国家标准《镍蒸发料》编制说明(送审稿)

镍蒸发料编制说明（预审稿）

2009年8月25日

镍蒸发料

一、任务来源及计划要求

本标准根据国标委综合【2008154】号文（项目序列号：20082133-T-610）的要求，按照全国有色金属标准化委员会“2008年度标准计划”的安排，由有研亿金新材料股份有限公司承担本起草工作。

本标准主要起草人：尚再艳、雷继峰、朱晓光、杨永刚、班立志、熊晓东、江轩

二、编制过程

1．编制原则

近年来，镍蒸发料作为一种重要的镀膜材料在半导体行业得到广泛的应用。目前我国已有多家企业可提供该类产品，但由于未对镍蒸发料制定相应的标准，也未检索到相应的国际标准或国外先进标准，市场上的镍蒸发料质量、规格多样，验收规则也千差万别，因此需要制定相应的国家标准，以规范该类产品的生产、流通和质量。

目前美国材料协会标准、日本电子协会标准、欧盟标准中均没有镍蒸发料的相关标准，因此镍蒸发料产品国家标准的制定对该产品技术水平的不断提高将起到一定的推动作用。本标准是在总结了国内外镍蒸发料的研究成果，根据多年产品的生产经验和使用要求，积累一定数据的基础上制定的，充分考虑了标准的先进性、适用性和可操作性。

本标准完全按《有色金属加工产品国家标准、行业标准编写条例》规定的格式进行编制，以范围——规范性引用文件——术语和定义——要求——实验方法——检验规则——标志，包装，运输，贮存的顺序进行编写，内容完整全面。

2．工作过程

接到本标准制定任务后，标准起草单位组织起草人查阅了部分国内外生产厂商的产品技术指标，征求了一些主要使用厂商的意见，作为制定本标准的技术依据。结合国内生产及使用现状于2009年4月完成草案稿。

草案稿完稿后，分别发给了吉林华微、吉林恩智浦、华润华晶、华润上华等应用单位，征求了各单位对相关技术指标的意见和建议。综合各单位的意见，形成了标准预审稿。

预审稿完稿后，征求了有色标准所、贵研铂业、西部金属材料等单位意见，并将预审稿进行了完善和修改。与2009年8月完成了送审稿。

三、主要技术内容

1.标准包含了IC-Ni99.99和IC-Ni99.995 两个牌号；

2.产品杂质元素的种类及含量对蒸发后镍薄膜的质量有严重的影响，因此对两个牌号的杂质元素含量进行了规定；并规定了两个牌号的杂质元素含量的分析方法；

3.因产品在真空条件下使用，产品的气体含量高低将直接影响蒸发过程，并易在Ni薄膜上形成颗粒，严重影响薄膜质量，因此对两个牌号的非金属元素含量进行了规定；

4.为了统一产品的形状，并适用于蒸发过程，标准对产品的规格尺寸及外形进行规定，并详细规定了检验方法；

5．因产品是在熔化状态下使用，产品表面质量的好坏将严重影响产品熔化后的杂质元素含量，本标准对产品的外观质量进行严格的描述；

6.为了避免产品在运输、贮存过程中被污染或氧化，进而影响产品质量，本标准对产品的包装方式及包装质量进行了规定。

四、与国外同类标准水平的对比分析

标准起草人查阅了国内外相关资料，未发现相关的标准。

五、实施标准的要求和措施的建议

建议该标准为推荐性国家标准。

六、参考文献

GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法

GB2828.1 逐批检查计数抽样程序及抽样表