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微米纳米加工技术

浅谈纳米技术及其应用

浅谈纳米技术及其应用 1 概述 1.1 引言 纳米技术(nanotechnology)是用单个原子、分子制造物质的科学技术。纳米科学技术是以许多现代先进科学技术为基础的科学技术,它是现代科学(混沌物理、量子力学、介观物理、分子生物学)和现代技术(计算机技术、微电子和扫描隧道显微镜技术、核分析技术)结合的产物。纳米技术兴起于20世纪80年代,随着它的逐步发展和完善,人类将必然在认识和改造自然方面进入一个前所未有的新阶段。 1.2 纳米技术的发展 最早提出纳米尺度上科学和技术问题的是著名物理学家、诺贝尔奖获得者理查德·费曼教授[1]。1959年他在一次题为《在底部还有很大空间》的演讲中提出:物理学的规律不排除用单个原子制造物品的可能。也就是说,人类能够用最小的机器制造更小的机器。直至达到分子或原子状态,最后可以直接按意愿操纵原子并制造产品。这正是关于纳米技术最早的构想。 20世纪70年代,科学家开始从不同角度提出有关纳米技术的构想。美国康奈尔大学Granqvist和Buhrman[2]利用气相凝集的手段制备出纳米颗粒,提出了纳米晶体材料的概念,成为纳米材料的创始者。之后,麻省理工学院教授德雷克斯勒[3]积极提倡纳米科技的研究并成立了纳米科技研究小组。 纳米科技的迅速发展是在20世纪80年代末、90年代初。1981年发明了可以直接观察和操纵微观粒子的重要仪器——扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM),为纳米科技的发展起到了积极的促进作用。1984年德国学者格莱特[4]把粒径6nm的金属粉末压成纳米块,经研究其内部结构,指出了它界面奇异结构和特异功能。1987年,美国实验室用同样的方法制备了纳米TiO 多晶体。 2

分会场十三微纳米光子学

分会场十三:微纳米光子学 主席:吴一辉(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所) 李铁(中国科学院上海微系统与信息技术研究所) 特邀报告1:半导体太赫兹光频梳 黎华,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,博士生导师,研究 员。2009年博士毕业于中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 然后分别在德国慕尼黑工业大学、日本东京大学、法国巴黎七大材料 与量子现象实验室开展博士后研究工作,2015年回国工作,2016年 获得中国科学院“百人计划”A类择优支持。主要研究方向为太赫兹 量子级联激光器及其光频梳、锁模激光器、太赫兹成像及高分辨光谱 技术等。在Advanced Science、Optica、Applied Physics Letters、Optics Express等期刊上发表50余篇论文,曾获“2015中国中国电子学会优秀科技工作者”,“上海市自然科学二等奖”(排名第三)、德国“洪堡”学者奖学金、日本JSPS奖学金等。担任科技部973计划课题负责人、国家自然科学基金面上项目(2项)负责人、KJW 项目(2项)负责人等。 报告摘要: 太赫兹(THz)波(频率范围:0.1-10 THz; 1 THz=1012 Hz)位于红外光和微波之间,在国防安全、生物医疗、空间等领域具有潜在应用。由于缺乏高效THz辐射源和探测器,THz波还没有被完全认知,所以其被称为THz间隙(“terahertz gap”)。在1-5 THz 频率范围内,基于半导体电泵浦的光子学器件THz量子级联激光器(quantum cascade laser, QCL)在输出功率和效率方面比电子学和差频器件高,是关键的THz辐射源器件。本报告主要介绍我们在高性能THz核心器件以及半导体光频梳方面的研究进展。在高性能核心器件方面,我们突破分子束外延生长和半导体工艺技术,研制出高功率(1.2 W)、低发散角(2.4°)、宽频率范围THz QCL器件并实现THz高速探测和多色成像。基于高性能半导体THz QCL器件,成功实现THz QCL光频梳以及双光梳。克服传统THz光谱仪在测量时间和光谱分辨率方面的缺陷,开发出基于THz QCL双光梳的紧凑型高分辨实时光谱检测系统,为将来实现新一代THz光谱仪奠定基础。

(全文)纳米测量仪器和纳米加工技术

2003年1月第5卷第1期 中国工程科学Engineering Science Jan.2003Vol 15No 11 院士论坛 [收稿日期] 2002-07-18;修回日期 2002-07-29 [作者简介] 姚骏恩(1932-),男,上海市人,中国工程院院士,中国科学院北京科学仪器研制中心研究员 纳米测量仪器和纳米加工技术 姚骏恩 (中国科学院北京科学仪器研制中心,北京 100080) [摘要] 纳米科技是当今国际上的一个热点。文章对纳米科技作了简要介绍,纳米测量和加工是纳米科技中 的一个不可缺少的重要组成部分。叙述了发展纳米测量和纳米加工技术的两个主要途径:一是发展传统技术,主要是电子显微术以及最近发展起来的聚焦离子束(FIB )-电子束数控加工中心;二是创造新的测量仪器,建立新原理和新方法,介绍了国内外电子显微镜和扫描探针显微镜这两类纳米测量分析仪器的发展、应用和生产现状。指出我国电子显微仪器和扫描探针显微镜的开发和生产面临困境,应尽快建立和加强自己的电子显微仪器和扫描探针显微镜等纳米测量和纳米加工设备制造产业,并列入国家科技发展规划。 [关键词]  纳米科技;纳米测量;电子显微镜;扫描探针显微镜;聚焦离子束-电子束装置;仪器生产[中图分类号]TN16;TN405;T B838 [文献标识码]A [文章编号]1009-1742(2003)01-0033-05 1 纳米科技是当今国际上的一个热点 纳米科技是20世纪80年代发展起来的一门新 兴科学技术。一个纳米是十亿分之一米,已接近原子尺度(012~013nm )。纳米科技涉及的尺度通常是100nm 以下,直到原子尺寸。在这种尺度上对物质和材料进行研究和处理的科学技术称为纳米科技。纳米科技实质上就是一种从原子、分子开始制造材料和产品的科学技术;也可以说是在1~100nm 范围内认识和改造自然的科学技术,是一个交叉综合学科,是一个前沿基础学科和高技术融为一体的完整体系。钱学森早在1991年就指出,纳米左右和纳米以下的结构将是下一阶段科技发展的一个重点,会是一次技术革命,从而将是21世纪又一次产业革命。目前所有的发达国家都对纳米科技的研究、开发投入大量人力物力,试图抢占这一21世纪战略制高点,它可给包括生物技术在内的几乎所有工业领域带来一场革命性变化。 2 当今高技术的核心乃是半导体芯片 技术 当今高技术的核心乃是半导体芯片技术,发展的关键是进一步微型化。元件的尺寸由毫米到微米仍可用传统的科学和技术;从微米到纳米功能元件,尺寸缩小到纳米级,即由有限个原子构成基本功能元件,再由这类新元件组成更复杂的器件,表征这种纳米功能元件的参量具有显著的量子效应和统计涨落特性,就必须发展新理论、新技术和新材料。于是纳米电子学就应运而生。芯片的集成度以每18个月硅片上功能元件数增加1倍的速度增加。元件的尺寸越小,芯片的功能越强。商用芯片的线宽在2001年达到0113~0110μm ,现已开始0110μm 的竞争,估计2004年大部分半导体制造企业都会采用0110μm 以下的制造工艺[1]。 3 21世纪将是生命科学的世纪 现今生命科学已经从描述性、实验性科学向定量科学过渡,研究的焦点是生物大分子,尤其是蛋

中国职业技术教育学会对课题申报的要求

中国职业技术教育学会对课题申报的要求 一、课题申报面向全国,择优立项 凡我国职业教育工作者和热心于职业教育改革发展的各界人士,均可按本办法的有关规定申报课题。 二、申报课题的相关材料。 1.《中国职业技术教育学会科研规划项目课题申报办法》; 2.《中国职业技术教育学会科研规划项目课题指南(2008-2009年度)》; 3.《中国职业技术教育学会科研规划项目课题申报表》。 以上材料均可通过中国职业技术教育学会科研规划项目工作小组办公室(以下简称“规划项目办”,设在上海市教科院职成教研究所)网站下载,网址:https://www.docsj.com/doc/1518017865.html,。 三、申报人条件。 1.一般需具有中级及以上专业技术职称。 2.能够承担实质性研究任务,负责课题的组织与实施。 3.每位申报人只能申报一个课题。 四、选题要求。 选题主要以《中国职业技术教育学会科研规划项目课题指南(2008-2009年度)》为依据。该《指南》的作用在于为申报提示选题方向和研究范围,申报者可结合实际自行设计课题名称和研究内容。对《指南》未涉及到的课题,只要申报者认为具有理论和实践价值的也可申报。

五、申报表填写要求。 1.每个课题只限报一名负责人,申报表须由所在单位签署意见并加盖公章。 2.本年度立项课题均为自筹经费项目。 3.课题完成时限为2010年4月30日。 4.本年度立项课题的最终成果主件应为研究报告或论文;如有其他成果,仅作为课题附件。最终成果仅为文集、教材、丛书的,将不予立项。 5.申报人须使用从“规划项目办”网站下载的原规格申报表(包括按原规格复印的),不得使用自行印制或更改的申报表。 六、申报程序和受理单位。 1、各省区市职教学会可按10项左右申报,2008-2009年度原则上按申报数的三分之一确定立项数量,立项总数为150项左右。 2.各省区市职教学会根据以下原则,对申报材料进行初审: (1)申报人资质及其申报表合格; (2)选题能结合当地经济社会发展和职业教育改革发展实际; (3)申报人科研诚信度及学术水平; (4)择优立项。 3.各省区市职教学会完成初审后,需将以下材料集中报送规划项目办:

统编版语文四年级下册7.《纳米技术就在我们身边》教学设计

7.纳米技术就在我们身边 【课文简析】 《纳米技术就在我们身边》是中国科学院院士刘忠范的作品。刘忠范曾任中国微米纳米学会常务理事,第二届亚洲纳米科技大会执行主席等,他的团队主要从事纳米碳材料、纳米化学等研究,是国际上具有代表性的纳米碳材料研究团队之一。因为对纳米技术有着非常精深的研究,所以这样一篇纳米技术的文章在刘院士笔下写得深入浅出,既清楚地介绍了纳米技术以及它的应用,又极具可读性,一点儿也不枯燥。 《纳米技术就在我们身边》是一篇科普类型的说明文。这篇课文科技含量极高,学生了解甚微。作者首先从纳米说起,介绍了什么是纳米和纳米技术。紧接着,作者通过举例子、列数字、作比较等说明方法,清楚地告诉读者,纳米技术就在我们身边,纳米技术可以让人类更加健康,纳米技术将给人类生活带来深刻的变化。全文篇幅不长,却让读者一下子就对纳米技术有了比较清晰的了解。教师在教学过程中还要注意结合本单元阅读要素“阅读时能提出不懂的问题,并试着解决”,引导学生学会借助资料,同时联系上下文、结合生活经验来解决问题的方法,去解决问题。 【学情分析】 在学习四年级上册第二单元的时候,学生就已经学习了“提问”的方法。如:根据课文内容提问、根据课文写法提问、根据生活提问。因此,四年级的学生已掌握了一定的“提问方法”,并具备一定的“提出问题”的能力,在学习本课时着重培养学生运用学过的“提问方法”进行提问,并尝试解决。让学生掌握解决问题的方法。并且,学生对于不曾接触过的事物有着旺盛的好奇心,要学会利用学生的好奇心激发他们学习这篇科技含量极高的课文的学习兴趣。 【学习目标】 1.会认“乒、乓、拥”等12个生字,会写“纳、拥、箱”等15个生字,掌握多音字“率”。能够把“碳纳米管天梯”等科技术语读正确。 2.在读课文的过程中能够提住不懂的问题,并在交流中梳理问题,尝试着结合课文内容、查找资料解答问题。 3.初步学习列数字、作比较、举例子等说明方法,并尝试着运用。 4.了解纳米相关知识,以及纳米技术在生活中的应用。通过学习,激发学生热爱科学的情感和学习科学的兴趣,培养正确的科学观点。 【学习重、难点】 学习重点: 1.会认“乒、乓、拥”等12个生字,会写“纳、拥、箱”等15个生字,掌握多音字“率”。能够把“碳纳米管天梯”等科技术语读正确。 2.了解纳米相关知识,以及纳米技术在生活中的应用。通过学习,激发学生热爱科学的

纳米加工技术

纳米加工技术及其应用江苏科技大学机械学院 学号:1 姓名:原旭全

纳米尺度的研究作为一门技术,是80年代刚刚兴起的.它所研究的对象是一般研究机构很难涉猎的即非宏观又非微观的中间领域,有人称之为介观领域.所谓纳米技术通常指纳米级~l00nm)的材料、设计、制造、测量、控制和产品的技术.纳米技术主要包括纳米级精度和表面形貌的测量;纳米级表层物理、化学、机械性能的检测;纳米级精度的加工和纳米级表层的加工一一原子和分子的去除、搬迁和重组;纳米材料;纳米级微传感器和控制技术;微型和超微型机械;微型和超微型机电系统;纳米生物学等;纳米加工技术是纳米技术的一个组成部分.纳米加工的含义是达到纳米级精度(包括纳米级尺寸精度,纳米级形位精度和纳米级表面质量)的加工技术. 其原理使用极尖的探针对被测表面扫描(探针和被侧表面不接触),借助纳米级的三维位移控制系统测量该表面的三维微观立体形貌. 材料制造技术. 著名的诺贝尔奖获得者Feyneman在20世纪60年代曾预言:如果我们对物体微小规模上的排列加以某种控制的话,我们就能使物体得到大量的异乎寻常的特性,就会看到材料的性能产生丰富的变化.他说的材料即现在的纳米材料.纳米材料是由纳米级的超微粒子经压实和烧结而成的.它的微粒尺寸大于原子簇,小于通常的微粒,一般为l一100nm.它包括体积份数近似相等的两部分:一是直径为几个或几十个纳米的粒子;二是粒子间的界面.纳米材料的两个重要特征是纳米晶粒和由此产生的高浓度晶界.这导致材料的力学性能、磁性、介电性、超导性、光学乃至热力学性能的改变.如:纳米陶瓷由脆性变为100%的延展性,甚至出现超塑性.纳米金属居然有导体变成绝缘体.金属纳米粒子掺杂到化纤制品或纸张中,可大大降低静电作用.纳米Tiq按一定比例加入到化妆品中,可有效遮蔽紫外线.当前纳米材料制造方法主要有:气相法、液相法、放电爆炸法、机械法等. l)气相法:1热分解法:金属拨基化合物在惰性介质(N2或洁净油)中热分解,或在H冲激光分解. 此方法粒度易控制,适于大规模生产.现在用于Ni、Fe、W、M。等金属,最细颗粒可达3一10nm.o真空 蒸发法:金属在真空中加热蒸发后沉积于一转动圆的流动油面上;可用真空蒸馏使颗粒浓缩.此法平均颗粒度小于10nm. 2)液相法:1沉积法:采用各种可溶性的化合物经混合,反应生成不溶解的氢氧化物、碳酸盐、硫酸盐或有机盐等沉淀.把过滤后的沉淀物热分解获得高强超纯细粉.采用此工艺制备出均质的玻璃和陶瓷.由于该法可制备超细(10nm一100nm)、化学组成及形貌均匀的多种单一或复合氧化物粉料.已成为一种重要的超细粉的制备方法. 3)放电爆炸法:金属细丝在充满惰性气体的圆筒内瞬间通人大电流而爆炸.此法可制造等难熔金属的超细颗粒(25一350nm),但不能连续操作. 4)机械法:利用单质粉末在搅拌球磨(AttritorMill)过程中颗粒与颗粒间和颗粒与球之间的强烈、 频繁的碰撞粉碎.近几年大量采用搅拌磨,即利用被搅拌棍搅拌的研磨介质之间的研磨,将粉料粉碎粉碎效率比球磨机或振动磨都高. (3)三束加工技术:可用于刻蚀、打孔、切割、焊接、表面处理等. l)电子束加工技术:电子束加工时,被加速的电子将其能量转化成热能,以便除去穿透层表面的原子,因此不易得到高精度.但电子束可以聚焦成很小的束斑(巾

纳米加工技术和微电子机械系统

第十六章纳米加工技术和微电子机械系统 按照人们的意愿在纳米尺寸的世界中自由地剪裁、安排材料的技术被称为纳米加工技术。包括扫描探针技术和精密加工技术(能量束加工等)。 纳米加工技术是纳米科学的重要基础,也包含许多尚未认识清楚的纳米科学问题。 一、纳米机械学 1. 历史由来 2. 纳米加工技术 3. 微型机械的发展 二、微电子机械系统 1. 组成和特性 2. 发展趋势 一、纳米机械学 1. 历史由来 纳米技术的灵感来自于美国的理查得·费曼。 1959年12月29日,美国著名物理学家、诺贝尔物理学奖获得者理查得·费曼(Richard Phillips Feynman,1918-1988)在美国物理学会召开的年会上,作了一个题为《在底层还有很大空间》“There’s Plenty of Room at the Bottom”的著名演讲。在演讲中,费曼满怀激情的说:“当我们深入并游荡在原子的周围,我们是按不同的定律活动,我们会遇到许许多多新奇的事情,能以全新的方式生产,完成异乎寻常的工作。如果有一天可以安排一个个原子,将会产生什么样的奇迹?!” 费曼给我们描述了这样一幅激动人心的画面:通过人为地操纵单个原子,来构造人们需要的特定功能的物质,这如同用原子来搭积木! 费曼在演讲中还说:“至少依我看来,物理学的规律不排除一个原子一个原子地制造物品的可能性。”在演讲中他提到也许有一天人们会造出仅由几千个原子组成的微型机器。但在当时,这句话因为过于超前而没有引起人们的广泛注意。 直到1986年,一个专门以展望未来为职业的预言家,美国预见研究所的工程师—埃里克·得雷克斯勒(K.Eric.Drexler)运用了更为通俗和形象的描述才将27年前这个天才的思想表书清楚。他说:我们为什么不制造出成群、肉眼看不到的微型机器人,让它们在地毯上爬行,把灰尘分解成原子,再将这些原子组装成餐巾、肥皂和电视机呢?这些微型机器人不仅是一些只懂得搬原子的建筑“工人”,而且还具有绝妙的自我复制和自我维修能力,由于它们同时工作,因此速度很快而且廉价得让人难以置信。 多数主流派科学家对得雷克斯勒的想法不屑一顾,认为是一派胡言。但得雷克斯勒仍然著书立说,阐述自己的观点。有的科学家随后开始进行实验性研究。对于纳米技术,得雷克斯勒认为: “它不是小尺寸技术的延伸,它甚至根本不该被看作是技术,而是一场认知的革命。” 从石器时代开始,人类从磨尖箭头到光刻芯片的所有技术,都与一次性地削去或者融合数以亿计的原子以便把物质作成有用的形态有关。费曼质问到,为什么我们不可以从另一个角度出发,从单个的分子甚至原子开始进行组装,以达到我们的要求呢?实际上这一灵感来自于大自然从单个分子、甚至单个原子创造物质的启示。纳米技术就是向大自然学习,力图在纳米尺度精确地操纵原子或分子来制造产品的技术,统称为“由底向上”或“由小到大“的加工技术。 2. 纳米加工技术 科学技术进步使器件和装置的尺寸越来越小,进入了纳米的范围。与之相适应的加工和制造技术,已成为国际上的研究热点,发展很快。 ①定义 按照人们的意愿在纳米尺寸的世界中自由地剪裁、安排材料的技术被称为纳米加工技术。 纳米加工技术可分为刻蚀和组装两类,包括扫描探针技术和精密加工技术(能量束加工等)。纳米加工技术将为我们设计和制造出尺寸极小而功能极强的设备。 ②纳米组装技术 由于在纳米尺度刻蚀技术已达到极限,组装技术将成为纳米科技的重要手段,日益受到人们的高度重视。 组装技术就是通过机械、物理、化学或生物的方法,把原子、分子或者分子的聚集体进行组装,形成有功能的结构单元。 纳米组装技术包括分子有序组装技术、扫描探针原子/分子搬迁技术以及生物组装技术。 i) 分子有序组装技术 科技部2006年公布的“十一五”期间首批启动的国家重大科学研究计划中,纳米研究计划项目“具有重要应用背景的纳米超分子组装体的构筑与功能研究” 名列其中,项目首席科学家是南开大学化学学院院长、“长江学者奖励计划”特聘教授刘育。刘育课题组以环糊精的分子识别和组装为突破口,在超分子组装/ 纳米超分子的研究工作中已取得重大突破。

《中国职业技术教育》投稿指南

《中国职业技术教育》投稿指南 《中国职业技术教育》杂志以贯彻党和国家的教育方针、落实职业教育的法规政策、服务整个职业教育战线为己任,主要面向全国各级职教行政部门和科研机构、行业企业、各级各类职业学校以及社会职教培训机构的领导、干部和教师,为其提供多方面的信息与服务。 《中国职业技术教育》杂志自创办发行以来,一直奉行面向基层、服务基层、读者第一的方针,不断改进采编质量,提高文章可读性。因此,深受职教各界的好评,已成为职教战线各级领导、干部和教师的良师益友,且读者层不断扩大,发行量始终保持在近5万份。 根据广大读者的要求,经新闻出版总署批准,从2003年开始《中国职业技术教育》杂志将由半月刊改为旬刊、大16开本,页码不变。每月1日出版教学版,11日出版综合版,21日出版培训版。目的是为一线工作的广大教师与科研人员提供更广阔的舞台,进一步推动教育教学改革的深入发展。 《中国职业技术教育》杂志编辑部欢迎作者投稿。为使作者来稿符合规范要求,特敬告如下: 一、基本要求 1.来稿要反映与职业技术教育相关的学术研究的前沿问题,职业教育改革与发展中的重点、难点和热点问题,以及教育与教学改革与实践的最新成果。 2.来稿须保证作品的真实性、合法性、准确性,并不侵犯他人或其他机构的权益。 3.来稿要论点明确、重点突出、论据充分,要有必要的事实、数据或典型案例,有较强的说服力,有借鉴或推广价值。 4.来稿务必包括作者简介、摘要、关键词和参考文献,字数一般应在2000~5000字。 (1)作者简介:包括姓名(出生年-)、性别(民族--汉族可省略)、籍贯、职称、学位、简历以及研究方向(任选)。例:乌兰娜(1968-),女(蒙古族),内蒙古达拉特旗人,内蒙古大学历史系副教授,博士,1994年赴美国哈佛大学研修,主要从事蒙古学研究。 (2)摘要:篇幅应在100-300字(英文摘要应与中文摘要相对应)。 (3)关键词:一般每篇文章可选3-8个关键词。多个关键词之间应以分号分隔。例:关键词:手势语言;原始礼仪;中国文化 (4)参考文献:参考文献按在正文中出现的先后次序列表于文后,各类参考文献条目的编排格式及示例如下: a. 专著、论文集、学位论文、报告 [序号]主要责任者.文献题名[文献类型标识].出版地:出版者,出版年.起止页码(任选). 例: [1]刘国钧,陈绍业,王凤翥.图书馆目录[M].北京:高等教育出版社,1957.15-18. b. 期刊文章 [序号]主要责任者.文献题名[J].刊名,年,卷(期):起止页码. 例: [2]黄淑华,黄贞姬.古汉语词表现的语义特征[J].延边大学学报(哲学社会科学版),1995,(3):150-153.

纳米粉体材料行业分析报告行业基本情况.doc

报告概要 行业评级:纳米粉体新材料行业推荐 行业内重点公司推荐:广东羚光 行业分析师:袁熠 执业证编号:S123011470019 电话:(021)64318677 Email:YuanYi@https://www.docsj.com/doc/1518017865.html, 纳米粉体材料行业分析报告 一、行业基本情况 1、行业主管部门及监管体制 公司属于金属制品制造业,行业主管部门是国家发展与改革委员会、工业和信息化部及其各地分支机构,主要负责产业政策的制定并监督、检查其执行情况;研究制定行业发展规划,指导行业结构调整、行业体制改革、技术进步和技术改造等工作。 中国微米纳米技术学会(CHINESE SOCIETY OF MICRO-NANO TECH-NOLOGY ,英文缩写为CSMNT )是全国范围纳米行业的自律性管理 组织,其主要筹办各种学术活动,包括组织各种学术会、展览会、战略研讨会、 国际交流等等,为我国微米纳米技术的计划与规划、关键技术联合攻关、技术交流、人才培养、科学普及发挥重要作用,为国内外各界微米纳米技术研究人员和 单位的交流、科研成果的转化和产业化提供交流平台。 江苏省新材料产业协会是江苏省内的新材料行业自律性组织,协会由全省新材料产业领域的企事业单位、大专院校、科研机构以及其他相关经济组织自愿组成,是实行行业服务和自律管理的全省性、行业性、非盈利性的社会组织。主要 开展新材料产业全面调查,研究发展趋势,参与制定新材料产业规划和产品技术、质量行业标准,构建综合服务平台,促进产业体制和技术创新,促进新材料企业

持续发展,为江苏省新材料产业发展提供助力。 目前,国家发展与改革委员会、工业和信息化部对行业的管理仅限于宏观管理、政策性引导,行业协会进行指导性管理,公司自主从事业务发展、内部管理 和生产经营。纳米材料行业市场化程度较高,主要表现在市场主体和交易方式上, 政策壁垒已经完全消除,企业可以自由进入,产品价格由市场供求关系决定,国家不干预企业产品定价,行业运作已经充分市场化。 2、行业主管法律法规 (1)主要法律法规 行业相关法规: 序号法律法规名称发布单位 1 《中华人民共和国产品质量法》全国人大 2 《中华人民共和国标准化法》全国人大 3 《中华人民共和国计量法》全国人大 4 《中华人民共和国计量法实施细则》国家计量局 (2)国家标准 国家质检总局与国家标准委联合发布的与纳米材料有关的国家标准,主要有:序号行业标准名称编号 1 纳米材料术语GB/T 19619-2004 2 纳米粉末粒度分布的测定X 射线小角散射法GB/T 13221-2004 3 气体吸附BET 法测定固态物质比表面积GB/T19587-2004 4 纳米镍粉GB/T 19588-2004 5 纳米氧化锌GB/T 19589-2004 6 超微细碳酸钙GB/T 19590-2004 7 纳米二氧化钛GB/T 19591-2004 3、行业主要产业政策 公司处于前沿技术细分行业,公司产品主要运用于片式元件(电容器、电感器和电阻器)、新能源等领域,公司产品的应用领域符合国家的产业政策,属于 国家鼓励发展行业,影响本行业发展的法律法规及政策主要有: 2016 年6 月江苏省政府发布的《江苏省国民经济和社会发展“十三五”规划

微纳米加工技术及其应用

绪论 1:纳米技术是制造和应用具有纳米量级的功能结构的技术,这些功能结构至少在一个方向的几何尺寸小于100nm。 2:微纳米技术包括集成电路技术,微系统技术和纳米技术;而微纳米加工技术可获得微纳米尺度的功能结构和器件。 3:平面集成加工是微纳米加工技术的基础,其基本思想是将微纳米机构通过逐层叠加的方式筑在平面衬底材料上。(类似于3d打印机?) 4:微纳米加工技术由三个部分组成:薄膜沉积,图形成像(必不可少),图形转移。如果加工材料不是衬底本身材料需进行薄膜沉积,成像材料的图形需转化为沉积材料的图形时需进行图形转移。(衬底材料,成像材料,沉积材料的区别和联系) 5:图形成像工艺可分为三种类型:平面图形化工艺,探针图形化工艺,模型图形化工艺。平面图形化工艺的核心是平行成像特性,其主流的方法是光学曝光即“光刻“技术;探针图形化工艺是一种逐点扫描成像技术,探针既有固态的也有非固态的,由于其逐点扫描,故其成像速度远低于平行成像方法;模型图形化工艺是利用微纳米尺寸的模具复制出相应的微纳米结构,典型工艺是纳米压印技术,还包括模压和模铸技术。 6:微米加工和纳米加工的主要区别体现在被加工结构的尺度上,一般以100nm 作为分界点。 光学曝光技术 1:光学曝光方式和原理 可分为掩模对准式曝光和投影式曝光。其中,掩模对准式曝光又可分为接触式曝光和邻近式曝光,投影式曝光又可分为1∶1投影和缩小投影(一般为1∶4和1∶5)。 接触式曝光可分为硬接触和软接触。其特点是:图形保真度高,图形质量高,但由于掩模与光刻胶直接接触,掩模会受到损伤,使得掩模的使用寿命较低。采用邻近式曝光可以克服以上的缺点,提高掩模寿命,但由于间隙的存在,使得曝光的分辨率低,均匀性差。 掩模间隙与图形保真度之间的关系 W=k√ 其中w为模糊区的宽度。 掩模对准式曝光机基本组成包括:光源(通常为汞灯),掩模架,硅片台。 适用范围:掩模对准式曝光已不再适用于大规模集成电路的生产,但却广泛应用于小批量,科研性质的以及分辨率要求不高的微细加工中。 投影式曝光:投影式曝光广泛应用于大批量大规模集成电路的生产。 评价曝光质量的两个参数:分辨率和焦深。

纳米科学与微纳制造》复习材料.docx

《纳米科学与微纳制造》复习材料1、纳米材料有哪些危害性? 答:纳米技术对生物的危害性: 1)在常态下对动植物体友好的金,在纳米态下则有剧毒; 2)小于 100nm的物质进入动物体内后,会在大脑和中枢神经富集,从而影响动物的正常生存; 3)纳米微粒可以穿过人体皮肤,直接破坏人体的组织及血液循环。 2、什么是纳米材料、纳米结构? 答:纳米材料:纳米级结构材料简称为纳米材料,是指组成相或晶粒结构的尺寸介于1nm~100nm范围之间,纳米材料大致可分为纳米粉末、纳米纤维、纳米膜、纳米块体等四类。 纳米材料有两层含义: 其一,至少在某一维方向,尺度小于 100nm,如纳米颗粒、纳米线和纳米薄膜,或构成整体材料的结 构单元的尺度小于 100nm ,如纳米晶合金中的晶粒 ; 其二,尺度效应:即当尺度减小到纳米范围,材料某种性质发生神奇的突变,具有不同于常规材料的、优异的特性量子尺寸效应。 纳米结构:以纳米尺度的物质为单元按一定规律组成的一种体系。 3、什么是纳米科技? 答:纳米科技是研究在1-100nm 内,原子、分子和其它类型物质的运动和变化的科学;同时在这一尺度范围内对原子、分子进行操纵和加工的技术。 4、什么是纳米技术的科学意义? 答:纳米尺度下的物质世界及其特性,是人类较为陌生的领域,也是一片新的研究疆土在宏观和 微观的理论充分完善之后,再介观尺度上有许多新现象、新规律有待发现,这也是新技术发展的 源头;纳米科技是多学科交叉融合性质的集中体现,我们已不能将纳米科技归为任何一门传统的 学科领域而现代科技的发展几乎都是在交叉和边缘领域取得创新性的突破的,在这一尺度下,充满了原始创新的机会因此,对于还比较陌生的纳米世界中尚待解释的科学问题,科学家有着极大 的好奇心和探索欲望。 5、纳米材料有哪 4 种维度?举例说明 答:零维:团簇、量子点、纳米粒子 一维:纳米线、量子线、纳米管、纳米棒

我谈纳米科技

我谈纳米科技(金融一班,林紫馨,1021034) 经过一个学期纳米科学的学习,我对纳米产生了浓厚的兴趣,也对纳米科学有了一定的了解,提起纳米技术,人们可能以为遥不可及,其实不然。纳米技术正在悄悄渗透到老百姓衣、食、住、行各个领域。首先我们要知道什么是纳米科学。纳米(nm),又称毫微米,如同厘米、分米和米一样,是度量长度的单位,具体地说,一纳米等于十亿分之一米的长度,形象地比喻,一纳米的物体放到乒乓球上,就像一个乒乓球放在地球上一般。这就是纳米长度的概念。自从扫描隧道显微镜发明后,世界上便诞生了一门以0.1至100纳米这样的尺度为研究对象的前沿学科,这就是“纳米科技”。 在王老师的课上,他向我们娓娓道来纳米的来源以及给我们带来的影响。课后我也查阅了一些资料。国家纳米材料科学首席专家张立指出,纳米科技将对人类产生深远的影响,甚至改变人们的思维方式和生活方式。纳米技术将在21世纪对我们的社会、经济以及国家安全产生重大影响。“纳米技术计划”是继人类基因组计划之后,美国提出的又一项重大科研计划。 作为经济学院的学生,我了解到,据统计,全球纳米技术的年产值已经达到500亿美元,我国7条纳米材料的生产线已投入生产或正在开发之中。这意味着纳米有着巨大的潜在商机。并且全球以美国为首,紧接着日本(12.76%)、德国(11.28%)、中国(10.64%)和法国(7.89%)紧随其后为世界5大纳米大国。 既然它如此的受人瞩目,那么我们就来看看纳米这个神奇的世界是如何改变世界的。 化纤布料制成的衣服虽然艳丽但因摩擦容易产生静电,而在生产时加入少量的金属纳米微粒,就可以摆脱烦人的静电现象。冰箱、洗衣机等一些电器时间长了容易产生细菌,而采用了纳米材料,新设计的冰箱、洗衣机既可以抗菌,又可以除味杀菌。紫外线对人体的害处极大,有的纳米微粒却可以吸收紫外线对人体有害的部分,市场上的许多化妆品正是因为加入了纳米微粒而具备了防紫外线的功能。传统的涂料耐洗刷性差,时间不长,墙壁就会变得斑驳陆离,纳米技术运用之后,涂料的技术指标大大提高,外墙涂料的耐洗刷性将提高十多倍。是什么魔法让纳米技术这样神通广大呢?魔法自然是没有的,其原因在于,当物质被“粉碎”到纳米级细小,制成的“纳米材料”不仅光、电、热、磁特性发生变化,而且具有辐射、吸收、催化、杀菌、吸附等许多新特性,从而给人们生活带来突破性变化。 以前的电视、音响等家电外表一般都是黑色的,被称为黑色家电,这是因为家电外壳材料中必须加入碳黑进行静电屏蔽。而利用纳米技术,人们已研制出可屏蔽静电的纳米涂料,通过控制纳米微粒的种类,进而可控制涂料颜色,使黑色家电变成彩色家电。 纳米技术将给医学带来变革。纳米级粒子会使药物在人体内的传输更为方便 在电子信息领域,纳米技术应用广泛。可从硬盘上读取信息的纳米级磁读卡机以及存储容量为目前芯片上千倍的纳米级存储器芯片都已投入生产。纳米电子学使量子元件代替微电子器件,“深蓝”、“银河”等巨型计算机就能装入口袋,“亚洲一号”通信卫星可只有鸽子大小。可以预见,未来以纳米技术为核心的计算机处理信息的速度将更快,效率将更高。 纳米科技运用于国防建设,同样可以大显神通。把纳米微粒加入到陶瓷中,可以使脆硬的陶瓷韧性增强,新一代坦克的装甲材料便是这种陶瓷与钢材的混合体。 如此种种都是神奇的纳米给人类带来的变化,我们也可以听到一些反对的声音说纳米技术也有其一些潜在危险性,大致可以分为三个方面:人类健康和环境的潜在危害,对社会安全的威胁,对伦理道德的挑战。 对于这些我想说纳米技术在刚开始的阶段一定会有其本身的不利因素,我们应该具有前瞻性,在医学,电子技术,国防技术快达到瓶颈的阶段,希望纳米技术可以注入一股新的活力,给人类社会带来新的气息。同时我也可喜的看到国家正在加大这方面的投入。

纳米制造技术的详细介绍和应用的详细资料概述

纳米制造技术的详细介绍和应用的详细资料概述 史铁林,教育部“微纳制造与纳米测量技术”创新团队负责人、中国振动工程学会常务理事、中国振动工程学会动态信号分析专业委员会主任委员、中国振动工程学会故障诊断专业委员会副主任委员、中国微米纳米技术学会理事。他先后获多项中国青年科技奖、全国优秀博士后、湖北省五四青年奖章、中国机械工程学会杰出青年科技奖和首批“新世纪百千万人才工程”国家级人选等荣誉称号。他发表学术论文250余篇,其中SCI收录150多篇,申请国家发明专利80多项,授权50多项。 问:纳米技术、信息技术和生物技术并列为21世纪的三大科技,而纳米制造则是支撑它们走向应用的基础。那么,纳米制造是如何定义的?其主要特征是什么? 史铁林:美国科学基金会将纳米制造定义为构建适用于跨尺度集成的、可提供具有特定功能的产品和服务的纳米尺度的结构、特征、器件和系统的制造过程。纳米制造已远远超出常规制造的理论和技术范畴,相关技术的发展将依赖于新的科学原理和理论基础,依赖于多学科交叉融合。纳米制造从牛顿力学、宏观统计分析和工程经验为主要特征的传统制造技术走向基于现代多学科综合交叉集成的先进制造科学与技术。其主要特征在于:(1)制造对象与过程涉及跨尺度;(2)制造过程中界面/表面效益占主导作用;(3)制造过程中原子/分子行为及量子效应影响显著;(4)制造装备中微扰动影响显著。 问:纳米制造的关键结构从尺度上主要体现为结合微米与纳米的跨尺度制造和纳米范畴的纳尺度制造,请介绍一下这两种关键结构的特点,以及您的团队在该领域取得的成果。史铁林:跨尺度集成制造是将不同尺度的结构组合、加工形成多尺度整体的过程。微纳集成结构可以根据它们的结构特性分为无序分级结构、一维纳米分支结构、层叠分级结构、几何形状可控分级结构和纳米悬浮分级结构等。微纳集成结构可以有不同的形状、尺寸、层数等几何特征,其关键的一点是要实现纳结构在微结构上的定点、可控集成。稳定的微纳集成结构不仅能为研究纳米材料的光、电等方面的性能提供方便,还可能为功能微/纳米电子器件的研制打下基础。在微纳结构的集成过程中,微结构界面的各种因素都会对纳米结构集成效果带来较大影响,因此研究微环境对纳结构形成的影响机理,实现微环境的

微光刻与微纳米加工技术

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陈宝钦:微光刻与微/纳米加工技术 源的选择),选择相应的分辨率增强技术,以及分析相关的数据并对已有模型进行校准等工作。光刻模型主要包括光刻胶模型、()PC模型以及成像模型等。随着光刻设备的升级换代、RET的广泛应用,精确的模型需要充实。如超高数值孔径的浸没式光刻中的光学极化效应等。DFM可理解为,以快速提升芯片成品率及降低生产成本为目的,统一描述芯片设计中的规则、工具和方法,从而更好地控制设计电路向物理芯片的复制。是一种可预测制造过程中工艺可变性的设计,使得从设计到芯片制造的整个过程达最优化。DFM包括参数成品率、系统成品率和随机成品率的设计,以及可靠性、测试和诊断的设计,而相关EDA算法工具的开发应用是解决问题的关键所在。 1.3浸没透镜与两次曝光光刻技术 提高光刻分辨率有三种途径。一是缩短曝光光源波长,需要价格高昂的原理性设备换代;二是改善工艺因子K,。其代价是缩小了制造工艺窗口,同时还需要改变集成电路版图的设计规则、改善光刻胶的工艺和分辨率增强技术。对于目前主流的193nm光源的光刻技术来说,还难以满足45nm节点生产的需求;第三种途径就是在改善光学系统数值孔径上继续做文章。由于目前曝光镜头数值孔径已经接近1,再要提高光学透镜的数值孔径就需要设计更大口径、更复杂的镜头,这已经不太现实了。因此光刻专家们根据高倍油浸显微镜提高分辨率的原理,设法在曝光镜头的最后一个镜片与硅片之间增加高折射率的液体(如水)作为介质,以达到提高分辨率的目的。因为提高该介质的折射率町以加大光线的折射程度,等效地加大镜头口径尺寸与数值孔径,同时可以显著提高焦深(DOF)和曝光工艺的宽容度(El。)。浸没光刻技术莺点需要解决的问题是水迹、气泡和污染等缺陷困扰。目前采用193nm光源的浸没光刻(Immersion,193i)技术已经成为65nm和45nm光刻的主流技术。要想把193i技术进一步推进到32nm和22nm的技术节点,光刻专家还在寻找新技术,在没有更好的新光刻技术出现前。两次曝光技术(或叫两次成型技术,DPT)成为人们关注的热点。DPT的原理很简单,就是把原来一次光刻难以分辨的掩模图形交替式地分成两块掩模,每块掩模上图形的分辨率可以减少一半,减少了曝光设备分辨率的压力,同时还可以利用第二块掩模版对第一次曝光的图形进行修整。两次曝光有效地拓展了,现有曝光设备干法光刻的应用,不必等待更高的分辨率和更高数值孔径系统的出现就可以投入下一个节点产品的生产。两次曝光技术在使用中。很像移相掩模技术中的位相冲突问题,需要重点解决分色冲突问题。为此还有可能需要三次曝光光刻(TPT)。两次曝光技术可以是两次曝光两次刻蚀方式(1itho—etch—litho—etch);也可以是第一次曝光显影后进行抗蚀剂固化处理后再涂胶进行第二次曝光显影,最后一起刻蚀的方式(1itho-process—litho—etchalterna-tives)。此外。过去经常使用的牺牲体结构侧墙技术的自对准两次成型技术(self—aligned(spacer)doublepatterning)也可以归入两次曝光技术中。当然,两次曝光技术也有问题,如对套刻精度要求更苛刻和生产效率降低等问题。 (未完待续) 作者简介: 陈宝钦(1942一)男,福建人.中国 科学院微电子研究所研究员,博士生导师。 主要从事光掩模、电子束光刻、微光刻与 微纳米加工与技术的研究。 -??..-?-卜_?-..-—卜-?卜-—卜-?..。+-?卜-?卜??..-?..-—..-—-.-。+。+‘+*?卜-?—卜-—..-?卜-?..。+-—..?—-卜-?..。+-—.-?—-..-?.. 下期部分目次预告 高压I.DM()s两层金属场板的优化设计 高方块电阻发射区单晶硅太阳电池的性能优化 AlGaN/GaNHEMT器件工艺的研究进展 大孔Ti02一ZnO复合纳米材料的制备及其光催化性能一种适用于高灵敏微磁传感器的I,M()膜制备与分析 2011年1月聚苯胺纳米材料的合成与应用 基于MEMS的新型高场不对称波形离子迁移谱 纳米磁性液体合成装置的研制及其应用 基于光诱导介电泳的微粒自动化操作方法研究 MEMS集成宽町调范围滤波器的设计与制作 微纳电子枝术948卷第1期 5 万方数据

职业教育类核心期刊都有哪些

职业教育是指让受教育者获得某种职业或生产劳动所需要的职业知识、技能和职业道德的 教育。目的是培养应用型人才和具有一定文化水平和专业知识技能的社会主义劳动者,社会 主义建设者,与普通教育和成人教育相比较,职业教育侧重于实践技能和实际工作能力的培养。那么职业教育类核心期刊都有哪些呢? 《》(月刊)创办于1985年,是由江西科技师范学院主办,受教育部职成司指导、面向全 国公开发行的职业技术教育综合性刊物。本刊坚持刊物的专业性、理论性、指导性定位,坚 持为职教事业服务、为广大职教工作者服务的宗旨,注重科学性、先导性、开放性、言论性 和可读性,杂志发行覆盖面已遍及全国31个省(市、区),是我国具影响的职教刊物之一。 《教育与职业》是全国教育类,以繁荣教育科学研究,倡导教育理论和实践创新,服 务教育学学科建设及教育改革和发展为办刊宗旨。杂志现为旬刊,上旬刊为全彩色印刷,主 要刊登有关教育与职业方面综合内容,中、下旬刊内文为黑白印刷,主要刊登教育研究学术 论文。栏目设置有研究与探索、教育管理、师资建设、德育研究、成人教育、课程与教学、 交流平台。 《》(旬刊)创刊于1993年,是由中华人民共和国教育部主管,教育部职业技术教育中 心研究所、中国职业技术教育学会和高等教育出版社共同主办的一份综合性中文期刊,集政 策指导性、学术理论性和应用服务于一身,是教育部指导全国职业教育工作的重要舆论工具,是服务各级各类职业教育机构的主要阵地。 《职业技术教育》(旬刊)创刊于1980年,由吉林工程技术师范学院主办,宣传国家职 业技术教育的方针政策,开展教学理论研究,介绍教学改革新鲜经验,为职教教师和教学工 作者提供理论与方法借鉴。栏目设置有教改视点、综合研究、高等教育、中等教育、成人教育、社区教育、教育技术、德育。 《》(月刊)创刊于2003年,是由辽宁省民办教育协会主办,以职业教育、成人教育、 民办教育机构及学校和培训部门的管理者、教师、教科研人员为主要读者对象的综合性学术 期刊。以宣传党和国家关于职业教育、成人教育、民办教育等方面的方针、政策、以及交流、推广和介绍本领域国内外的教科研成果和先进经验为宗旨;以引导和推动本领域的教育管理、 教育研究工作为已任。

中国职教学会课题指南

附件: 中国职业技术教育学会第四届理事会 科研规划项目课题指南 为推动职教战线加强职业教育科学研究,以优秀的研究成果引领职业教育改革创新,加快发展现代职业教育,特制定本课题指南。 一、指导思想 以邓小平理论、“三个代表”重要思想和科学发展观为指导,深入贯彻落实党的十八大和十八届三中全会精神以及全国职业教育工作会议和《国务院关于加快发展现代职业教育的决定》精神,坚持理论联系实际,以我国职业教育改革与发展的重大理论和现实问题为主攻方向,多出成果,出好成果,为构建以就业为导向的现代职业教育体系服务。 二、选题原则 1.针对全面深化职业教育综合改革中的重大理论和实践问题,紧密结合各地区经济社会发展对于转方式、调结构和促升级的实际需求,牢牢把握服务发展、促进就业的办学方向,选题既重视学术研究前沿,提出具有全局性、战略性、前瞻性的选题,也要提出具有现实性、普适性、针对性、实效性和推广意义的选题。避免过分强调纯学术理论及单纯的理论思辨或局限于某个单一的教研领域。鼓励学术观点、研究方法的创新,着力推出具有一定理论与实践意义的高水平研究成果。 2.所有选题都应具有明确的研究目标、主攻方向和研究范围,突出研究重点,重视学科交叉与协同创新,取得具有重大学术影响和社会影响的标志性成果。选题文字表述要科学、严谨、规范,一般不加副标题。

3.本指南仅列出可供参考的若干主要选题范围。申报者应以此为基础自行设计具体课题,也可根据不同区域或行业企业的不同特点及其要求另行设计具体课题。以下所列选题一般不宜直接作为申报课题的名称。具体课题的设计应注重聚焦现实问题、力求落到实处并以小见大。 4.为避免重复立项,凡近几年已获得学会课题及教育重大攻关课题的选题,不再列入。 三、选题指南 根据《国务院关于加快发展现代职业教育的决定》中提出的各项目标任务的相关要求,结合学会规划项目面向基层、扎根一线、注重实证、强调应用的性质和特点。本届理事会只发布这一次科研规划项目课题指南,该指南分为重点课题和一般课题,重点课题学会将给予必要的经费支持。主要参考选题范围如下:重点课题 1.职业教育治理体系和治理能力现代化的研究(包括职业院校办学自主权问题的研究等) 2.产教融合、校企合作和集团化办学模式、制度与政策研究 3.职业教育学历学位制度与职业资格制度衔接研究 4.职业教育与新型城镇化统筹发展研究 5.职业教育与农业现代化相关问题研究 6.民办职业教育投资主体和办学形式多元化研究 7.职业教育办学经费投入长效机制研究 8.终身学习视角下的中国特色职业教育发展道路研究 9.促进职业教育公平发展研究 10.职业院校招生考试制度综合改革研究 一般课题

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