四探针法测电阻率数据

晶片标识 量程

(μA)

电流

(μA)

探针平均

间距(mm)

直径

(mm)

直径修正

因子

厚度(mm)

厚度修

正因子

探针间距

修正因子

110022.03125 4.4180.50.99751

点数X(mm)Y(mm)正向电压

(mV)

反向电压

(mV)

电阻率

Ω·cm

电导率

(s/cm)

日期时间

100 5.47 5.4612.28.20E-022016/6/23

星期四

下午

2:15:09

20 6.25 5.75 5.7512.77.87E-022016/6/23

星期四

下午

2:24:58

30-6.25 5.74 5.7412.77.87E-022016/6/23

星期四

下午

2:29:16

40-6.5 6.19 5.9613.47.46E-022016/6/23

星期四

下午

2:30:49

50 6.5 5.93 5.9313.17.63E-022016/6/23

星期四

下午

2:31:45

6 6.250 5.81 5.8112.87.81E-022016/6/23

星期四

下午

2:33:08

7 6.50 6.03 6.0213.37.52E-022016/6/23

星期四

下午

2:33:50

8-6.250 5.73 5.7212.67.94E-022016/6/23

星期四

下午

2:34:41

9-6.50 5.94 5.9413.17.63E-022016/6/23

星期四

下午

2:35:27

最大最小平均13.412.212.9

薄圆片(厚度≤4)电阻率

测试数据

分析数据(电阻率)

最大百分变化径向不均匀度平均百分变化

9.84%9.38%