半导体紫外探测器技术进展

半导体紫外探测器技术进展

白谢辉;杨定江

【期刊名称】《激光与红外》

【年(卷),期】2003(033)002

【摘要】介绍了几种新型半导体紫外探测器.列出了这类探测器的各项用途及优点,并对其结构,制作方法以及性能作出了简要说明.N化物半导体紫外探测器具有探测波长范围可调,可靠性好等优点,可以认为是半导体紫外探测器发展的主要方向.

【总页数】4页(83-86)

【关键词】紫外探测器;AlGaN探测器;光电二极管;金属-半导体探测器

【作者】白谢辉;杨定江

【作者单位】华北光电研究所,北京,100015;华北光电研究所,北京,100015

【正文语种】中文

【中图分类】TN23;TN36

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