酸性氧化铝纳米颗粒的稳定性研究及在化学机械抛光中的应用

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中文摘要………………………………………………………………………………．ＩＡｂｓｔｒａｃｔ．…．．…．．．．．．．．．．．．．……．．．．…．…．．．…．．．…．．…．．…．．…．．…．．．．．．．…．．．…．．．．．……．…．…．．．．．．．．．…．．ＩＩＩ第一章前言…………………………………………………………………………．．１１．１研究背景及立题意义………………………………………………………．．１１．２ＣＭＰ简介…………………………………………………………………２

１．３纳米颗粒分散稳定性……………………………………………………７

１．４碳化硅化学机械抛光液的研究进展…………………………………．１７

１．５本文主要内容…………………………………………………………．２０参考文献…………………………………………………………………………２１第二章酸性氧化铝磨料在氧化剂溶液中的分散稳定性…………………………２９２．１引言…………………………………………………………………………２９２．２仪器和药品…………………………………………………………………３０２．２．１主要仪器及设备……………………………………………………．．３０

２．２．２原料及试剂…………………………………………………………．．３０２．３实验方法……………………………………………………………………．３１２＿３．１氧化铝的处理………………………………………………………．．３１

２．３．２氧化铝等电点的测定………………………………………………．．３ｌ

２．３．３临界聚沉盐浓度的测定……………………………………………．．３１

２．３．４硝酸铝对氧化铝的影响……………………………………………．．３ｌ

２．３．５颗粒在盐溶液中的稳定性评价……………………………………．．３１２．４结果与讨论………………………………………………………………．．３３２．４．１氧化铝的表征………………………………………………………．．３３

２．４．２硝酸铝的影响…………………………………………………………３５

２．４．３盐和氧化剂的影响…………………………………………………．．４０２．５本章小结……………………………………………………………………７１参考文献…………………………………………………………………………７２第三章氧化铝．氧化硅及氧化铝．氧化锰体系稳定性……………………………．７７

３．１引言…………………………………………………………………………７７３．２仪器和药品…………………………………………………………………７８３．２．１主要仪器及设备……………………………………………………．．７８

３．２．２原料及试剂…………………………………………………………．．７８３．３实验方法……………………………………………………………………．７９３．３．１氧化铝、氧化硅的处理……………………………………………．．７９

３．３．２氧化硅吸附对氧化铝稳定性的影响………………………………．．７９

３．３．３锰化合物的生成对体系稳定性的影响……………………………．．７９

３＇３．４硝酸铝的影响…………………………………………………………７９

３３．５体系稳定性评价………………………………………………………８０３．４结果与讨论……………………………………………………………．ｊ…．．８０３．４．１氧化硅对氧化铝分散体系稳定性影响……………………………．．８０

３．４．２锰氧化物的生成对氧化铝分散稳定性的影响……………………．．９２３．５本章小结……………………………………………………………………１００参考文献………………………………………………………………………．１０２第四章酸性氧化铝抛光液在碳化硅化学机械抛光中的应用……………。……一１０５４．１引言………………………………………………………………………一１０５４．２仪器和药品………………………………………………………………一１０６４．２．１主要仪器及设备……………………………………………………１０６

４．２．２原料及试剂…………………………………………………………１０６４．３实验内容……………………………………………………………………１０６、４．３．１氧化铝抛光液配制…………………………………………………１０６

４．３．２氧化剂的配制………………………………………………………１０６

４．３．３化学机械抛光………………………………………………………１０７４．４结果与讨论………………………………………………………………一１０７４．４．１高锰酸钾浓度对抛光性能的影响…………………………………１０７

４．４．２硝酸铝对抛光性能的影响…………………………………………１０８４．５本章小结……………………………………………………………………１１ｌ参考文献………………………………………………………………………．１１２