2）高准确度、高稳定性、选用进口原装传感器，线性好，温度稳定性高。 3）体积小、重量轻、安装、调试、使用方便 4）不锈钢全封闭外壳，防水好。 5）压力传感器直接感测被测液位压力，不受介质起泡、沉积的影响。 安徽皖控自动化仪表有限公司成立于2012年，是专业从事工业自动化仪表研究开发、制造的专业厂家之一，注册资金5510万元。自公司成立以来被评为高新技术企业、规模企业、成立有滁州市工业在线检测仪表工程技术研研究中心、获得青年文明号、民营科技企业的称号，市认定企业技术中心证书、高新技术产品认证证书、市科技进步奖。展望未来，安徽皖控自动化仪表有限公司将会不断创新，通过提供具有国际水准的优质产品和卓越的服务为客户创造价值，在发展成为国内过程自动化仪表行业顶级企业的同时，促进中国自动化技

压力变送器说明书样本

一、 1151压力变送器工作原理 被测介质的两种压力通入高、低两压力室, 作用在δ元件(即敏感元件)的两侧隔离膜片上, 经过隔膜片和δ 1151压力变送器原理图 元件内的填充液传到预张紧的测量腊片两侧, 测量膜片与两侧绝缘体上的电极各组成一个电容器, 在无压力通入或两压力均等时测量膜片处于中间位置, 两侧两电容器的电容量相等, 当两侧压力不一致时, 致使测量膜片产生位移, 其位移量和压力差成正比, 故两侧电容就不等, 经过检测, 放大转换成4-2OmA的二线制电流信号。压力交送器和绝对压力交送器的工作原理和差压变送器相同, 所不同的是低压室压力是大气压或真空元份结构图见右图 二、电气原理图 1151压力变松电气原理图 三、主要特点 电容式变送器有下列特点 1.品种齐全、精度高、稳定性好, 价格比同类进口仪表便宜 2.采用二线制工作方式 3.敏感元件采用固体化结构, 小型坚固, 抗振能力强 4.主要部件可与1151同类产品进行互换,

5.关键零部件、电子元件及接插件均采用国际上高质量产品。本系列产品可靠性好, 质量稳定, 故障率少。 6.正迁移可达500%, 负迁移可达600%(最小量程时) 7.阻尼可调 电容式变送器品种齐全, 用户可按不同需要任意选用, 自微差压至大差压, 从低压力至高压力、绝对压力、高静压差压。DP/GP型变送器带上各种远传装置后, 就成为远传式差压、压力变送器。采用ANSI标准, 管道尺寸3", 法兰等级150磅(2.5MPa), 插入筒式远传装置后, 插入筒长度一般为50、 100,150mm用户可根据需要选择其长度。法兰式掖位交送器一般是整体体工, 只要用户需要也可提供远传结构, 同样对远传差压变送器用户也右选用一侧远传装置, 毛细管单根长度为1.5、 3、 4.5、 6、 7.5m 供用户选择。接液材料除316L不锈钢外, 还有哈氏C合金, 蒙耐尔合金、钽, 可使用于各种腐蚀介质场合。 1151DP/GP系列变送器设计精巧, 安装使用和调校都很方便简单, 电气外壳采用二腔结构, 即接线端子和放大器线路各占一腔, 密闭性较好, 具有防爆和全天候结构, 放大器线路有反向极性保护, 防止因电源极性接错而损坏变送器。曲于该变送器工作的容积变化小于0·16cm3。因此不需为补偿容积化而增加冷涣器或液位筒。

压力和差压变送器详细详解使用说明书样本

压力和差压变送器详细使用说明 ( 一) 差压变送器原理与使用 本节根据实际使用中的差压变送器主要介绍电容式差压变送器。 1. 差压变送器原理 压力和差压变送器作为过程控制系统的检测变换部分, 将液体、气体或蒸汽的差压(压力)、流量、液位等工艺参数转换成统一的标准信号(如DC4mA～20mA 电流), 作为显示仪表、运算器和调节器的输入信号, 以实现生产过程的连续检测和自动控制。 差动电容式压力变送器由测量部分和转换放大电路组成, 如图1.1所示。 图1.1 测量转换电路

图1.2 差动电容结构差动电容式压力变送器的测量部分常采用差动电容结构, 如图 1.2所示。中心可动极板与两侧固定极板构成两个平面型电容 H C和L C。可动极板与两侧固定极板形成两个感压腔室, 介质压力是经过两个腔室中的填充液作用到中心可动极板。一般采用硅油等理想液体作为填充液, 被测介质大多为气体或液体。隔离膜片的作用既传递压力, 又避免电容极板受损。 当正负压力(差压)由正负压导压口加到膜盒两边的隔离膜片上时, 经过腔室内硅油液体传递到中心测量膜片上, 中心感压膜片产生位移, 使可动极板和左右两个极板之间的间距不相对, 形成差动电容, 若不考虑边缘电场影响, 该差动电容可看作平板电容。差动电容的相对变化值与被测压力成正比, 与填充液的介电常数无关, 从原理上消除了介电常数的变化给测量带来的误差。 2. 变送器的使用 ( 1) 表压压力变送器的方向 低压侧压力口( 大气压参考端) 位于表压压力变送器的脖颈处,

在电子外壳的后面。此压力口的通道位于外壳和压力传感器之间, 在变送器上360°环绕。保持通道的畅通, 包括但不限于由于安装变送器时产生的喷漆, 灰尘和润滑脂, 以至于保证过程通畅。图1.3为低压侧压力口。 图1.3 低压侧压力口 ( 2) 电气接线 ①拆下标记”FIELD TERMINALS”电子外壳。 ②将正极导线接到”PWR/COMN”接线端子上, 负极导线接 到”-”接线端子 上。注意不得将带电信号线与测试端子( test) 相连, 因通电将损坏测试线路中的测试二极管。应使用屏蔽的双绞线以获得最佳的测量效果, 为了保证正确通讯, 应使用24AWG或更高的电缆线。 ③用导管塞将变送器壳体上未使用的导管接口密封。 ④重新拧上表盖。 ( 3) 电子室旋转 电子室能够旋转以便数字显示位于最好的观察位置。旋转时, 先松开壳体旋转固定螺钉。

市场上常见的压力传感器的种类及原理分析

市场上常见的压力传感器的种类及原理分析 什么是压力传感器呢?压力传感器是指将接收的气体、液体等压力信号转变成标准的电流信号(4~20mADC)，以供给指示报警仪、记录仪、调节器等二次仪表进行测量、指示和过程调节的元器件。它主要是由测压元件传感器、测量电路和过程连接件等组成的（进气压力传感器）。 那么压力传感器的种类有哪些呢?就目前市场而言，压力传感器一般有差压传感器、绝压传感器、表压传感器，静态压力传感器和动态压力传感器。对于这几者之间的关系，我们可以这样定义定义：差压是两个实际压力的差，当差压中一个实际压力为大气压时，差压就是表压力。绝压是实际压力，而有意义的是表压力，表压力=绝压-大气压力。静态压力是管道内流体不流动时的压力。动态压力可以简单理解为管道内流体流动后发生的压力。 根据不同的方式压力传感器的种类也不尽相同。小编通过搜集整理资料，将与压力传感器的种类相关的知识做如下介绍，下面我们来看具体分析。 1.扩散硅压力传感器 扩散硅压力传感器工作原理是被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷)，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻值发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。 扩散硅压力传感器原理图 2.压电式压力传感器 (1)压电式压力传感器原理 压电式压力传感器原理基于压电效应。压电效应是某些电介质在沿一定方向上受到外力的作用而变形时，其内部会产生极化现象，同时在它的两个相对表面上出现正负相反的电荷。当外力去掉后，它又会恢复到不带电的状态，这种现象称为正压电效应。当作用力的方向改变时，电荷的极性也随之改变。相反，当在电介质的极化方向上施加电场，这些电介质也会发生变形，电场去掉后，电介质的变形随之消失，这种现象称为逆压电效应。 (2)压电式压力传感器的种类与应用 压电式压力传感器的种类和型号繁多，按弹性敏感元件和受力机构的形式可分为膜片式和活塞式两类。膜片式主要由本体、膜片和压电元件组成。压电元件支撑于本体上，由膜片将被测压力传递给压电元件，再由压电元件输出与被测压力成一定关系的电信号。这种传感器的特点是体积小、动态特性好、耐高温等。 现代测量技术对传感器的性能出越来越高的要求。例如用压力传感器测量绘制内燃机示功图，在测量中不允许用水冷却，并要求传感器能耐高温和体积小。压电材料最适合于研制这种压力传感器。石英是一种非常好的压电材料，压电效

硅压阻式充油芯体(扩散硅传感器)

一、硅压阻式充油芯体（扩散硅传感器）一般介绍： 硅单晶材料在受到外力作用产生极微小应变时（一般步于400微应变），其内部原子结构的电子能级状态会发生变化，从而导致其电阻率剧烈变化（G因子突变）。用此材料制成的电阻也就出现极大变化，这种物理效应称为压阻效应。利用压阻效应原理，采用集成工艺技术经过掺杂、扩散，沿单晶硅片上的特点晶向，制成应变电阻，构成惠斯凳电桥，利用硅材料的弹性力学特性，在同一切硅材料上进行各向异性微加工，就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。给传感器匹配一放大电路及相关部件，使之输出一个标准信号，就组成了一台完整的变送器。

硅压阻式充油芯体（扩散硅传感器）技术特点： 1、灵敏度高 扩散硅敏感电阻的灵敏因子比金属应变片高50~80倍，它的满量程信号输出在80-100mv左右。对接口电路适配性好，应用成本相应较低。由于它输入激励电压低，输出信号大，且无机械动件损耗，因而分辨率极高。 2、精度高 扩散硅压力传感器的感受、敏感转换和检测三位一体，无机械动件连接转换环节，所以重复性和迟滞误差很小。由于硅材料的刚性好，形变小，因而传感器的线性也非常好。因此综合表态精度很高。 3、可靠性高 扩散硅敏感膜片的弹性形变量在微应变数量级，膜片最大位移量在来微米数量级，且无机械磨损，无疲劳，无老化。平均无故障时间长，性能稳定，可靠性高。 4、频响高 由于敏感膜片硅材料的本身固有频率高，一般在50KC。制造过程采用了集成工艺，膜片的有效面积可以很小，配以刚性结构前置安装特殊设计，使传感器频率响应很高，使用带宽可达零频至100千赫兹。 5、温度性能好随着集成工艺技术进步，扩散硅敏感膜的四个电阻一致性得到进一步提高，原始的手工补偿已被激光调阻、计算机自动修整技术所替代，传感器的零位和灵敏度温度系数已达10-5/℃数量级，工作温度也大幅度提高。 6、抗电击穿性能好由于采用了特殊材料和装配工艺，扩散硅传感器不但可以做到130℃正常使用，在强磁场、高电压击穿试验中可抗击1500V/AC电压的冲击。 7、耐腐蚀性好由于扩散硅材料本身优良的化学防腐性能好，即使传感器受压面不隔离，也能在普通使用中适应各种介质。硅材料又与硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔离时结构工艺更易于实现。加之它的低电压、低电流、低功耗、低成本和本质安全防爆的特点，可替代诸多同类型的同功能产品，具有最优良的性能价格比。

扩散硅压力传感器技术应用与选型

扩散硅压力传感器技术应用与选型 一、一般介绍： 硅单晶材料在受到外力作用产生极微小应变时（一般步于400微应变），其内部原子结构的电子能级状态会发生变化，从而导致其电阻率剧烈变化（G因子突变）。用此材料制成的电阻也就出现极大变化，这种物理效应称为压阻效应。利用压阻效应原理，采用集成工艺技术经过掺杂、扩散，沿单晶硅片上的特点晶向，制成应变电阻，构成惠斯凳电桥，利用硅材料的弹性力学特性，在同一切硅材料上进行各向异性微加工，就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。给传感器匹配一放大电路及相关部件，使之输出一个标准信号，就组成了一台完整的变送器。 二、技术特点： 1、灵敏度高 扩散硅敏感电阻的灵敏因子比金属应变片高50~80倍，它的满量程信号输出在80-100mv左右。对接囗电路适配性好，应用成本相应较低。由于它输入激励电压低，输出信号大，且无机械动件损耗，因而分辩率极高。 2、精度高 扩散硅压力传感器的感受、敏感转换和检测三位一体，无机械动件连接转换环节，所以不重复性和迟滞误差很小。由于硅材料的刚性好莱坞，形变小，因而传感器的线性也非常好。因此综合表态精度很高。 3、可靠性高 扩散硅敏感膜片的弹性形变量在微应变数量级，膜片最大位移量在来微米数量级，且无机械磨损，无疲劳，无老化。平均无故障时间长，性能稳定，可靠性高。

4、频响高 由于敏感膜片硅材料的本身固有频率高，一般在50KC。制造过程采用了集成工艺，膜片的有效面积可以很小，配以刚性结构前置安装特殊设计，使传感器频率响应很高，使用带宽可达零频至100千赫兹。 5、度性能好 随着集成工艺技术进步，扩散硅敏感膜的四个电阻一致性得到进一步提高，原始的手工补偿已被激光调阻、计算机自动休整技术所替代，传感器的零位和灵敏度温度系数已达10-5/℃数量级，工作温度也大幅度提高。 6、抗电击穿性能好 由于采用了特殊材料和装配工艺，扩散硅传感器不但可以做到130℃正常使用，在强磁场、高电压击穿试验中可抗击1500V/AC电压的冲击。 7、耐腐蚀性好 由于扩散硅材料本身优良的化学防腐性能好，即使传感器受压面不隔离，出能在普通使用中适应各种介质。硅材料又与硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔离时结构工艺更易于实现。加之它的低电压、低电流、低功耗、低成本和本质安全防爆的特点，可替代诸多同类型的同功能产品，具有最优良的性能价格比。 三、选项型提要 1、传感器、变送器的选择 用户根据自己所测压力的性质，首先应确定选择表压（相对于当地大气压）、差压、绝对压力或负压品种。如果测量液位，还要确定液位上方是自由大气压还是密封容器压力。如果测量密封承压容器内的液位就应该选用差压产品。 2、产品量程的确定

1151压力变送器说明书

一、1151压力变送器工作原理 被测介质的两种压力通入高、低两压力室，作用在δ元件(即敏感元件)的两侧隔离膜片上，通过隔膜片和δ 1151压力变送器原理图 元件内的填充液传到预张紧的测量腊片两侧，测量膜片与两侧绝缘体上的电极各组成一个电容器，在无压力通入或两压力均等时测量膜片处于中间位置，两侧两电容器的电容量相等，当两侧压力不一致时，致使测量膜片产生位移，其位移量和压力差成正比，故两侧电容就不等，通过检测，放大转换成4-2OmA的二线制电流信号。压力交送器和绝对压力交送器的工作原理和差压变送器相同，所不同的是低压室压力是大气压或真空元份结构图见右图 二、电气原理图 1151压力变松电气原理图 三、主要特点 电容式变送器有下列特点 1.品种齐全、精度高、稳定性好，价格比同类进口仪表便宜 2.采用二线制工作方式 3.敏感元件采用固体化结构，小型坚固，抗振能力强 4.主要部件可与1151同类产品进行互换， 5.关键零部件、电子元件及接插件均采用国际上高质量产品。本系列产品可靠性好，质量稳定，故障率少。 6.正迁移可达500%，负迁移可达600%(最小量程时) 7.阻尼可调 电容式变送器品种齐全，用户可按不同需要任意选用，自微差压至大差压，从低压力至高压力、绝对压力、高静压差压。DP/GP型变送器带上各种远传装置后，就成为远传式差压、压力变送器。采用ANSI标准，管道尺寸3"，法兰等级150磅(2.5MPa)，插入筒式远传装置后，插入筒长度一般

结构尺寸 八、1151变送器典型安装 变送器可以直接安装在测量点处，可以安装在墙上，或者使用安装板(变送器附件)夹拼在2''(约φ50mm)的管道上。 变送器压力容室上的导压连接孔为1/4-18NPT螺纹孔，接头上的导压接孔为1/2-14NPT内锥管螺纹(或M2OXl.5-18外螺纹)，根据需要可选择与引压接头1/2-14NPT锥管螺纹的过渡接头。变送器可以轻而易举地从流程1艺管道上拆下，万法是拧下紧固接头的两个螺栓。转动接头，可以改变其接孔的中心距离为5lmm,54mm,57mm三种尺寸。 为了确保接头密封，在固紧时应按下面步骤操作:两只紧固螺栓应交替用板手均匀拧紧，其最后拧紧力距大约为40N.m(29fs-bs)，切勿一次拧紧某一只螺栓。有时为了安装上的方便，变送器本体上的压力容室可转动。只要压力容室处于垂直面，则变送器木体的转动不会产生零位的变化。如果压力容室水平安装时(例如在垂直管道上测量流量时)，则必须消除由于导压管高度不同而引起的液柱压力的影响。即重新调零位。 九、变送器的型号命名

实验三 扩散硅压阻式压力传感器实验

北京XXX大学 实验报告 课程（项目）名称：实验三扩散硅压阻式压力传 感器实验 学院：专业： 班级：学号： 姓名：成绩： 2013年12月10日

一、任务与目的 了解扩散硅压阻式压力传感器的工作原理和工作情况。 二、实验仪器（条件） 所需单元及部件：主、副电源、直流稳压电源、差动放大器、F/V显示表、压阻式传感器(差压)、压力计。 旋钮初始位置：直流稳压电源±4V档，F/V表切换开关置于2V档，差放增益适中或最大，主、副电源关闭。 三、原理（条件） 扩散硅压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的器件，也就是在单晶硅的基片上用扩散工艺(或离子注入及溅射工艺)制成一定形状的应变元件，当它受到压力作用时，应变元件的电阻发生变化，从而使输出电压变化。 四、内容与步骤 （1）了解所需单元、部件、传感器的符号及在仪器上的位置。（见附录三） (2) 如图３０A将传感器及电路连好，注意接线正确，否则易损坏元器件。 图３０A (3) 如图３０B接好传感器供压回路。 图３０B

(5) 将加压皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝拧松。 （6）开启主、副电源，调整差放零位旋钮，使电压表指示尽可能为零，记下此时电压表读数(7) 拧紧皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝，轻按加压皮囊，电压表有压力指示时，记下此时的读数，并将数据填入表格中记录。 注：根据所得的结果计算系统灵敏度S= ΔV／ΔP，并作出V-P关系曲线，找出线性区域。 五、数据处理（现象分析） （1）拧紧皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝，轻按加压皮囊，电压表的读数随压力的变化如下表： （2）根据所得的结果计算系统灵敏度S= ΔV／ΔP，并作出V-P关系曲线，找出线性区域。 六、结论 通过实验进一步了解了扩散硅压阻式压力传感器的工作原理，并且观察了实过程中的工作状况，通过对实验数据的整理计算，得出实验仪器的灵敏度为S=92.35 V/Kpa