光电位敏探测器的现状及发展

光电位敏探测器的现状及发展

陶忠祥; 梁学明; 田春艳

【期刊名称】《《光机电信息》》

【年(卷),期】2009(026)004

【摘要】基于横向光电效应的位置敏感探测器（PSD）是一种非分割型的、可测量入射光能量重心的光电器件。本文回顾了光电位置敏感探测器的发展过程，分析了常用的几种类型PSD的结构和工作原理，对PSD的性能指标进行了分析和归纳，并对PSD的国际及国内研究现状进行了阐述，最后对PSD的关键技术及发展趋势进行了扼要分析及展望。

【总页数】6页(P.29-34)

【关键词】位置敏感探测器; 结构; 性能; Lucovsky方程

【作者】陶忠祥; 梁学明; 田春艳

【作者单位】空军航空大学吉林长春130022; 清华大学自动化系北京100084

【正文语种】中文

【中图分类】TN816.5

【相关文献】

1.光电位敏探测器的现状及发展 [J], 陶忠祥; 梁学明; 田春艳

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